抑制静电电荷的装置和方法制造方法及图纸

本申请涉及一种抑制静电电荷的装置和方法，其采用特殊设计的气隙形成单元在上部物体(300)和所述平台(500)之间形成气流通道。从湿气生成器(400)输送的湿气流在上部物体(300)的底面下方自由移动，并撞击到上部物体(300)的底面上。然后停留在所述上部物体(300)与所述平台(500)之间的气隙(U)中的湿气流形成一列缓慢移动的湿气流通道，沿着空气通道不断水平移动，直到离开气隙(U)进入周围环境。研究发现，载荷静电电荷的TFT玻璃(300)上的静电电荷明显减少。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】抑制静电电荷的装置和方法
本专利技术涉及静电电荷抑制技术，更具体地，涉及一种用于抑制静电电荷的装置和方法。
技术介绍
众所周知，在典型的平板显示器(FlatPanelDisplay，FPD)制造过程中，大尺寸绝缘片的静电抑制是一项极具挑战性的任务。目前在FPD制造业的光刻胶工艺中使用的生产方法通常是在平台(面)上放置一片TFT玻璃薄片。为了保护薄膜晶体管(TFT，ThinFilmTransistor)玻璃30中对ESD敏感的微电路不受ESD损坏，如图1所示，使用空气离子发生器等静电中和装置10从平台20上方向TFT玻璃30吹气。然而，在制造过程中，静电传感器仍会在TFT玻璃上检测到大量的静电电荷。这种减少静电电荷的方法的成功率非常有限。据调查，未能产生令人满意的结果是由于以下两个原因。首先，铝块有静电抑制作用。静电电荷“隐藏”在铝块内部，电离技术无法很好地清除TFT玻璃上的静电电荷，因为TFT玻璃则位于典型的阳极氧化铝块上。其次，当大的绝缘薄TFT玻璃在制造过程中从平台/台阶向上移动时，电容的变化会在TFT玻璃中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抑制静电电荷的装置，其特征在于，包括设置在上部物体和平台之间以用于在所述上部物体和所述平台之间形成气隙的气隙形成单元；用于产生湿气流的湿气生成器；以及连接所述湿气生成器以将所述湿气流输送到所述气隙以抑制静电电荷的输送部件，所述气隙形成单元至少包括设置在所述上部物体和所述平台之间的短件，所述输送部件设置在所述平台的至少一侧且具有面向所述气隙以将所述湿气流输送到所述气隙的出气口。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20190328 CN PCT/CN2019/0801081.一种抑制静电电荷的装置，其特征在于，包括设置在上部物体和平台之间以用于在所述上部物体和所述平台之间形成气隙的气隙形成单元；用于产生湿气流的湿气生成器；以及连接所述湿气生成器以将所述湿气流输送到所述气隙以抑制静电电荷的输送部件，所述气隙形成单元至少包括设置在所述上部物体和所述平台之间的短件，所述输送部件设置在所述平台的至少一侧且具有面向所述气隙以将所述湿气流输送到所述气隙的出气口。


2.根据权利要求1所述的抑制静电电荷的装置，其特征在于，所述气隙形成单元还包括设置在所述平台上的平板，所述平板的顶面上设置有多个短件；所述气隙形成在所述平板的顶面和所述上部物体的底面之间。


3.根据权利要求2所述的抑制静电电荷的装置，其特征在于，所述平板具有与所述平台的尺寸相匹配的尺寸，所述多个短件均匀地分布在所述平板的顶面上，所述多个短件排列成多条直线，且每两个短件之间的距离相同。


4.根据权利要求2所述的抑制静电电荷的装置，其特征在于，所述平台具有可移动表面，且所述平板包括设置在所述可移动表面上的多个扁平条，所述多个短件均匀分布在每个扁平条的顶面。


5.根据权利要求4所述的抑制静电电荷的装置，其特征在于，所述可移动表面是传送带的顶面，所述多个扁平条通过胶带等间距地附着在所述传送带上，或者所述多个扁平条在其两侧具有夹紧结构，用于夹紧所述传送带的两侧。


6.根据权利要求4所述的抑制静电电荷的装置，其特征在于，每个扁平条具有供其组合到一起的母配合部和公配合部。


7.根据权利要求1所述的抑制静电电荷的装置，其特征在于，所述平台包括传送带，多个所述短件通过胶带附着在所述传送带上，且所述传送带的顶面与所述上部物体的底面之间形成气隙。


8.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：高国兴，
申请(专利权)人：大科防静电技术咨询深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44