致动器和具备该致动器的精密机械制造技术

该发明专利技术的致动器具有驱动带（1）、引导轨道（2）、滑动体（3）和直线引导装置（4）。该致动器在以下状态下使用：直线引导装置（4）的轴承被固定在引导轨道（2）的长度方向一端即驱动带轮（52）侧的端部，基座（7）被固定于直线引导装置（4）的导轨。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】该专利技术的致动器具有驱动带（1）、引导轨道（2）、滑动体（3）和直线引导装置（4）。该致动器在以下状态下使用：直线引导装置（4）的轴承被固定在引导轨道（2）的长度方向一端即驱动带轮（52）侧的端部，基座（7）被固定于直线引导装置（4）的导轨。【专利说明】致动器和具备该致动器的精密机械
该专利技术涉及致动器，所述致动器具备借助带驱动而沿引导轨道往复运动的滑动体。
技术介绍
过去，在高精度的制造装置、检查装置、搬送装置等中使用致动器，该致动器的滑动体借助基于旋转电机的带驱动而沿引导轨道往复运动。构成该致动器的滑动体具备针对引导轨道的轴承。驱动带绕挂于驱动带轮和从动带轮之间。作为这样的致动器的现有例，列举有专利文献I和专利文献2中记载结构。 记载于专利文献I和专利文献2的致动器具有沿各自的引导轨道移动的主轴承(固定搭载物的滑动体)和副轴承(滑动体)。这些轴承具有静压垫，在所述静压垫和各引导轨道之间形成静压空气轴承。 这样的致动器通常在以下状态下使用:引导轨道的长度方向一端利用螺栓被固定于基座的驱动带轮侧，另一端利用螺栓被固定于从动带轮侧。 由此，当由于引导轨道与基座的材质不同而热膨胀系数的差较大时，由于温度变化导致在引导轨道和基座之间产生伸缩差。而且，即便引导轨道与基座的材质相同，当两者产生温度差时也会产生伸缩差。并且，若在引导轨道和基座之间产生伸缩差，则会在引导轨道产生形变，因此，需要实施防止该情况的对策。 在专利文献3中，作为其对策记载了下述内容:在用于安装直线引导装置的轨道的底座(基座)设置插入轨道的底部的槽，将轨道的底部插入该槽中，并且，设置按压部件，该按压部件将轨道的至少一侧面向槽内侧面按压。 现有技术文献 专利文献 专利文献1:日本特开2001-248703号公报 专利文献2:日本特开2008-101642号公报 专利文献3:日本特开2002-349564号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题 但是，在记载于专利文献3的对策中，直线引导装置的运动精度依赖于设置在基座的槽的底面以及侧面的面精度，从而滑动体的直行精度(直线度)有可能降低。因此，不仅是基座的槽的底面以及侧面，而且与这些面接触的轨道的面也需要高精度地进行加工，从而加工成本增高。此外,根据基座的材质需要专用的轨道。 由此，对于记载于专利文献3的对策，在成本方面尚有改善的余地。 该专利技术的课题在于，在具备借助带驱动而沿引导轨道往复运动的滑动体的致动器中，对于在与基座之间产生伸缩差时而使引导轨道产生形变的问题，能够以比记载于专利文献3的对策成本低的对策来防止。 用于解决课题的手段 为了解决上述课题，该专利技术的一个方式的致动器具有:(I)驱动带，其绕挂于驱动带轮和从动带轮之间；(2)引导轨道，其与所述驱动带并列配置；(3)滑动体，其具有静压垫，在所述静压垫和所述引导轨道之间形成静压空气轴承，所述滑动体借助所述驱动带的驱动而沿所述引导轨道往复运动；以及(4)直线引导装置，其具有轴承、导轨和滚动体，(5)所述致动器在以下状态下使用:所述轴承被固定在所述引导轨道的长度方向一端即所述驱动带轮侧的端部，所述导轨被固定于基座。 即，该专利技术的一个方式的致动器根据具有所述要素(I)?(3 )的致动器，其特征在于，具有所述要素(4)并且满足所述要素(5)。 在该专利技术的一个方式的致动器中，具有所述结构(I)?(3)的致动器的引导轨道的长度方向一端即驱动带轮侧(发热源侧)的端部经由直线引导装置而固定于基座，由此，通过直线引导装置的轴承相对于导轨相对地进行直线移动，在引导轨道和基座产生的伸缩差被吸收。由此，在引导轨道和基座产生伸缩差的情况下，防止了引导轨道产生形变。 在该专利技术的一个方式的致动器中，在引导轨道的长度方向一端即驱动带轮侧的端部设置一般的直线引导装置，由此，实施防止由于与基座的伸缩差而在引导轨道产生形变的对策。该对策能够以比记载于专利文献3的对策低的成本实现。 该专利技术的一个方式的致动器作为精密机械(精密加工机械、精密检查机械、精密扫描装置、半导体器件制造装置、平板显示器制造装置等)的直线引导致动器是适宜使用的。 专利技术效果 该专利技术的致动器是比记载于专利文献3的对策成本低的对策，在引导轨道与基座之间产生伸缩差的情况下，能够防止在引导轨道产生形变。 【专利附图】【附图说明】 图1是表示实施方式中的致动器的俯视图。 图2是表示实施方式中的致动器的侧视图。 图3是沿图2中的A-A线的剖视图。 图4是沿图2中的B-B线的剖视图。 【具体实施方式】 下面，对该专利技术的实施方式进行说明，但该专利技术不限于该实施方式。 如图1和图2所示，该实施方式中的致动器由以下部分构成:驱动带1、引导轨道 2、滑动体3、直线引导装置4、从动带轮51、驱动带轮52、以及对驱动带轮52进行旋转驱动的电机6。驱动带I绕挂于从动带轮51和驱动带轮52。引导轨道2具有上侧敞开的凹状的截面形状，引导轨道2由底板部22和对置的两个侧部件21构成。 引导轨道2的长度方向一端固定于驱动侧固定板25上,驱动带轮25的壳体52a固定于该驱动侧固定板25。引导轨道2的长度方向另一端固定于从动侧固定板26上，从动带轮51的壳体51a固定于该从动侧固定板26。驱动侧固定板25经由直线引导装置4安装于基座7。引导轨道2例如为氧化铝等陶瓷制成或钢铁制成，基座7例如为石材制成、钢铁制成或铝合金制成。 如图3所示，直线引导装置4由导轨41、两个轴承42、和滚珠(滚动体)43构成，轴承42利用螺栓75固定于驱动侧固定板25。导轨41利用螺栓76固定于基座侧固定板71。基座侧固定板71利用螺栓77固定于基座7。另外，如图4所示，从动侧固定板26利用螺栓78固定于凸部7a，该凸部7a形成得比基座7的基线L高。 S卩，引导轨道2的长度方向一端即驱动带轮52侧的端部经由驱动侧固定板25、直线引导装置4和基座侧固定板71而安装于基座7。并且，引导轨道2的长度方向另一端即从动带轮51侧的端部固定于形成得比基座7的基线L高的凸部7a。 如图3和图4所示，滑动体3由以下部分构成:上板31，其配置于引导轨道2的上侧；底板32，其配置于引导轨道2的底板部22的下侧；以及一对侧板33、34，它们配置于引导轨道2的各侧部件21的外侧。 并且，在上板31的下表面的两端侧(与引导轨道2的各侧部件21的上表面对置的位置)、底板32的上表面的两端侧(与引导轨道2的各侧部件21的上表面对置的位置)、以及一对侧板33、34的内表面的上部和下部，分别配置有由多孔石墨形成的静压垫31a?34a。在所述静压垫31a?34a与引导轨道2的各侧部件21之间形成静压空气轴承。 如图2?图4所示，驱动带I的下侧部配置于引导轨道2的凹部内。驱动带I的固定部(配置于下侧部的滑动体3内的中央的部分)10经由安装部件8固定于滑动体3的上板31。 如图3所示，安装部件8具备上板部件81、下板部件82以及板簧83，其中，上板部件81和下板部件82从上下方向夹着驱动带I的固定部11。驱动带I的固定部10配置于下板部件82的凹部82a中，上板部件81利用螺栓91固定于下板部件8本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种致动器，其具有：驱动带，其绕挂于驱动带轮和从动带轮之间；引导轨道，其与所述驱动带并列配置；滑动体，其具有静压垫，在所述静压垫和所述引导轨道之间形成静压空气轴承，所述滑动体借助所述驱动带的驱动而沿所述引导轨道往复运动；以及直线引导装置，其具有轴承、导轨和滚动体，所述致动器在以下状态下使用：所述轴承被固定在所述引导轨道的长度方向一端即所述驱动带轮侧的端部，所述导轨被固定于基座。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤俊德，
申请(专利权)人：日本精工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP