【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气流控制器和静电电荷减少系统
本专利技术涉及用于减少静电电荷的技术,更具体地说,涉及一种气流控制器和静电电荷减少系统。
技术介绍
在典型的半导体制造工业之中,测试仪机(test handler)处的微芯片通常在测试单元之后通过沿着被称为流道的金属道运送出去。激烈的市场竞争以及电子消费品(如电视机、录像机、计算机、移动电话和其他电子设备的主机等等)的持续降价给制造商增加了巨大的压力,使其迫切需要通过更快的生产速度和制造更小的芯片来降低成本。这转化成要求IC芯片沿测试仪机更快地运动。不幸地是,生产速度的加快将造成摩擦起电,从而导致更多的静电电荷生成,因而造成在测试操作之后,沿着流道运送的IC芯片由于静电引力相互粘连。在制造小体积IC芯片时,这一问题更加显著。微小的静电生成将造成大量的IC芯片粘连,因为此时IC芯片的重量很轻。这种粘连将造成机器故障并严重影响制造过程的产量和产率。 在先的未公布的申请PCT/CN2011/076825公开了一种静电电荷减少装置,其能够解决上述问题。 然而,在所述在先的未公布的申请PCT/CN2011/076825提供的技术方案在所述湿气控制闭合系统外的开放空间体系中的应用受到限制。然而实际上,很多工作操作是在开放空间的工作区域内执行的。所述在先的未公布的申请中的静电电荷减少装置的使用仅仅限于闭合系统内的局部空气。 为了克服上述缺陷,本领域技术人员可以设计一种系统,使得稳定的受控气流以位于管路上高吸力通过空间间隔的气隙将从进口管12吹出的气流吸入到出口管22从而形成气体通道,进而形成如图1A所示的自由泄 ...
【技术保护点】
一种气流控制器,其特征在于,包括具有第一表面和第二表面的闭合空心体,在所述第一表面上具有面向静电电荷减少装置的进口管的开口以从所述静电电荷减少装置接收气流,所述静电电荷减少装置的出口管附连到所述闭合空心体的所述第二表面从而将所述气流排出。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.11.28 CN PCT/CN2012/0854091.一种气流控制器,其特征在于,包括具有第一表面和第二表面的闭合空心体,在所述第一表面上具有面向静电电荷减少装置的进口管的开口以从所述静电电荷减少装置接收气流,所述静电电荷减少装置的出口管附连到所述闭合空心体的所述第二表面从而将所述气流排出。2.根据权利要求1所述的气流控制器,其特征在于,所述开口包括多个缝隙或多个孔。3.根据权利要求2所述的气流控制器,其特征在于,所述多个孔连接在一起从而形成长缝状开口、弯曲缝状开口或圆形缝状开口以指向特定区域。4.根据权利要求1所述的气流控制器,其特征在于,所述闭合空心体配置成L形结构,所述开口至少设置在所述L形结构的垂直部分的第一表面,且所述静电电荷减少装置的所述出口管附连到所述L形结构的所述垂直部分的与所述第一表面相对的第二表面从而将所述气流排出。5.根据权利要求1所述的气流控制器,其特征在于,所述闭合空心体配置成第一U形结构,所述第一 U形结构包括两个垂直部分和一个水平部分,所述开口至少设置在所述第一 U形结构的所述两个垂直部分的第一表面,且所述静电电荷减少装置的所述出口管附连到所述第一 U形结构的所述水平部分的第一表面从而将所述气流排出。6.根据权利要求1所述的气流控制器,其特征在于,所述闭合空心体配置成由U形管构成的第二 U形结构,所述开口沿着所述U形管的内侧表面设置,且所述静电电荷减少装置的所述出口管附连在所述U形管的外侧表面从而将所述气流排出。7.根据权利要求1所述的气流控制器,其特征在于,所述闭合空心体配置成由环形管构成的环形结构,所述开口沿着所述环形管的内侧表面设置,且所述静电电荷减少装置的所述出口管附连在所述环形管的外侧表面从而将所述气流排出。8.根据权利要求1所述的气流控制器,其特征在于,在所述进口管、所述出口管或者两者上设置外部气罩或外壳以封锁或阻止适量的分裂气流,其中所述外部气罩或外壳是伸缩可调的。9.根据权利要求1所述的气流控制器,其特征在于,所述进口管设置成与所述闭合空心体的第一表面之间存在气隙空间或者所述进口管直接附连到所述闭合空心体的第三表面从而面向所述第一表面上的开口。10.根据权利要求1-9中任一权利要求所述的气流控制器,其特征在于,所述闭合空心体伸缩可调以覆盖更大或更小的区域,所述闭合空心体安装有至少一个吸气装置以对所述气流进行更多的控制,其中所述气流控制器具有外壳。11.一种气流控制器,其特征在于,包括第一闭合空心体和第二闭合空心体,其中静电电荷减少装置的进口管与所述第一闭合空心体的第一表面流体连通,所述第一闭合空心体的第二表面上有第一开口,所述第二闭合空心体的面向所述第一闭合空心体的所述第二表面的第一表面上有第二开口以接收从所述静...
【专利技术属性】
技术研发人员:高国兴,
申请(专利权)人:大科防静电技术咨询深圳有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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