【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及单晶炉的上炉体，包括上炉体本体，所述上炉体本体上、下两端分别设有上、下连接件，上炉体本体包括內炉体和外炉体，外炉体和內炉体之间形成有冷却腔体，所述內炉体的外壁上设有多个凸起，相邻凸起之间形成导流槽，外炉体的内壁上设有与导流槽相适应的栅板，栅板的一端固定在外炉体上，另一端延伸至导流槽内，外炉体的外壁上设有与冷却腔体相连的进水口和出水口。本专利技术具有使用寿命长，能够散热等特点。【专利说明】单晶炉的上炉体
本专利技术涉及单晶硅的生产制造设备
，特别涉及单晶炉的上炉体。
技术介绍
单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛应用于半导体器件以及太阳能电池的制造。单晶硅使用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成的，在市场上有很广阔的前景。目前单晶硅的拉制装置为单晶炉，它是由上炉体、下炉室、上炉室、炉盖、翻板箱、副室六大部分组成，目前普遍采用的单晶炉的上炉体只有单层炉壁，由于在单晶炉的工作过程中长时间处于高温状态，会将上炉体烧坏，造成很大的损失。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术的目的是提供一种使用寿命长，能够散热的单晶炉的上炉体。 实现本专利技术的技术方案如下: 单晶炉的上炉体，包括上炉体本体，所述上炉体本体上、下两端分别设有上、下连接件，上炉体本体包括内炉体和外炉体，外炉体和内炉体之间形成有冷却腔体，所述内炉体的外壁上设有多个凸起，相邻凸起之间形成导流槽，外炉体的内壁上设有与导流槽相适应的栅板，栅板的一端固定在外炉体上，另一端延伸至导流槽内，外炉体的外壁上设有与冷却腔...
【技术保护点】
单晶炉的上炉体，包括上炉体本体，其特征在于：所述上炉体本体上、下两端分别设有上、下连接件，上炉体本体包括內炉体和外炉体，外炉体和內炉体之间形成有冷却腔体，所述內炉体的外壁上设有多个凸起，相邻凸起之间形成导流槽，外炉体的内壁上设有与导流槽相适应的栅板，栅板的一端固定在外炉体上，另一端延伸至导流槽内，外炉体的外壁上设有与冷却腔体相连的进水口和出水口。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：马海善，
申请(专利权)人：常州市海豪力智能装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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