光罩盒子外壳材料的固定方法技术

本发明专利技术提出了一种光罩盒子外壳材料的固定方法，包括：提供一光罩盒子，所述光罩盒子设有外壳材料；将一隔离片固定在所述外壳材料的下表面；其中，所述隔离片为L型薄片状；将隔离片固定在外壳材料的下表面，可以避免外壳材料与设备机台发生碰撞，从而可以彻底避免外壳材料因碰撞而产生缺口，提高光罩盒子的使用寿命，降低生产成本，提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种光罩盒子外壳材料的固定方法。
技术介绍
在芯片制造中，电路元件图形都通过光刻工艺将掩膜版上的图案在硅片上形成，因此掩膜版的质量在光刻工艺中的地位非常重要。为了保护掩膜版通常会把它们装在光罩盒子中。在业界，光罩盒子通常分为两种：传统盒子和充气盒子。掩膜版装在传统盒子里可以避免其表面擦伤、静电放电、灰尘颗粒等问题。充气盒子除了有传统盒子的功能外还可以再其内充入惰性气体，可以有效减小掩膜板与空气中的氨离子、酸离子接触产生酸碱结晶的几率，从而避免因掩膜板的结晶而造成对光刻工艺的严重影响，进而影响硅片的良率。请参考图1和图2，现有的光罩盒子包括：盒体10以及与盒体10相固定的外壳材料20，在进行光刻工艺时，会将光罩盒子放置在设备机台中，由设备机台上的感应器识别光罩盒子之后，再进行光刻工艺，然而现有技术中所使用的外壳材料20十分脆弱，并且较薄，在与设备机台发生碰撞时，外壳材料20的下表面极易产生缺口21，在产生缺口21之后，设备机台上的感应器便无法感应到光罩盒子是否已经放置成功，因此，也就无法正常进行光刻工艺。此时，存在缺口21的光罩盒子不得不报废。尽管厂商加厚外壳材料20，但时间稍久便还会出现缺口21，依旧无法解决上述问题。由于光罩盒子价格不菲，经常更换光罩盒子极大的增加了生产成本，并且也降低了生产效率，因此，如何解决光罩盒子的使用寿命是本领域技术人员急需解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种光罩盒子外壳材料的固定方法，能够避免外壳材料产生缺口，提高光罩盒子的使用寿命。为了实现上述目的，本专利技术提出了一种光罩盒子外壳材料的固定方法，包括：提供一光罩盒子，所述光罩盒子设有外壳材料；将一隔离片固定在所述外壳材料的下表面；其中，所述隔离片为L型薄片状，将所述隔离片的L型薄片一个面使用一铆钉与所述外壳材料固定在一起，并使所述隔离片的L型薄片另一个面固定在所述外壳材料的下表面。进一步的，所述铆钉的材质为铝铜合金、铝硅合金、铝镁合金、铝锌合金、铝锰合金、铝镍合金、铝铁合金、铝钛合金、铝铬合金或铝锂合金。进一步的，所述铆钉的最大宽度范围是6.8mm～8.8mm。进一步的，所述隔离片的材质为铝铜合金、铝硅合金、铝镁合金、铝锌合金、铝锰合金、铝镍合金、铝铁合金、铝钛合金、铝铬合金或铝锂合金。进一步的，所述隔离片的高度范围是12.7mm～14.7mm。进一步的，所述隔离片的厚度范围是0.63mm～2.63mm。进一步的，所述隔离片的宽度范围是4.04mm～6.04mm。与现有技术相比，本专利技术的有益效果主要体现在：将隔离片固定在外壳材料的下表面，可以避免外壳材料与设备机台发生碰撞，从而可以彻底避免外壳材料因碰撞而产生缺口，提高光罩盒子的使用寿命，降低生产成本，提高生产效率。附图说明图1为现有技术中光罩盒子一部分的结构示意图；图2为现有技术中光罩盒子外盒材料形成缺口的结构示意图；图3为本专利技术一实施例中光罩盒子外盒材料固定后的结构示意图；图4为本专利技术一实施例中隔离片和铆钉的剖面示意图。具体实施方式下面将结合示意图对本专利技术的光罩盒子外壳材料的固定方法进行更详细的描述，其中表示了本专利技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本专利技术，而仍然实现本专利技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本专利技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本专利技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本专利技术。根据下面说明和权利要求书，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。请参考图3和图4，在本实施例中，提出了一种光罩盒子外壳材料的固定方法，包括：提供一光罩盒子100，所述光罩盒子100设有外壳材料200；所述外壳材料200的材质较为脆弱，在所述光刻盒子100放置在设备机台上时，十分容易因为碰撞而产生缺口；将一隔离片310固定在所述外壳材料200的下表面；所述隔离片310为L型薄片状，将所述隔离片310的L型薄片一个面使用一铆钉320与所述外壳材料200固定在一起，并使所述隔离片310的L型薄片另一个面固定在所述外壳材料200的下表面。在本实施例中，所述铆钉320的材质为铝铜合金、铝硅合金、铝镁合金、铝锌合金、铝锰合金、铝镍合金、铝铁合金、铝钛合金、铝铬合金或铝锂合金等；所述铆钉320的最大宽度L1范围是6.8mm～8.8mm，例如是7.8mm。所述隔离片310的材质为铝铜合金、铝硅合金、铝镁合金、铝锌合金、铝锰合金、铝镍合金、铝铁合金、铝钛合金、铝铬合金或铝锂合金等；所述隔离片310的高度H范围是12.7mm～14.7mm，例如是13.7mm；所述隔离片310的厚度W1范围是0.63mm～2.63mm，例如是1.63mm；所述隔离片310的宽度W2范围是4.04mm～6.04mm，例如是5.04mm。在本实施例中，隔离片310使用铝合金材质替代塑料材质以实现耐磨耐磕碰性；用铆钉320连接来实现隔离片310与光罩盒体100的永久固定；考虑到使用螺丝固定易松动，使用胶水固定易脱落，而且所选固定材质本身也不能产生灰尘颗粒，因此采用铆钉320固定才是最佳方案。综上，在本专利技术实施例提供的光罩盒子外壳材料的固定方法中，将隔离片固定在外壳材料的下表面，可以避免外壳材料与设备机台发生碰撞，从而可以彻底避免外壳材料因碰撞而产生缺口，提高光罩盒子的使用寿命，降低生产成本，提高生产效率。上述仅为本专利技术的优选实施例而已，并不对本专利技术起到任何限制作用。任何所属
的技术人员，在不脱离本专利技术的技术方案的范围内，对本专利技术揭露的技术方案和
技术实现思路
做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本专利技术的技术方案的内容，仍属于本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光罩盒子外壳材料的固定方法，包括：提供一光罩盒子，所述光罩盒子设有外壳材料；将一隔离片固定在所述外壳材料的下表面；其中，所述隔离片为L型薄片状，将所述隔离片的L型薄片一个面使用一铆钉与所述外壳材料固定在一起，并使所述隔离片的L型薄片另一个面固定在所述外壳材料的下表面。

【技术特征摘要】
1.一种光罩盒子外壳材料的固定方法，包括：
提供一光罩盒子，所述光罩盒子设有外壳材料；
将一隔离片固定在所述外壳材料的下表面；其中，所述隔离片为L型薄片
状，将所述隔离片的L型薄片一个面使用一铆钉与所述外壳材料固定在一起，
并使所述隔离片的L型薄片另一个面固定在所述外壳材料的下表面。
2.如权利要求1所述的光罩盒子外壳材料的固定方法，其特征在于，所述
铆钉的材质为铝铜合金、铝硅合金、铝镁合金、铝锌合金、铝锰合金、铝镍合
金、铝铁合金、铝钛合金、铝铬合金或铝锂合金。
3.如权利要求2所述的光罩盒子外壳材料的固定方法，其特征在于，所述
铆钉的最大宽度范围是6....

【专利技术属性】
技术研发人员：沈波，吴根兴，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31