【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉的上炉体
本专利技术涉及单晶硅生产设备
,特别涉及一种单晶炉的上炉体。
技术介绍
单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体,是一种良好的半导体材料,目前被广泛应用于半导体器件以及太阳能电池的制造。单晶硅使用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成的,在市场上有很广阔的前景。目前单晶硅的拉制装置为单晶炉,它是由上炉体、下炉室、上炉室、炉盖、翻板箱、副室六大部分组成,目前普遍采用的单晶炉的上炉体只有单层炉壁,由于在单晶炉的工作过程中长时间处于高温状态,会将上炉体烧坏,造成很大的损失。
技术实现思路
针对上述问题,本专利技术的目的是提供一种结构简单,使用寿命长,能够散热的单晶炉的上炉体。 实现本专利技术的技术方案如下: 一种单晶炉的上炉体,包括上炉体本体,所述上炉体本体上、下两端分别设有上、下连接件,上炉体本体包括内炉体和外炉体,外炉体和内炉体之间形成有冷却腔体,所述内炉体设置为弧形结构,呈“ O ”型结构,冷却腔体内设有绕设在内炉体上的螺旋式冷却翅片,外炉体的内壁与冷却翅片相连,外炉体的外壁上设有与冷却腔体相连的进水口和出水口。 所述进水口设置于紧邻上连接件处,出水口设置于紧邻下连接件处。 所述进水口与出水口设置在外炉体的同一侧,优点是便于加水和排水。 所述上、下连接件为上、下法兰,优点是结构简单,便于连接其他装置。 所述冷却翅片为波纹状结构或为直片式结构,优点是吸热、传热好,散热效果好。 采用了上述的方案,单晶炉工作时炉体温度较高,通过内炉体上的散热翅片进行吸热传热,这样热量聚集于冷却腔体内,大大降低了内炉体 ...
【技术保护点】
一种单晶炉的上炉体,包括上炉体本体,其特征在于:所述上炉体本体上、下两端分别设有上、下连接件,上炉体本体包括內炉体和外炉体,外炉体和內炉体之间形成有冷却腔体,所述內炉体设置为弧形结构,呈“()”型结构,冷却腔体内设有绕设在内炉体上的螺旋式冷却翅片,外炉体的内壁与冷却翅片相连,外炉体的外壁上设有与冷却腔体相连的进水口和出水口。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉的上炉体,包括上炉体本体,其特征在于:所述上炉体本体上、下两端分别设有上、下连接件,上炉体本体包括内炉体和外炉体,外炉体和内炉体之间形成有冷却腔体,所述内炉体设置为弧形结构,呈“ O ”型结构,冷却腔体内设有绕设在内炉体上的螺旋式冷却翅片,外炉体的内壁与冷却翅片相连,外炉体的外壁上设有与冷却腔体相连的进水口和出水口。2.根据权利要求1所述的一种单...
【专利技术属性】
技术研发人员:马海善,
申请(专利权)人:常州市海豪力智能装备科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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