一种通风散热式可膨胀单晶炉热场制造技术

本实用新型专利技术涉及一种通风散热式可膨胀单晶炉热场，包括炉体、设置在炉体侧壁的尾气排放口、设置在炉体顶部的进气口、用于安装石英坩埚的石墨保温坩埚、设置在石墨保温坩埚外沿的加热装置、用于安装石墨保温坩埚的坩埚托盘及用于促进通风的导流筒。本实用新型专利技术所述的一种通风散热式可膨胀单晶炉热场，通过导流筒与石英坩埚的侧壁之间留有排气间隙，使的尾气及时排放不让炉体温度过高，通过四块石墨块拼接而成的石墨保温坩埚，四块石墨块与十字定位凸槽相互适配的间隙，可以在石英坩埚膨胀时，减小对石墨坩埚的膨胀应力，延长石墨坩埚的使用寿命，减少成本，有效提高生产收益。

【技术实现步骤摘要】
一种通风散热式可膨胀单晶炉热场
本技术涉及热场领域，尤其是一种通风散热式可膨胀单晶炉热场。
技术介绍
现代工业对单晶炉热场都采用石墨坩埚与石英坩埚的组合热场，石英坩埚受热部分液化膨胀，在冷却时石英坩埚液化部分直接凝固不收缩，对石墨坩埚产生较大的膨胀应力，在多次开炉，停炉加热器冷却过程中，石墨坩埚将很快产生裂纹并破坏。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是:为了克服上述中存在的问题，一种通风散热式可膨胀单晶炉热场，其结构合理，散热效果好，安装稳固，减小对石墨坩埚的膨胀应力，延长石墨?甘祸的使用寿命,减少成本,有效提闻生广收益。 本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种通风散热式可膨胀单晶炉热场，包括炉体、设置在炉体侧壁的尾气排放口、设置在炉体顶部的进气口、用于安装石英坩埚的石墨保温坩埚、设置在石墨保温坩埚外沿的加热装置、用于安装石墨保温坩埚的坩埚托盘及用于促进通风的导流筒，所述的进气口内设置有进气管；所述的炉体内部上侧的设置有导流筒定位孔； 所述的石墨保温坩埚是设置在炉体中部；所述的石墨保温坩埚由四块石墨块拼接而成；所述的石墨保温坩埚底部设置有坩埚托盘；所述的坩埚托盘底部设置有石墨立柱；所述的石墨立柱是固定安装在炉体底部； 所述的坩埚托盘纵向设有若干散热通孔，坩埚托盘上端面设置有用于固定石墨块的十字定位凸槽； 所述的导流筒是通过导流筒定位孔设置在石英坩埚上侧；所述的导流筒是圆锥形空腔体；所述的导流筒定位孔边缘设有阶梯槽；所述的导流筒外沿设有与阶梯槽相适配的凸沿； 所述的导流筒的出口部是伸入石英坩埚内；所述的导流筒与石英坩埚的侧壁之间留有排气间隙。 作为优选的方案，所述的坩埚托盘与石英坩埚之间设有间隙。 作为优选的方案，所述的四块石墨块之间设置有与十字定位凸槽相互适配的间隙。 作为优选的方案，所述的凸沿与阶梯槽是相互适配且密封连接。 作为优选的方案，所述的排气间隙的位置是低于尾气排放口。 作为优选的方案，所述的排气间隙的位置是与尾气排放口平行。 本技术所述的一种通风散热式可膨胀单晶炉热场，其结构合理，通过导流筒与石英坩埚的侧壁之间留有排气间隙，使的尾气及时排放不让炉体温度过高，通过四块石墨块拼接而成的石墨保温坩埚，四块石墨块与十字定位凸槽相互适配的间隙，可以在石英?甘祸膨胀时，减小对石墨樹祸的膨胀应力，延长石墨樹祸的使用寿命，减少成本，有效提闻生产收益。 【附图说明】 下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。 图1是本技术所述的一种通风散热式可膨胀单晶炉热场结构示意图； 图2是本技术所述的一种通风散热式可膨胀单晶炉热场的坩埚俯视示意图。 附图中标记分述如下:1、炉体,2、尾气排放口，3、导流筒定位孔，31、阶梯槽，4、导流筒，41、凸沿，42、出口部，43、排气间隙，51、石墨立柱，52、坩埚托盘，521、散热通孔，522、十字定位凸槽，53、石墨保温坩埚，531、石墨块，54、石英坩埚，6、加热装置，7、进气口，71、进气管。 【具体实施方式】 现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。 如图1、2所示的一种通风散热式可膨胀单晶炉热场，包括炉体1、设置在炉体I侧壁的尾气排放口 2、设置在炉体I顶部的进气口 7、用于安装石英坩埚54的石墨保温坩埚53、设置在石墨保温坩埚53外沿的加热装置6、用于安装石墨保温坩埚53的坩埚托盘52及用于促进通风的导流筒4，所述的进气口 7内设置有进气管71 ;所述的炉体I内部上侧的设置有导流筒定位孔3 ;所述的石墨保温坩埚53是设置在炉体I中部；所述的石墨保温坩埚53由四块石墨块531拼接而成；所述的石墨保温坩埚53底部设置有坩埚托盘52 ;所述的坩埚托盘52底部设置有石墨立柱51 ;所述的石墨立柱51是固定安装在炉体I底部； [0021 ] 所述的坩埚托盘52纵向设有若干散热通孔521，坩埚托盘52上端面设置有用于固定石墨块531的十字定位凸槽522 ;所述的导流筒4是通过导流筒定位孔3设置在石英坩埚54上侧；所述的导流筒4是圆锥形空腔体；所述的导流筒定位孔3边缘设有阶梯槽31 ；所述的导流筒4外沿设有与阶梯槽31相适配的凸沿41 ； 所述的导流筒4的出口部42是伸入石英坩埚54内；所述的导流筒4与石英坩埚54的侧壁之间留有排气间隙43。所述的坩埚托盘52与石英坩埚54设有间隙。所述的四块石墨块531之间设置有与十字定位凸槽522相互适配的间隙。所述的凸沿41与阶梯槽31相互适配且密封连接。所述的排气间隙43的位置是低于尾气排放口 2。所述的排气间隙43的位置是与尾气排放口 2平行。 本技术所述的一种通风散热式可膨胀单晶炉热场，通过导流筒与石英坩埚的侧壁之间留有排气间隙，使的尾气及时排放不让炉体温度过高，通过四块石墨块拼接而成的石墨保温坩埚，四块石墨块与十字定位凸槽相互适配的间隙，可以在石英坩埚膨胀时，减小对石墨坩埚的膨胀应力，延长石墨坩埚的使用寿命，减少成本，有效提高生产收益。 以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种通风散热式可膨胀单晶炉热场，其特征是：包括炉体(1)、设置在炉体(1)侧壁的尾气排放口(2)、设置在炉体(1)顶部的进气口(7)、用于安装石英坩埚(54)的石墨保温坩埚(53)、设置在石墨保温坩埚(53)外沿的加热装置(6)、用于安装石墨保温坩埚(53)的坩埚托盘(52)及用于促进通风的导流筒(4)，所述的进气口(7)内设置有进气管(71)；所述的炉体(1)内部上侧的设置有导流筒定位孔(3)；所述的石墨保温坩埚(53)是设置在炉体(1)中部；所述的石墨保温坩埚(53)由四块石墨块(531)拼接而成；所述的石墨保温坩埚(53)底部设置有坩埚托盘(52)；所述的坩埚托盘(52)底部设置有石墨立柱(51)；所述的石墨立柱(51)是固定安装在炉体(1)底部；所述的坩埚托盘(52)纵向设有若干散热通孔(521)，坩埚托盘(52)上端面设置有用于固定石墨块(531)的十字定位凸槽(522)；所述的导流筒(4)是通过导流筒定位孔(3)设置在石英坩埚(54)上侧；所述的导流筒(4)是圆锥形空腔体；所述的导流筒定位孔(3)边缘设有阶梯槽(31)；所述的导流筒(4)外沿设有与阶梯槽(31)相适配的凸沿(41)；所述的导流筒(4)的出口部(42)是伸入石英坩埚(54)内；所述的导流筒(4)与石英坩埚(54)的侧壁之间留有排气间隙(43)。...

【技术特征摘要】
1.一种通风散热式可膨胀单晶炉热场，其特征是:包括炉体(1)、设置在炉体(1)侧壁的尾气排放口(2)、设置在炉体(1)顶部的进气口(7)、用于安装石英坩埚(54)的石墨保温坩埚(53)、设置在石墨保温坩埚(53)外沿的加热装置(6)、用于安装石墨保温坩埚(53)的坩埚托盘(52)及用于促进通风的导流筒(4)，所述的进气口(7)内设置有进气管(71);所述的炉体(1)内部上侧的设置有导流筒定位孔(3)； 所述的石墨保温坩埚(53)是设置在炉体(1)中部；所述的石墨保温坩埚(53)由四块石墨块(531)拼接而成；所述的石墨保温坩埚(53)底部设置有坩埚托盘(52);所述的坩埚托盘(52)底部设置有石墨立柱(51);所述的石墨立柱(51)是固定安装在炉体(1)底部； 所述的坩埚托盘(52)纵向设有若干散热通孔(521)，坩埚托盘(52)上端面设置有用于固定石墨块(531)的十字定位凸槽(522)； 所述的导流筒(4)是通过导流筒定位孔(3)设置在石英坩埚(54)上侧；所述的导...

【专利技术属性】
技术研发人员：况成林，
申请(专利权)人：重庆市亚核保温材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆;85