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本发明提供了一种电感耦合型等离子体处理装置及其自感应线圈，其中，所述电感耦合型等离子体处理装置包括一封闭壳体，其包括顶板。所述电感耦合型等离子体处理装置包括位于所述顶板上的电感耦合线圈，所述电感耦合线圈对应于所述基片多个区域划分为多个区域，...
该专利属于中微半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

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