【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于电感耦合型等离子体处理装置的自感应线圈，其中，所述电感耦合型等离子体处理装置包括一封闭壳体，其包括顶板，其特征在于： 所述电感耦合型等离子体处理装置包括位于所述顶板上的电感耦合线圈，所述电感耦合线圈对应于所述基片多个区域划分为多个区域，以发射射频能量到所述封闭壳体内， 至少两个区域的电感耦合线圈之间设置有至少一个自感应线圈，当电感耦合线圈通电时，所述自感应线圈自感应出与和相邻的电感耦合线圈方向相反的电流，以产生和相邻的电感耦合线圈方向相反的磁场， 其中，所述自感应线圈是电浮地的。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：倪图强，周宁，王俊，
申请(专利权)人：中微半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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