化学研磨装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种不使用夹具也能够对玻璃基板实施化学研磨处理的单片式化学研磨装置。化学研磨装置(10)至少具备第1研磨处理部(4)、第2研磨处理部(2)与洗涤部(70)。第1研磨处理部(4)构成为对沿着搬送通路被搬送的玻璃基板(100)使用第1处理液进行化学研磨处理。所述第2研磨处理部(2)构成为对沿着搬送通路被搬送的玻璃基板(100)使用与所述第1处理液不同的第2处理液进行化学研磨处理。洗涤部(70)构成为配置于搬送通路的第1研磨处理部(4)的下游侧且第2研磨处理部(2)的上游侧，洗涤附着于所述玻璃基板(100)的处理液。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】化学研磨装置
本专利技术涉及一种化学研磨装置，其构成为对被连续搬送的多个玻璃基板进行化学研磨处理。
技术介绍
为了使玻璃基板薄型化，通常需要使用含有氢氟酸的化学研磨液对玻璃基板进行化学研磨处理。作为这种化学研磨处理，可以举出分批式化学研磨和单片式化学研磨，所述分批式化学研磨将待处理玻璃基板以规定时间浸溃于放入有化学研磨液的槽中，所述单片式化学研磨将待处理玻璃基板用搬送辊依次搬送且同时喷洒化学研磨液。在这些化学研磨的方式中，对于分批方式的研磨而言，其通过将待处理玻璃基板以规定时间浸溃于研磨液浴槽中，从而使玻璃基板薄板化至所期望的板厚，因此具有能够一次性处理大量玻璃基板这样的优点。然而，分批方式的研磨至少存在以下问题。首先，在分批方式的研磨中，由于研磨液浴槽是向上方开放的结构，因此存在研磨液浴槽的周围形成浓氢氟酸气氛这样的问题。特别是，在对研磨液浴槽的研磨液进行发泡处理的情况下，具有气体状的氢氟酸容易向周围扩散这样的问题。在这样的氢氟酸气氛中操作的操作人员，如果不身着适当的保护装备进行操作，则有可能损害健康。因此，发给操作人员的保护装备的成本变高。此外，在分批方式的研本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学研磨装置，其构成为对沿着搬送通路被连续搬送的多个玻璃基板进行化学研磨处理，其特征在于，至少具备:第1研磨处理部，所述第1研磨处理部构成为对沿着所述搬送通路被搬送的玻璃基板使用第1处理液进行化学研磨处理，第2研磨处理部，所述第2研磨处理部构成为对沿着所述搬送通路被搬送的玻璃基板使用与所述第1处理液不同的第2处理液进行化学研磨处理，洗涤部，所述洗涤部构成为被配置于所述搬送通路的所述第1研磨处理部的下游侧且所述第2研磨处理部的上游侧，洗涤附着于所述玻璃基板的处理液。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.06.14 JP 2012-1347081.一种化学研磨装置，其构成为对沿着搬送通路被连续搬送的多个玻璃基板进行化学研磨处理，其特征在于，至少具备: 第I研磨处理部，所述第I研磨处理部构成为对沿着所述搬送通路被搬送的玻璃基板使用第I处理液进行化学研磨处理， 第2研磨处理部，所述第2研磨处理部构成为对沿着所述搬送通路被搬送的玻璃基板使用与所述第I处理液不同的第2处理液进行化学研磨处理， 洗涤部，所述洗涤部构成为被配置于...

【专利技术属性】
技术研发人员：西山荣，
申请(专利权)人：株式会社NSC，
类型：发明
国别省市：日本;JP