透光性导电图案部件及使用了其的透光性电磁屏蔽·天线部件制造技术

本发明专利技术提供通过金属图案部自身具有透光性而难以见到金属图案部、减少波纹、衍射导致的散射、且兼具充分的导电性的透光性导电图案部件。通过具备使用含有氮原子的化合物构成的基底层、使用银或以银为主要成分的合金而在上述基底层上的至少一部分上设置的具有透光性的导电图案部的具有透光性的导电图案部件来达到。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及导电部自身也具有透光性的透光性导电图案部件、及其制造方法、进而使用了其的透光性电磁屏蔽部件、透光性频率选择性电磁波屏蔽部件、透光性天线部件、触摸面板。
技术介绍
透光性导电图案部件，在例如等离子体显示面板的电磁波屏蔽等中得到利用。进而，因最近的无线环境的扩展，为了维持无线数据的安全、或者为了防止利用了维持通信品质的、例如多个的IC标记时的混台等，尝试对窗玻璃、处理带有IC标记的商品的收银机间、商品分类道的透明分离板附加电磁波屏蔽功能。在单纯的屏蔽中，连手机、公共无线的电波也屏蔽了，因此可频率选择性地进行电磁波屏蔽的FSS(Frequency Selective Surface)正备受关注。FSS的特征在于在基材表面形成根据要屏蔽的电磁波的频率的导电性的独立图案。该图案在面内不连续地接合，因此表面电阻变高，但为了反射电磁波，各自的图案自身需要高的导电性。另外，透光性导电图案部件可作为电视、收音机、无线LAN的透明接收天线而利用，例如可在窗玻璃上附加这样的透明接收天线。进而，如果在非接触IC卡的天线、无线标记的接收发送天线也利用透光性导电图案部件，则可在IC卡表面具有天线，或制作透明的无线标记。作为这样的透光性导电图案部件，已知通过以下的方法而形成了的透光性导电图案部件：应用卤化银照片感光材料的技术而将银核形成为图案状来进行物理显像、镀敷的方法(专利文献1)，用喷墨、丝网等的印刷法将含有钯催化剂的墨涂布成图案状、进行化学镀敷的方法(专利文献2)，在形成为图案状的含有导电性高分子的涂膜上进行化学镀敷的方法(专利文献3)，进而用光刻将金属薄膜形成为图案状的方法。但是，在用镀敷、光刻而制作了的金属图案部件中，没有金属图案的部分具有透光性，金属图案部本身没有透光性。因此，进行将金属图案部细化，尽管如此，仍可见到图案部，或者，根据图案形状在图案部发生光的衍射，外光在选择的方向被强烈地散射，或产生波纹。另外，如果金属图案部自身将金属部减薄至通过光的水平，则不出现导电性。作为减薄金属而金属部自身一边具有透光性一边呈现导电性的方法，已知层叠了ITO/银/ITO而成的电磁波屏蔽部件(专利文献4)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2008-277675号公报专利文献2：日本特开平11-170420号公报专利文献3：日本特开2009-16496号公报专利文献4：日本特开2005-277228号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，ITO使用稀有金属的铟，因此材料成本高，另外为了降低电阻，需要在成膜后在300℃左右下进行退火处理。因此，需要用于高温退火的大规模的装置、用于处理的能量，进而，由于一般的膜基材没有耐热性而不能应用。进而，即使以这样的层叠ITO/银/ITO的构成也难以谋求充分的导电性和透光性的并存。因此，本专利技术的目的在于，提供通过金属图案部自身具有透光性而难以见到金属图案部、减少波纹(干涉条纹)及衍射导致的散射、且兼具充分的导电性的透光性导电图案部件、及提供通过使用该透光性导电图案部件来谋求了性能的提高的透光性电磁屏蔽部件、透光性频率选择性电磁波屏蔽部件、透光性天线部件、触摸面板。用于解决课题的手段本专利技术的上述课题，通过以下的构成而达到。即，本专利技术通过透光性导电图案部件而达到，所述透光性导电图案部件具备使用含有氮原子的化合物而构成的基底层、使用银或以银为主要成分的合金而在上述基底层上的至少一部分上设置的具有透光性的导电图案部。另外，本专利技术通过透光性导电图案部件的制造方法来实现，其特征在于，其为具备使用含有氮原子的化合物而构成的基底层和使用银或以银为主要成分的合金而在上述基底层上的至少一部分上设置的具有透光性的导电图案部而成的透光性导电图案部件的制造方法，其中，在所述基底层上形成了的银或以银为主要成分的合金是经由形成了图案的掩模而通过蒸镀法来形成为导电图案部的。进而，本专利技术通过透光性电磁屏蔽部件、透光性频率选择性电磁屏蔽部件、透光性天线部件而达到，其特征在于，使用上述透光性导电图案部件。如以上构成了的本专利技术的透光性导电图案部件为以下构成：在使用含有氮原子的化合物而构成了的基底层上的至少一部分上设置使用了银或以银为主要成分的合金的具有透光性的导电图案部。一般而言，如果要形成银的薄膜层，则银由于成为核生长型(Volumer-Weber：VW型)的膜生长而形成以岛状孤立了的微小银部的集合体。因此，微小银部形成比推测的还厚的膜厚，微小银部的透光性大大降低。另外，由于为各自孤立了的状态，导电图案部没有呈现导电性。为了使导电性呈现，需要使银生长至以岛状孤立了的微小银部进行连接，若使其生长至该水平，则银层自身的透射率进一步大大地降低。在本专利技术中，在基底层的上部成膜导电图案部时，构成导电图案部的银原子与构成基底层的含有氮原子的化合物相互作用，银原子在基底层表面的扩散距离减少，银的凝聚受到抑制。因此，银层通过单层生长型(Frank-van der Merwe：FW型)的膜生长而成膜。因此，可得到虽然为薄的膜厚但均匀的膜厚的导电图案部。其结果，可形成更薄的膜厚、具有透光性的同时确保了导电性的导电图案部。附图说明图1A是表示本专利技术的透光性导电图案部件的一实施方式的构成的平面示意图；图1B是沿图1A的1B-1B线的剖面示意图。图2A是表示本专利技术的透光性导电图案部件的其它的实施方式的构成的剖面示意图；图2B是表示将图2A的透光性导电图案部件与基体侧(对方侧)粘接而转印、剥下具有脱模性的基材的情形的剖面示意图。图3是对于导电图案部的形状示出了几个例子的附图。其中，图3A是表示直线状的导电图案的附图。图3B是表示网眼状的图案中、示出了三角形状的导电图案的附图。图3C是示出了圆形状的导电图案的附图。图4示出了作为导电图案部的形状开放了端部的天线图案例。图5是表示将本专利技术的实施方式的透光性导电图案部件作为触摸面板用透明电极1-1、1-2而使用了的触摸面板21的示意构成的透视图。图6是表示触摸面板21的电极构成的2张透明电极(本专利技术的实施方式的透光性导电图案部件)1-1、1-2的俯视图。图7是表示在构成各y电极图案5y1、5y2、…的菱形的图案部分相对于构成x电极图案5x1、5x2、…的菱形的图案部分配置而在俯视地没有重叠的位置上配置、形成在没有重叠的范本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透光性导电图案部件，其具备：使用含有氮原子的化合物而构成的基底层、使用银或以银为主要成分的合金而在所述基底层上的至少一部分上设置的具有透光性的导电图案部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.04.18 JP 2012-0949841.一种透光性导电图案部件，其具备：
使用含有氮原子的化合物而构成的基底层、
使用银或以银为主要成分的合金而在所述基底层上的至少一部分上
设置的具有透光性的导电图案部。
2.如权利要求1所述的透光性导电图案部件，其中，所述导电图案
部的膜厚为4nm以上且9nm以下。
3.如权利要求1或2所述的透光性导电图案部件，其特征在于，所
述含有氮原子的化合物具有以氮原子作为杂原子的杂环。
4.如权利要求1～3的任一项所述的透光性导电图案部件，其特征在
于，所述含有氮原子的化合物含有具有吡啶环的基团。
5.如权利要求1～4的任一项所述的透光性导电图案部件，其特征在
于，所述含有氮原子的化合物为由下述通式(1)表示的化合物；
[化学式1]
通式(1)
(Ar1)n1-Y1
在通式(1)的式中，n1表示1以上的整数，Y1在n1为1的情况下表
示取代基、在n1为2以上的情况下表示单纯的连接键或n1价的连接基团；
Ar1表示由下述通式(A)表示的基团，在n1为2以上的情况下，多个Ar1
可以相同也可以不同；其中，所述由通式(1)表示的化合物在分子内具有
至少2个由3环以上的环进行稠合而成的稠合芳香族杂环，
[化学式2]
通式(A)
在通式(A)的式中，X表示-N(R)-、-O-、-S-或-Si(R)(R’)-，E1～
E8表示-C(R1)＝或-N＝，R、R’及R1表示氢原子、取代基或与Y1的连接

\t部位；*表示与Y1的连接部位，Y2表示单纯的连接键或2价的连接基团；
Y3及Y4分别表示由5元或6元的芳香族环衍生的基团，至少一者表示由
含有氮原子作为环构成原子的芳香族杂环衍生的基团；n2表示1～4的整
数。
6.如权利要求5所述的透光性导电图案部件，其中，所述由通式(1)
表示的化合物为由下述通式(2)表示的化合物；
[化学式3]
通式(2)
在上述通式(2)的式中，Y5表示亚芳基、亚杂芳基或由这些的组合构
成的2价的连接基团；E51～E66分别表示-C(R3)＝或-N＝，R3表示氢原子
或取代基；Y6～Y9分别表示由芳香族烃环衍生的基团或由芳香族杂环衍
生的基团，Y6或Y7的至少一者及Y8或Y9的至少一者表示由...

【专利技术属性】
技术研发人员：小山博和，
申请(专利权)人：柯尼卡美能达株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP