微波器件可靠性测试装置及其测试方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种微波器件可靠性测试装置及其测试方法，涉及测量电变量的装置或方法技术领域。所述方法包括以下步骤：选择微波器件的滤波电容；将所述滤波电容烧结在管壳内；将微波器件管芯烧结在管壳内；将滤波电容键合在管壳输入端子上；将管芯键合在管壳输入端子及管壳输出端子上；将上述管壳连接入微波器件；测试上述微波器件的直流参数，观察测试曲线；开展加速功率老炼试验，通过使用高频毫伏表测试，并进行观察。所述方法将滤波电容放置在管壳内，根据不同的微波器件选择不同的电容组合，成功消除了微波器件可靠性测试过程中的自激现象，同时由于采用了烧结工艺及芯片滤波电容，保证微波器件可工作在高温状态，可开展高温加速寿命试验。

【技术实现步骤摘要】
微波器件可靠性测试装置及其测试方法
本专利技术涉及测量电变量的装置或方法
，尤其涉及一种微波器件可靠性测试装置及其测试方法。
技术介绍
基于半导体材料可制作微波器件，为了验证微波器件的可靠性，需要开展高温反偏、功率老炼等试验，试验过程中经常发现器件存在自激的现象，自激容易造成器件工作不稳定，甚至烧毁。同时在可靠性试验前后的测试过程中，自激现象的存在会导致试验结果不准确。微波器件是实现对微波信号进行放大的器件，在进行可靠性试验时，需要对器件施加一定的直流工作电压，例如8V、28V、36V等，直流工作电压由直流电源提供，由于供电线路及电源内部电路的影响，电源输出电压不稳定，同时由于电源与器件之间的连接线路存在寄生电容及电感，会产生杂波、过冲等现象，杂波、过冲的存在容易造成器件自激，表现为工作电压不稳定，忽高忽低，工作电流不稳定，忽高忽低，容易造成器件烧毁，导致试验结果不准确。通常，采用在器件外围增加稳定电路的方法消除自激，外围电路包括滤波电容。此种方法无法从根本上消除器件自激现象。同时，由于器件外围电路不能够承受高温，此种方法无法应用于高温加速寿命试验。专利技术内容本专利技术所要解本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微波器件可靠性测试装置，其特征在于：所述装置包括管壳（1）、第一滤波电容（2）和第二滤波电容（3），所述第一滤波电容（2）和第二滤波电容（3）位于所述管壳（1）内，管壳（1）外设有管壳输入端子（4）和管壳输出端子（5），所述第一滤波电容（2）和第二滤波电容（3）的一端与所述管壳输入端子（4）连接，微波器件管芯（6）的一端与管壳输入端子（4）连接，微波器件管芯（6）的另一端与管壳输出端子（5）连接。

【技术特征摘要】
1.一种微波器件可靠性测试装置，其特征在于：所述装置包括管壳（1）、第一滤波电容（2）和第二滤波电容（3），所述第一滤波电容（2）和第二滤波电容（3）位于所述管壳（1）内，管壳（1）外设有管壳输入端子（4）和管壳输出端子（5），所述第一滤波电容（2）和第二滤波电容（3）的一端与所述管壳输入端子（4）连接，微波器件管芯（6）的一端与管壳输入端子（4）连接，微波器件管芯（6）的另一端与管壳输出端子（5）连接，根据不同的微波器件选择不同的电容组合。2.根据权利要求1所述的微波器件可靠性测试装置，其特征在于：所述第一滤波电容（2）容值为10pF，第二滤波电容（3）容值为100pF。3.一种消除微波器件可靠性测试自激的方法，其特征在于包括以下步骤...

【专利技术属性】
技术研发人员：李亮，默江辉，崔玉兴，付兴昌，蔡树军，杨克武，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十三研究所，
类型：发明
国别省市：河北;13