精确控温加热平台制造技术

本实用新型专利技术提供一种精确控温加热平台，包括架体、台面、隔热层、加热管、第一控温仪及第二控温仪；架体上从下到上依次架设有隔热层和台面，隔热层上交替、平行、等距的铺设有若干加热管，且每根加热管与台面之间相距一安全距离；在隔热层上的每个加热区域的中间位置设置第一控温仪的热电偶；台面上与第一控温仪的热电偶相对应的位置设置第二控温仪的热电偶。第一控温仪及第二控温仪通过导线连接，第二控温仪的热电偶感测的台面温度经第二控温仪及导线传输给第一控温仪，第一控温仪根据台面温度对加热管的温度进行控制。本实用新型专利技术的台面尺寸可根据靶材组件尺寸进行配置，且无论配置的台面尺寸大小，均可精确控制台面温度，并保持台面温度的均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种加热装置，特别是涉及一种应用于制造靶材组件的精确控温平台。
技术介绍
靶材组件一般由靶材和背板连接而成，二者的连接方式包括钎焊、扩散焊接、机械复合等几种，其中，钎焊是将靶材与背板放置于加热平台上，通过加热平台对二者进行加热，到达预设温度后，涂覆焊料将二者复合，然后冷却至室温即可。在此过程中，加热平台对于温度的控制以及整个平台面的温度均匀性，将会直接影响到靶材组件的质量和性能。现有的加热平台台面尺寸一般在1米左右，受尺寸的限制，其无法焊接尺寸长达2米甚至3米的TFT-LCD靶材组件和太阳能靶材组件，若简单的将台面尺寸扩大至1米以上，会出现温度控制不准确、台面温度不均匀的问题；台面温度控制不准确会出现靶材的某些部位温度尚未到达焊接温度，而某些部位已经超过靶材所能承受的最高温度，进而造成靶材组织变化，影响溅射成膜性能，台面温度不均匀会使靶材的不同部位受热不同，应力分布差别较大，焊接后靶材组件产生严重变形的问题。
技术实现思路
鉴于上述原因，本技术的目的在于提供一种精确控温加热平台，该加热平台的台面尺寸可根据靶材组件的尺寸进行配置，且无论配置的台面尺寸大小均可实现加热平台的精确控温，并保持台面温度的均匀性。为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：精确控温加热平台，包括架体、台面、隔热层、加热管、第一控温仪及第二控温仪；该架体上从下到上依次架设有该隔热层和该台面，该隔热层上交替、平行、等距的铺设有若干加热管，且每根加热管与该台面之间相距一安全距离；在该隔热层上的每个加热区域之内设置该第一控温仪的热电偶；该台面上与该第一控温仪的热电偶相对应的位置设置第二控温仪的热电偶。进一步的，在所述隔热层上的每个加热区域的中间位置设置所述第一控温仪的热电偶，所述第二控温仪的热电偶设于所述台面上开有的通孔内，所述第一控温仪的热电偶与所述第二控温仪的热电偶位于同一横截面上。所述每根加热管到所述台面的安全距离相等，所述安全距离在10mm～50mm之间。所述第一控温仪及第二控温仪通过导线连接，所述第二控温仪的热电偶感测的台面温度经所述第二控温仪及导线传输给所述第一控温仪，所述第一控温仪根据该台面温度对所述加热管的温度进行控制。所述台面的三个侧边围构挡板，另外一侧边延伸出所述架体一定长度，并在延伸出的侧边底部边缘处设有凹槽。所述台面由铸铁制成，所述台面的厚度为50mm～100mm之间。所述加热管采用U型加热管，该U型加热管的接线端折弯向下布置于所述架体下方。所述台面上每一米的距离之内为一个加热区域。所述隔热层选用石棉、岩棉或者陶瓷纤维棉等隔热耐火材料。所述架体的支撑脚上设有调节螺栓。本技术的优点在于：本技术的精确控温加热平台，台面尺寸能够根据靶材组件的尺寸进行配置，且无论配置的台面尺寸大小，都能够精确控制台面温度，并保持台面温度的均匀性；同时，加热管和台面不相接触，台面的一侧底缘设有用于容置回流焊料的凹槽，加热管接线端设于架体下方等结构，均可保证操作人员的人身安全。附图说明图1是本技术的加热平台的立体分解示意图。图2为本技术的加热平台局部示意图。图3为本技术的加热平台的侧视图。图4为本技术的加热平台的部分台面的透视图。具体实施方式以下结合附图和实施例对本技术作进一步详细的说明。图1是本技术的加热平台的立体分解示意图。图3为本技术的加热平台的侧视图。如图所示，本技术公开的精确控温加热平台，包括架体1、台面3、隔热层2、若干加热管4、第一控温仪及第二控温仪；架体1上从下到上依次架设有隔热层2和台面3，隔热层2和台面3之间设有用于容置加热管4的容置空间，每根加热管4到台面3的距离相等，优选距离在10mm～50mm之间。图4为本技术的加热平台的部分台面的透视图。如图所示，从台面3向下看，隔热层2上交替、平行、等距的铺设有若干加热管4，定义台面上一定距离之内为一个加热区域(如每一米距离之内为一个加热区域)，在隔热层2上靠近每个加热区域中间位置的相邻两个加热管4之间设置第一控温仪的热电偶5，用于测量加热管4的加热温度(且每相邻两个加热区域中设置的第一控温仪的热电偶5交替设置于隔热层两侧)；同时，在台面3上与第一控温仪的热电偶5相对应的位置处开设通孔，用于容置第二控温仪的热电偶6，以感测台面3的温度(第一控温仪的热电偶5与第二控温仪的热电偶6位于同一横截面上)。其中，第一控温仪和第二控温仪均使用现有技术中的温控仪，将第一控温仪和第二控温仪通过导线连接，可以实现第一控温仪根据第二控温仪的热电偶所感测的温度对加热管的加热温度及功率进行调节，进而对台面温度进行控制。具体的说，于第一控温仪可设置加热管的预定温度，于第二控温仪可设定台面的预定温度，在加热管的温度到达加热管的预定温度之前，即在台面的升温过程中，第二控温仪的热电偶6感测的台面温度经第二控温仪、导线传输给第一控温仪，第一控温仪根据台面温度判断台面温度是否到达台面的设定温度，若台面温度没有到达台面的预定温度，第一控温仪控制加热管继续升温，若台面温度已经到达台面的预定温度，第一控温仪控制加热管维持温度，不再继续升温；当第二控温仪的热电偶6感测的台面温度下降至低于台面的预定温度时，第一控温仪控制加热管重新开始加热升温；在此过程中，若第二控温仪的热电偶6感测的台面温度尚未到达台面的预定温度，而第一控温仪的热电偶5感测的加热管的温度已将到达加热管的预定温度，第一控温仪控制加热管维持温度，不再继续升温。需要说明的是，上述第一控温仪、第二控温仪的连接方式、设定温度以及根据设定温度控制温度的过程，均是利用现有的控温仪实现的，属于现有技术。如图2所示，台面3一般呈矩形，在焊接过程中，为防止焊料流出台面3，于台面3的三个侧边围构不锈钢挡板7，另外一侧边延伸出架体1一定长度，并在延伸出的侧边底部边缘处，设有具有一定深度的凹槽，用于防止焊料沿台面3回流，保障操作者的安全。所述的台面3由铸铁制成，铸铁材料抗热变形能力强、耐磨性好、散热缓慢，到达一定温度后能够长时间保温，台面3的优选厚度为50mm～100mm之间，既可以保证台面强度又可以避免材料浪费及升温过慢的问题。所述的加热管4采用U型加热管，该U型加热管包括镍铬合金加热丝及不锈钢保护管，且二者中间填充耐热绝缘材本文档来自技高网...

【技术保护点】
精确控温加热平台，其特征在于，包括架体、台面、隔热层、加热管、第一控温仪及第二控温仪；该架体上从下到上依次架设有该隔热层和该台面，该隔热层上交替、平行、等距的铺设有若干加热管，且每根加热管与该台面之间相距一安全距离；在该隔热层上的每个加热区域之内设置该第一控温仪的热电偶；该台面上与该第一控温仪的热电偶相对应的位置设置第二控温仪的热电偶。

【技术特征摘要】
1.精确控温加热平台，其特征在于，包括架体、台面、隔热层、加热管、
第一控温仪及第二控温仪；
该架体上从下到上依次架设有该隔热层和该台面，该隔热层上交替、平行、
等距的铺设有若干加热管，且每根加热管与该台面之间相距一安全距离；
在该隔热层上的每个加热区域之内设置该第一控温仪的热电偶；该台面上
与该第一控温仪的热电偶相对应的位置设置第二控温仪的热电偶。
2.如权利要求1所述的精确控温加热平台，其特征在于，在所述隔热层
上的每个加热区域的中间位置设置所述第一控温仪的热电偶，所述第二控温仪
的热电偶设于所述台面上开有的通孔内，所述第一控温仪的热电偶与所述第二
控温仪的热电偶位于同一横截面上。
3.如权利要求2所述的精确控温加热平台，其特征在于，所述每根加热
管到所述台面的安全距离相等，所述安全距离在10mm～50mm之间。
4.如权利要求1或3所述的精确控温加热平台，其特征在于，所述第一
控温仪及第二控温仪通过导线连接，所述第二控温仪的热...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐学礼，何金江，吕保国，刘勇，刘红宾，董亭义，
申请(专利权)人：有研亿金新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11