静电电荷减少系统技术方案

公开了一种用于减少局部位置的静电电荷的静电电荷减少系统。所述静电电荷减少系统包括加湿器(100)、主流出空气输送管(200)、主回流空气输送管(300)、从所述主流出空气输送管(200)分支延伸出的至少一个次流出空气输送管(230)以及从所述主回流空气输送管(300)支延伸出的至少一个次回流空气输送管(330)。这样，通过使用单个主流出空气输送管和至少一个次流出空气输送管，令人惊讶的获得了目标区域的有效的静电电荷减少。此外，通过使用成对的主空气输送管回路和次空气输送管回路，令人惊讶的获得了多个目标区域的有效的静电电荷减少。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及静电电荷减少技术，更具体地说，涉及一种用于局部位置的静电电荷减少的静电电荷减少系统。
技术介绍
在设备小型化市场趋势中，电路密度的不断增大迫使微芯片制造商不断提高产品性能，降低成本，以及将数十亿个晶体管挤入单个芯片。而这种设备小型化趋势带来了新的挑战，其导致需要更多的静态中和空气离子发生器来解决由于静电放电(electrostaticdischarge,ESD)损坏而导致的关键器件故障问题。通常可见的做法是在典型的微芯片测试处理机中同时安装大量的空气离子发生器，以减轻静电电荷生成，从而最大限度地减少或消除由于静电放电(ESD)引起的微芯片损坏。为了克服日益增加的成本和器件灵敏度问题，正在生产出更专业的空气离子发生器以跟上工业小型化趋势，从而满足更严格和苛刻的要求。但是，这依然受到限制。用于制造微芯片高度ESD敏感的部件或组件变得非常敏感，从而使得即使从空气离子发生器排出的正，负空气离子的轻微不平衡将导致在多种新一代ESD敏感设备的生产中造成质量问题和低产问题。PCT/CN/2011/076825描述了一种使用密闭壳体内的湿气流减轻静电荷生成的方法。PCT/CN/2013/087133描述了将湿空气用于在周围环境中的空间开放性局部区域中减轻静电荷生成的方法。当需要同时在数个位置减轻静电荷生成时，本领域普通技术人员可以根据需要减轻的位置的确切数量重复地实施PCT/CN/2013/087133中的空间开放系统，从而相应地解决问题。然而，通过常规手段的这些解决方案是不便的，并且成本较高。其不仅占用较大空间，还受到系统场地维护和综合维护工作的影响。因此，与微芯片不太容易受到ESD损害的旧时代相比，保护微芯片免受ESD损伤的成本非常高。因此，需要进一步的研究以寻找一种解决前述段落中强调的缺陷的更佳且更可行的技术方案从而解决微芯片保护的高成本挑战问题。
技术实现思路
根据本专利技术的一个方面，提供了一种静电电荷减少系统，其包括加湿器，连接到所述加湿器的出口的主流出空气输送管，其中从所述主流出空气输送管分支延伸出(branch)至少一个次流出空气输送管，其中将所述次流出空气输送管导向(direct)目标位置以将湿空气从所述加湿器输送到所述目标位置。可选地，所述静电电荷减少系统进一步包括连接到所述加湿器的入口的主回流空气输送管，从所述主回流空气输送管分支延伸出至少一个次回流空气输送管，其中所述次回流空气输送管从所述目标位置将所述湿空气吸收回到所述加湿器。可选地，至少一个微毛细管附连到所述主流出空气输送管，并将其导向特定的目标位置。可选地，所述主流出空气输送管与所述主回流空气输送管连接以形成闭合回路或分别在其一端或两端密封从而形成开放性回路(openloop)。可选地，在所述主流出空气输送管的末梢(tipend)和/或所述主回流空气输送管的末梢设置阀塞。可选地，所述阀塞包括中空圆柱形插入部和外部平头塞，其中在所述中空圆柱形插入部上设置开口。通过所述阀塞沿着所述中空圆柱形插入部的长度方向上的滑动，可以阻碍或者输送所述主流出空气输送管和/或所述主回流空气输送管中的湿空气。可选地，所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管可以是具有切割壁(cut-offwall)以形成末梢开口的同一个管(thesamepieceofonesingletubing)。可选地，所述次流出空气输送管和所述次回流空气输送管可以是具有切割壁(cut-offwall)以形成末梢开口的同一个管(thesamepieceofonesingletubing)。可选地，多个次流出空气输送管道从所述主流出空气输送管道上分支延伸出，并且多个次回流空气输送管从所述主回流空气输送管上分支延伸出。可选地，将每个所述次流出空气输送管道和所述次流出空气输送管导向相同的目标位置以形成次空气输送回路。可选地，所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管沿其长度方向在不同位置分别设置多个开口，至少一个次级管插入所述主流出空气输送管的一个开口以形成所述次流出空气输送管且至少一个次级管插入所述主回流空气输送管的一个开口以形成所述次回流空气输送管。可选地，设置空气控制器以覆盖所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管的至少一个开口。可选地，所述空气控制器可以是包裹所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管上的圆柱形可旋转管。可选地，提供主管支撑器用于支撑所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管，其中所述主管支撑器包括U形结构，所述U形结构具有用于支撑平行设置的所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管的至少两个凹槽。可选地，可以设置多个凹槽，并且所述主管支撑器可以是可滑动的。可选地，提供次管支撑器用于支撑所述次流出空气输送管和所述次回流空气输送管，其中所述次管支撑器具有底板和两个侧壁，其中所述两个侧壁分别具有至少一个支撑开口以用于支撑所述次流出空气输送管和所述次回流空气输送管。可选地，所述两个侧壁在所述底板上可以朝着彼此滑动。可选地，所述两个侧壁固定在所述底板的两个端部，所述底板是可伸缩的，在每个侧壁上设置至少两个凹槽以用于支撑所述次流出空气输送管和所述次回流空气输送管。可选地，所述两个侧壁是设置有至少两个凹槽的线状结构(wire-likestructure)，所述至少两个凹槽用于支撑所述次流出空气输送管和所述次回流空气输送管。可选地，所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管附连双壁管结构，或者所述次流出空气输送管和所述次回流空气输送管附连双壁管结构，其中所述双壁管结构包括大直径管和放置在所述大直径管内的小直径管以形成在相反的方向上行进(travel)的外部湿气流和内部湿气流。可选地，小直径管是可滑动的。可选地，环形板附连在双壁管结构的嘴部(mouth)。可选地，所述加湿器包括中空圆柱腔室，设置在所述中空圆柱腔室的底部以用于生成连续湿气流的湿气生成器，以及位于所述湿气生成器和所述主流出空气输送管之间的吸风机，所述吸风机将所述连续湿气流和进气流形成螺旋气流，所述螺旋气流朝着所述主流出空气输送管螺旋上升，从而消除所述中空圆柱腔室的出口区域的水滴聚集或者凝结。可选地，所述加湿器可以进一步包括附连到所述中空圆柱腔室以馈入所述进气流的进口管。可选地，所述中空圆柱腔室包括垂直圆柱型下部腔室和附连到所述垂直圆柱型下部腔室的顶部的斜锥型上部腔室，所述主流出空气输送管附连到所述斜锥型上部腔室，所述吸风机放置在所述垂直圆柱型下部腔室中。可选地，所述中空圆柱腔室包括垂直圆柱型下部腔室和从所述垂直圆柱型下部腔室分支延伸的出口流道，所述主流出空气输送管附连到所述出口流道，且所述吸风机放置在所述出口流道中。可选地，所述吸风机是离心风机，所述离心风机固定附连到圆盘上，所述圆盘上具有中央孔以允许所述连续湿气流和所述进气流进入所述离心风机，从而将所述连续湿气流和所述进气流混合以形成所述螺旋气流。可选地，所述离心风机包括鼓状壳体，所述鼓状壳体中部设置翅片，所述鼓状壳体进一步包括出气口，所述出气口在平行于所述出气口处的切线或相对所述切线倾斜较小角度的方向上释放所述连续湿气流和所述进气流的混合气体从而沿着所述中空圆柱腔室的内壁的周长方向形成所述螺旋气流。可选地，所述圆盘固定附连到所述中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电电荷减少系统，其特征在于，包括加湿器，连接到所述加湿器的出口的主流出空气输送管，其中从所述主流出空气输送管分支延伸出至少一个次流出空气输送管，其中将所述次流出空气输送管导向目标位置以将湿空气从所述加湿器输送到所述目标位置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.07.28 CN PCT/CN2016/0920441.一种静电电荷减少系统，其特征在于，包括加湿器，连接到所述加湿器的出口的主流出空气输送管，其中从所述主流出空气输送管分支延伸出至少一个次流出空气输送管，其中将所述次流出空气输送管导向目标位置以将湿空气从所述加湿器输送到所述目标位置。2.根据权利要求1所述的静电电荷减少系统，其特征在于，所述静电电荷减少系统进一步包括连接到所述加湿器的入口的主回流空气输送管，从所述主回流空气输送管分支延伸出至少一个次回流空气输送管，其中所述次回流空气输送管从所述目标位置将所述湿空气吸收回到所述加湿器。3.根据权利要求2所述的静电电荷减少系统，其特征在于，至少一个微毛细管附连到所述主流出空气输送管，并将其导向特定的目标位置。4.根据权利要求3所述的静电电荷减少系统，其特征在于，所述主流出空气输送管与所述主回流空气输送管连接以形成闭合回路或分别在其一端或两端密封从而形成开放性回路。5.根据权利要求3所述的静电电荷减少系统，其特征在于，在所述主流出空气输送管的末梢和/或所述主回流空气输送管的末梢设置阀塞；所述阀塞包括中空圆柱形插入部和外部平头塞；在所述中空圆柱形插入部上设置开口，通过所述阀塞沿着所述中空圆柱形插入部的长度方向上的滑动，能够阻碍或者输送所述主流出空气输送管和/或所述主回流空气输送管中的湿空气。6.根据权利要求2所述的静电电荷减少系统，其特征在于，多个次流出空气输送管道从所述主流出空气输送管道上分支延伸出，并且多个次回流空气输送管从所述主回流空气输送管上分支延伸出。7.根据权利要求6所述的静电电荷减少系统，其特征在于，将每对所述次流出空气输送管道和所述次流出空气输送管导向相同的目标位置以形成次空气输送回路。8.根据权利要求7所述的静电电荷减少系统，其特征在于，所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管沿其长度方向在不同位置分别设置多个开口，至少一个次级管插入所述主流出空气输送管的一个开口以形成所述次流出空气输送管且至少一个次级管插入所述主回流空气输送管的一个开口以形成所述次回流空气输送管。9.根据权利要求8所述的静电电荷减少系统，其特征在于，设置空气控制器以覆盖所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管的至少一个开口。可选地，所述空气控制器可以是包裹所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管上的圆柱形可旋转管。10.根据权利要求6所述的静电电荷减少系统，其特征在于，提供主管支撑器用于支撑所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管，其中所述主管支撑器包括U形结构，所述U形结构具有用于支撑平行设置的所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管的至少两个凹槽。11.根据权利要求6所述的静电电荷减少系统，其特征在于，提供次管支撑器用于支撑所述次流出空气输送管和所述次回流空气输送管，其中所述次管支撑器具有底板和两个...

【专利技术属性】
技术研发人员：高国兴，
申请(专利权)人：大科防静电技术咨询深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44