化学气相沉积炉制造技术

本发明专利技术提供了一种化学气相沉积炉，其包括：炉体；上炉盖，设置在炉体上部，与炉体密封且可拆装式固定连接；下炉盖，设置在炉体下部，与炉体密封可拆装式固定连接；以及下炉盖升降机构，与下炉盖固定连接，以使下炉盖在脱开固定的炉体后带动下炉盖降落以进行下出料、以及带动出料后的下炉盖上升以与炉体结合。所述化学气相沉积炉还可包括：前后推送机构，设置于下炉盖的正下方，前后推送机构使下炉盖升降机构带动下降的下炉盖落在其上并前后移动到至外围，以进行出装料。炉体、上炉盖、下炉盖均可采用水冷夹层、保温层。由此，能够避免在反复拆装的过程中炉体的相互错位；出装料安全、可靠，操作方便；炉内的热场稳定并提高了高温工作安全性。

【技术实现步骤摘要】
化学气相沉积炉
本专利技术涉及一种热处理设备，尤其涉及一种化学气相沉积炉。
技术介绍
目前应用到化学气相沉积的设备主要采用中部出炉或者上部出炉。例如，于2011年12月7日授权公告的中国专利CN202063992U公开了一种化学气相沉积炉，其中炉本体中的上炉体外一侧与炉体提升机构连接而炉盖的上端与设置在上炉体侧面的炉盖提升机构连接，由于炉本体采用炉盖、上炉体、下炉体、炉底结构，故这种化学气相沉积炉为中部开炉方式，该种中部开炉方式的炉体结构对于出装料均不方便，操作难度大，且安全危险性高。此外，上炉体以及炉盖在反复拆装的过程中容易导致炉体相互错位。此外，化学气相沉积炉一般的使用的温度都比较高，且使用过程中一般会存在两个不同的热场，一个为熔料热场也就是所说的坩埚区域，一个为沉积热场，即沉积区。化学气相沉积的工艺决定了化学气相沉积炉有两个不同的热场，且温度比较高，这对确保炉内的稳定的热场并同时保证其高温工作安全性提出了挑战。因此，某些群体会赏识在化学气相沉积炉上的进一步改进。
技术实现思路
鉴于
技术介绍
中存在的问题，本专利技术的目的在于提供一种化学气相沉积炉，其便于出装料、操作容易、操作安全。本专利技术的另一目的在于提供一种化学气相沉积炉，其能够避免在反复拆装的过程中炉体的相互错位。本专利技术的再一目的在于提供一种化学气相沉积炉，其能够确保炉内的稳定的热场并同时提高了高温工作安全性。为了实现上述目的，本专利技术提供了一种化学气相沉积炉，其包括：炉体；上炉盖，设置在炉体上部，与炉体密封且可拆装式固定连接；下炉盖，设置在炉体下部，与炉体密封可拆装式固定连接；以及下炉盖升降机构，与下炉盖固定连接，以使下炉盖在脱开固定的炉体后带动下炉盖降落以进行下出料、以及带动出料后的下炉盖上升以与炉体结合。优选地，所述化学气相沉积炉还可包括：前后推送机构，设置于下炉盖的正下方，前后推送机构使下炉盖升降机构带动下降的下炉盖落在其上并前后移动到至外围，以进行出装料。优选地，炉体包括炉体壳、水冷夹层、保温层、保温层固定壳；上炉盖包括上炉盖壳、水冷夹层、保温层、保温层固定壳；以及下炉盖包括下炉盖壳、水冷夹层、保温层、保温层固定壳。本专利技术的有益效果如下：采用底部出炉的方式，能够避免在反复拆装的过程中炉体的相互错位；地面设有前后推送机构，将下炉盖采用前后推送机构移至外围，进行出装料，安全、可靠，操作方便。炉体、上炉盖、下炉盖均可采用水冷夹层、保温层，能够确保炉内的稳定的热场并同时提高了高温工作安全性。附图说明图1为根据本专利技术的化学气相沉积炉的立体图；图2为炉体的炉体壳、水冷夹层、保温层、保温层固定壳的示意图；图3为上炉盖的上炉盖壳、水冷夹层、保温层、保温层固定壳的示意图；图4为下炉盖的下炉盖壳、水冷夹层、保温层、保温层固定壳的示意图；图5为各加热区的三个加热器的分布示意图。其中，附图标记说明如下：1炉体5下炉盖升降机构11炉体壳51驱动器12水冷夹层52滚珠丝杆13保温层53导块14保温层固定壳54十字换向器15加热器55固定架16水冷电极551位置调整块2上炉盖56连杆21吊耳57减速机22上炉盖壳58导向机构23水冷夹层581导轨24保温层582滑块25保温层固定壳583止挡块26尾气出口59换向器3下炉盖6前后推送机构31下炉盖壳61底座32水冷夹层62导轨33保温层63驱动器34保温层固定壳64滚珠丝杆35轮对65丝杆螺母36卡扣部66减速机4支撑架67限位块41侧支架68联轴器411横梁7液压夹具412立柱8连接件42连接梁9连接件具体实施方式下面参照附图来详细说明根据本专利技术的化学气相沉积炉。参照图1，根据本专利技术的化学气相沉积炉包括：炉体1；上炉盖2，设置在炉体1上部，与炉体1密封且可拆装式固定连接；下炉盖3，设置在炉体1下部，与炉体1密封可拆装式固定连接；以及下炉盖升降机构5，与下炉盖3固定连接，以使下炉盖3在脱开固定的炉体1后带动下炉盖3降落以进行下出料、以及带动出料后的下炉盖3上升以与炉体1结合。本炉体1采用底部出料的方式，安全、可靠，操作方便，且能够避免在反复拆装的过程中炉体的相互错位。在炉体1的一实施例中，参照图2，炉体1包括炉体壳11、水冷夹层12、保温层13、保温层固定壳14。化学气相沉积炉一般的使用的温度都比较高，且使用过程中一般会存在两个不同的热场，一个为熔料热场也就是所说的坩埚区域，一个为沉积热场，即沉积区。化学气相沉积的工艺决定了有两个不同的热场，且温度比较高，炉体1采用水冷夹层12、保温层13的结构，可以使得化学气相沉积炉既能保证高温又能保证炉体1不被融化，保证了化学气相沉积炉的高温安全性。在炉体1的一实施例中，优选地，炉体1设有进出水管的接口（未示出），进出水管接口连通于水冷夹层12，进出水管接口采用低进高出的方式连接水管。优选地，在炉体1上设有预留口。在炉体1的一实施例中，优选地，炉体1分为上加热区和下加热区，以便于控制不同部位的温度。更优选地，参照图5，各加热区设有三个加热器15。进一步优选地，各加热区的三个加热器15以等分360度圆布置。在加热器15的一实施例中，优选地，加热器15为石墨加热器。更优选地，各加热器15分别通信连接于感温器（未示出）。各加热器的独立控制可使加热更均匀。更优选地，感温器为热电偶。在根据本专利技术的化学气相沉积炉中，参照图1，各加热器15连接两个水冷电极16。更优选地，水冷电极16为水冷铜电极。在根据本专利技术的化学气相沉积炉中，对应的两个水冷电极16连接于变压器（未示出），变压器安装在后面所述的上支架上。将变压器安装在所述上支架上，可减小变压器所占面积。在根据本专利技术的化学气相沉积炉中，上炉盖2与炉体1之间的可拆装式固定连接为螺栓连接。在根据本专利技术的化学气相沉积炉中，上炉盖2上设有尾气出气口26。此外，在炉体1的上炉盖2可设有温度测量接口、气体进气口、压力测量接口、测量反应物质的蒸发量接口以及预留口，其中各个口的数量与化学气相沉积炉内所设置的沉积室的数量配套，一般是一个沉积室对应着两个温度测量接口，一个反应物质的蒸发量测量接口，其中进气口的数量根据工艺要求决定，预留口一般一到两个即可。在根据本专利技术的化学气相沉积炉中，参照图1，上炉盖2上设有吊耳21，用于吊装。在根据本专利技术的化学气相沉积炉中，参照图3，上炉盖2包括上炉盖壳22、水冷夹层23、保温层24、保温层固定壳25。在上炉盖2的一实施例中，优选地，上炉盖2设有进出水管的接口（未示出），进出水管接口连通于水冷夹层23，进出水管接口采用低进高出的方式连接水管。在上炉盖2的一实施例中，优选地，上炉盖2与炉体1密封连接采用密封圈（未示出）进行密封连接。在根据本专利技术的化学气相沉积炉中，参照图1，下炉盖3与炉体1之间的可拆装式固定连接采用液压夹具7实现。液压夹具7可以沿周向等间隔布置，从而在将下炉盖3的法兰与炉体1的法兰夹紧时，夹具力分布均匀。此外液压夹具7可以统一通信连接于同一控制装置（未示出），从而使得施加液压夹紧力时统一控制，从而提高了夹紧力的均匀性以及开启关闭时的同步性，从而有利于下炉盖3打开时的平衡。在下炉盖3的一实施例中，参照图4，下炉盖3包括下炉盖壳31、水冷夹层32、保温层33、保温层固定壳34。在下炉盖3的一实施例中，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学气相沉积炉，包括：炉体（1）；上炉盖（2），设置在炉体（1）上部，与炉体（1）密封且可拆装式固定连接；以及下炉盖（3），设置在炉体（1）下部，与炉体（1）密封可拆装式固定连接；其特征在于，所述化学气相沉积炉还包括：下炉盖升降机构（5），与下炉盖（3）固定连接，以使下炉盖（3）在脱开固定的炉体（1）后带动下炉盖（3）降落以进行下出料、以及带动出料后的下炉盖（3）上升以与炉体（1）结合。

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉，包括：炉体(1)；上炉盖(2)，设置在炉体(1)上部，与炉体(1)密封且可拆装式固定连接；以及下炉盖(3)，设置在炉体(1)下部，与炉体(1)密封可拆装式固定连接；其特征在于，所述化学气相沉积炉还包括：支撑架(4)，支撑架(4)包括：两个侧支架(41)，设置于炉体(1)相反两侧，各侧支架(41)包括：一横梁(411)：以及至少两个立柱(412)，固定连接于该横梁(411)；以及两个连接梁(42)，连接在两个侧支架(41)的横梁(411)之间；其中，两个侧支架(41)的横梁(411)和两个连接梁(42)形成上支架；下炉盖升降机构(5)，与下炉盖(3)固定连接，以使下炉盖(3)在脱开固定的炉体(1)后带动下炉盖(3)降落以进行下出料、以及带动出料后的下炉盖(3)上升以与炉体(1)结合，下炉盖升降机构(5)包括：驱动器(51)，设置于所述上支架；至少两个滚珠丝杆(52)；至少两个导块(53)，各导块(53)使相应的滚珠丝杆(52)穿设且与相应的丝杆螺母固定连接以与滚珠丝杆(52)形成传动连接，各导块(53)固定连接于下炉盖(3)；至少两个十字换向器(54)，设置在所述上支架上，连接驱动器(51)和相应滚珠丝杆(52)的一端；以及至少两个固定架(55)，固定连接于相应滚珠丝杆(52)的另一端；以及至少两个连杆(56)，设置在所述上支架上且连接驱动器(51)、相应的十字换向器(54)，以及相应的滚珠丝杆(52)；前后推送机构(6)，设置于下炉盖(3)的正下方，前后推送机构(6)使下炉盖升降机构(5)带动下降的下炉盖(3)落在其上并前后移动到至外围，以进行出装料。2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，炉体(1)包括炉体壳(11)、水冷夹层(12)、保温层(13)、保温层固定壳(14)；上炉盖(2)包括上炉盖壳(22)、水冷夹层(23)、保温层(24)、保温层固定壳(25)；以及下炉盖(3)包括下炉盖壳(31)、...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱刘，朱巨才，于金凤，吴伟平，陈松，李钦，
申请(专利权)人：广东先导稀材股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44