本申请涉及一种抑制静电电荷的装置和方法，其采用特殊设计的气隙形成单元在上部物体(300)和所述平台(500)之间形成气流通道。从湿气生成器(400)输送的湿气流在上部物体(300)的底面下方自由移动，并撞击到上部物体(300)的底面上。然后停留在所述上部物体(300)与所述平台(500)之间的气隙(U)中的湿气流形成一列缓慢移动的湿气流通道，沿着空气通道不断水平移动，直到离开气隙(U)进入周围环境。研究发现，载荷静电电荷的TFT玻璃(300)上的静电电荷明显减少。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】抑制静电电荷的装置和方法
本专利技术涉及静电电荷抑制技术，更具体地，涉及一种用于抑制静电电荷的装置和方法。
技术介绍
众所周知，在典型的平板显示器(FlatPanelDisplay，FPD)制造过程中，大尺寸绝缘片的静电抑制是一项极具挑战性的任务。目前在FPD制造业的光刻胶工艺中使用的生产方法通常是在平台(面)上放置一片TFT玻璃薄片。为了保护薄膜晶体管(TFT，ThinFilmTransistor)玻璃30中对ESD敏感的微电路不受ESD损坏，如图1所示，使用空气离子发生器等静电中和装置10从平台20上方向TFT玻璃30吹气。然而，在制造过程中，静电传感器仍会在TFT玻璃上检测到大量的静电电荷。这种减少静电电荷的方法的成功率非常有限。据调查，未能产生令人满意的结果是由于以下两个原因。首先，铝块有静电抑制作用。静电电荷“隐藏”在铝块内部，电离技术无法很好地清除TFT玻璃上的静电电荷，因为TFT玻璃则位于典型的阳极氧化铝块上。其次，当大的绝缘薄TFT玻璃在制造过程中从平台/台阶向上移动时，电容的变化会在TFT玻璃中产生瞬间的电压浪涌。这种突然的电压浪涌不允许任何基于时间的静电消除装置，如空气离子发生器，需要立即切断静电电流。传感器将检测到可能对静电敏感器件造成静电放电(Electro-Staticdischarge,ESD)损坏的危险静电电压。D1(CN201510117646.2)公开了一种静电消除方法，包括当基板与机台体分离时，通过静电消除装置产生离子风。通过所述机器平台主体的通风孔将离子风引导至所述基板；利用离子风消除基板上的静电。因此，D1使用空气离子发生器作为中和静电的创造性方法。当基板与绝缘体分离时，摩擦带电会产生静电电荷。并且在干燥的环境中，静电电荷很高。因此，采用D1中的技术方案，利用空气离子发生器在静电电荷产生之后再降低，这将使得其达到危险的高水平，从而对静电敏感芯片造成ESD损伤。此外，当基板放置在平台主体上时，可以获得非常有限的静电抑制表面积D2(CN201610326493.7)公开了一种织物蒸汽箱，包括箱体7。所述的箱体7经隔板6分为蒸汽腔13和加热腔19，使用时隔板6可以防止蒸汽腔13内的水8进入加热腔19损坏电热棒3。所述加热腔19内设有电热棒3，使用时电热棒3用于给蒸汽腔13内的水8加热。蒸汽板9设置在蒸汽腔13内，特别是蒸汽板9的上表面由一个带有多个滚轮16的支架10支撑，用于在使用时支撑织物14，并且这些滚轮16可防止织物14下垂并与箱体7摩擦，从而防止因摩擦而损坏纤维结构。因此，D2只是教导只有从织物底部来的加热蒸汽系统才能用来提高纺织原料的张力、强度和手感，而滚轮只能用来防止纤维结构的损坏。因此，在典型的FPD制造业中，这种导致高成品率损失和较高制造成本的摩擦电荷生成问题亟待解决。
技术实现思路
根据一个方面，提供了一种抑制静电电荷的装置，包括设置在上部物体和平台之间以用于在所述上部物体和所述平台之间形成气隙的气隙形成单元；用于产生湿气流的湿气生成器；以及连接所述湿气生成器以将所述湿气流输送到所述气隙以抑制静电电荷的输送部件，所述气隙形成单元至少包括设置在所述上部物体和所述平台之间的短件(stub)，所述输送部件设置在所述平台的至少一侧且具有面向所述气隙以将所述湿气流输送到所述气隙的出气口。优选地，所述气隙形成单元还包括设置在所述平台上的平板，所述平板的顶面上设置有多个短件；所述气隙形成在所述平板的顶面和所述上部物体的底面之间。优选地，所述平板具有与所述平台的尺寸相匹配的尺寸，所述多个短件均匀地分布在所述平板的顶面上，所述多个短件排列成多条直线，且每两个短件之间的距离相同。优选地，所述平台具有可移动表面，且所述平板包括设置在所述可移动表面上的多个扁平条(flatstrip)，所述多个短件均匀分布在每个扁平条的顶面。优选地，所述可移动表面是传送带的顶面，所述多个扁平条通过胶带等间距的附着在所述传送带上，或者所述多个扁平条在其两侧具有夹紧结构，用于夹紧所述传送带的两侧。优选地，每个扁平条具有供其组合到一起的母配合部和公配合部。优选地，所述平台包括传送带，所述多个短件通过胶带附着在所述传送带上，且所述传送带的顶面与所述上部物体的底面之间形成气隙。优选地，所述气隙形成单元还包括设置在所述平台上的空心块(hollowblock)，所述空心块的顶面上设置有多个短件和出气口，所述空心块的侧面上设置有进气口；所述气隙形成在所述空心块的顶面和所述上部物体的底面之间。优选地，所述空心块是可拆卸地安装在所述平台上的盖子。优选地，所述多个短件和出气口均匀地分布在所述空心块的顶面上。优选地，所述多个短件排列成多条直线，且每两个短件之间的距离相同；所述多个出气口也排列成多条直线且每两个出气口之间的距离相同。优选地，所述输送部件连接在所述湿气生成器与所述空心块的进气口之间，以用于将所述湿气流送入所述空心块内，所述湿气流通过所述出气口流入所述空心块的顶面和所述上部物体的底面之间的所述气隙中，并撞击所述上部物体的所述底面以抑制静电电荷。优选地，所述短件具有可旋转上部以通过消除所述上部物体与所述短件之间的接触面上的摩擦来最小化静电电荷生成。优选地，所述短件包括由其两端的两个垂直支架支撑的圆柱形上部，所述圆柱形上部可沿其水平轴旋转。根据另一个方面，提供了一种通过使用上述抑制静电电荷的装置抑制静电电荷的方法，包括：S1、制作具有短件的气隙形成单元；S2、将所述气隙形成单元安装在平台上，并在所述气隙形成单元上方放置上部物体，通过所述短件支撑所述上部物体；S3、将湿气流输送到所述上部物体和所述平台之间的所述短件形成的气隙中，以抑制静电电荷。从湿气生成器输送的湿气流在上部物体(可以是TFT玻璃或半导体芯片)的底面下方自由移动，并撞击到上部物体的底面上。然后停留在所述上部物体与所述平台之间的气隙中的湿气流形成一列缓慢移动的湿气流通道，沿着空气通道不断水平移动，直到离开气隙进入周围环境。研究发现，载荷静电电荷的TFT玻璃上的静电电荷明显减少。附图说明为了进一步说明本申请，将参照以下附图描述本申请的示例性实施例，其中：图1是示出用于抑制静电电荷的传统方法的示意图；图2是根据本申请的第一实施例的用于抑制静电电荷的装置的结构示意图；图3是气隙形成单元的优选实施例的示意图；图4是气隙形成单元的另一优选实施例的示意图；图5是根据本申请的第二实施例的用于抑制静电电荷的装置的结构示意图；图6是空心块的优选实施例的示意图；图7是根据本申请的优选实施例的在平台上组装空心块的示意图；图8是湿气流吹出的示意图；图9是根据本申请的第三实施例的用于抑制静电电荷的装置的结构示意图；图10A-10E是气隙形成单元的进一步优选实施例的示意图；图11示出了现有技术和本申请的静电电荷抑制结本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种抑制静电电荷的装置，其特征在于，包括设置在上部物体和平台之间以用于在所述上部物体和所述平台之间形成气隙的气隙形成单元；用于产生湿气流的湿气生成器；以及连接所述湿气生成器以将所述湿气流输送到所述气隙以抑制静电电荷的输送部件，所述气隙形成单元至少包括设置在所述上部物体和所述平台之间的短件，所述输送部件设置在所述平台的至少一侧且具有面向所述气隙以将所述湿气流输送到所述气隙的出气口。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20190328 CN PCT/CN2019/0801081.一种抑制静电电荷的装置，其特征在于，包括设置在上部物体和平台之间以用于在所述上部物体和所述平台之间形成气隙的气隙形成单元；用于产生湿气流的湿气生成器；以及连接所述湿气生成器以将所述湿气流输送到所述气隙以抑制静电电荷的输送部件，所述气隙形成单元至少包括设置在所述上部物体和所述平台之间的短件，所述输送部件设置在所述平台的至少一侧且具有面向所述气隙以将所述湿气流输送到所述气隙的出气口。
2.根据权利要求1所述的抑制静电电荷的装置，其特征在于，所述气隙形成单元还包括设置在所述平台上的平板，所述平板的顶面上设置有多个短件；所述气隙形成在所述平板的顶面和所述上部物体的底面之间。
3.根据权利要求2所述的抑制静电电荷的装置，其特征在于，所述平板具有与所述平台的尺寸相匹配的尺寸，所述多个短件均匀地分布在所述平板的顶面上，所述多个短件排列成多条直线，且每两个短件之间的距离相同。
4.根据权利要求2所述的抑制静电电荷的装置，其特征在于，所述平台具有可移动表面，且所述平板包括设置在所述可移动表面上的多个扁平条，所述多个短件均匀分布在每个扁平条的顶面。
5.根据权利要求4所述的抑制静电电荷的装置，其特征在于，所述可移动表面是传送带的顶面，所述多个扁平条通过胶带等间距地附着在所述传送带上，或者所述多个扁平条在其两侧具有夹紧结构，用于夹紧所述传送带的两侧。
6.根据权利要求4所述的抑制静电电荷的装置，其特征在于，每个扁平条具有供其组合到一起的母配合部和公配合部。
7.根据权利要求1所述的抑制静电电荷的装置，其特征在于，所述平台包括传送带，多个所述短件通过胶带附着在所述传送带上，且所述传送带的顶面与所述上部物体的底面之间形成气隙。
8.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：高国兴，
申请(专利权)人：大科防静电技术咨询深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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