一种卷绕式ITO结晶设备，包括放膜辊，第一组夹紧辊，高温辊，第二组夹紧辊，收膜辊，第一速度检测传感器，薄膜，第二速度检测传感器；其中：放膜辊与第一组夹紧辊平行布置在框架上，第一组夹紧辊和高温辊平行布置在框架上；高温辊和第二组夹紧辊平行布置在框架上，第二组夹紧辊和收膜辊平行布置在框架上；第一速度检测传感器布置在第二组夹紧辊的下后方；第二速度检测传感器布置在第一组夹紧辊的下前方；薄膜绕在放膜辊上，顺次通过第一组夹紧辊、高温辊、第二组夹紧辊和收膜辊上。本发明专利技术的优点：加热辊能与零张力的薄膜完整贴合，且能保证每一点都能受热均匀，可以有效解决薄膜宽度的限制，可制备大尺寸ITO结晶膜。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种卷绕式ITO结晶设备，包括放膜辊，第一组夹紧辊，高温辊，第二组夹紧辊，收膜辊，第一速度检测传感器，薄膜，第二速度检测传感器；其中：放膜辊与第一组夹紧辊平行布置在框架上，第一组夹紧辊和高温辊平行布置在框架上；高温辊和第二组夹紧辊平行布置在框架上，第二组夹紧辊和收膜辊平行布置在框架上；第一速度检测传感器布置在第二组夹紧辊的下后方；第二速度检测传感器布置在第一组夹紧辊的下前方；薄膜绕在放膜辊上，顺次通过第一组夹紧辊、高温辊、第二组夹紧辊和收膜辊上。本专利技术的优点：加热辊能与零张力的薄膜完整贴合，且能保证每一点都能受热均匀，可以有效解决薄膜宽度的限制，可制备大尺寸ITO结晶膜。【专利说明】一种卷绕式I TO结晶设备
本专利技术涉及Ι--结晶膜生产设备，特别涉及了一种卷绕式ΙΤ0结晶设备。
技术介绍
现在对于薄膜ΙΤ0结晶来说，薄膜主要的承载方式为平面式承载，即在0张力情 况下薄膜依附于平面板上，放置于加热真空腔室内。这种方式的缺点，薄膜宽度不能大于 500_，因为宽度过大，会造成四周与中心受热不均匀，影响结晶效果。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了能够有效解决薄膜宽度的限制，制备大尺寸ΙΤ0结晶膜，特 提供了一种卷绕式ΙΤ0结晶设备。 本专利技术提供了一种卷绕式ΙΤ0结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ΙΤ0结晶设 备，包括放膜辊1，第一组夹紧辊2,高温辊4,第二组夹紧辊5,收膜辊6,第一速度检测传感 器7,薄膜8,第二速度检测传感器9 ; 其中：放膜辊1与第一组夹紧辊2平行布置在框架上，第一组夹紧辊2和高温辊4 平行布置在框架上； 高温辊4和第二组夹紧辊5平行布置在框架上，第二组夹紧辊5和收膜辊6平行 布置在框架上； 第一速度检测传感器7布置在第二组夹紧辊5的下后方；第二速度检测传感器9 布置在第一组夹紧辊2的下前方； 薄膜8绕在放膜辊1上，顺次通过第一组夹紧辊2、高温辊4、第二组夹紧辊5和收 膜辊6上。 所述的卷绕式ΙΤ0结晶设备，还包括一个能抽真空环境的封闭箱体3 ; 放膜辊1、第一组夹紧辊2、高温辊4、第二组夹紧辊5、收膜辊6、第一速度检测传感 器7、薄膜8和第二速度检测传感器9均布置在能抽真空环境的封闭箱体3内。 所述的卷绕式Ι--结晶设备，还包括控制单元，控制单元为PC。 所述的卷绕式ΙΤ0结晶设备，还包括电机驱动装置，电机驱动装置分别连接放膜 辊1、高温辊4和收膜辊6。 工作原理： 通过放膜辊的薄膜，经过第一组夹紧辊，使其自然下垂，通过重力自然吸附在高温 辊上，薄膜贴合着高温辊来进行运动，来实现ΙΤ0的结晶。 当机构运转时，放膜辊、加热辊和收膜辊同方向旋转；加热辊的镀膜速度由人工调 节；放膜辊的速度由第二速度检测传感器进行反馈，反馈给PC，由PC进行调速。如果放膜 辊部分膜下垂量不足，则放膜辊加速，相反则减速。收膜辊的收膜速度由第一速度检测传感 器进行调节，如果收卷部分膜下垂量不足，则收膜辊减速，反之则加速。 本专利技术的优点： 本专利技术所述的卷绕式ΙΤ0结晶设备，加热辊能与零张力的薄膜完整贴合，且能保 证每一点都能受热均匀，可以有效解决薄膜宽度的限制，可制备大尺寸ΙΤ0结晶膜。 【专利附图】【附图说明】 下面结合附图及实施方式对本专利技术作进一步详细的说明： 图1为卷绕式ΙΤ0结晶设备结构示意图。 【具体实施方式】 实施例1 本实施例提供了一种卷绕式ΙΤ0结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ΙΤ0结晶设 备，包括放膜辊1，第一组夹紧辊2,高温辊4,第二组夹紧辊5,收膜辊6,第一速度检测传感 器7,薄膜8,第二速度检测传感器9 ; 其中：放膜辊1与第一组夹紧辊2平行布置在框架上，第一组夹紧辊2和高温辊4 平行布置在框架上； 高温辊4和第二组夹紧辊5平行布置在框架上，第二组夹紧辊5和收膜辊6平行 布置在框架上； 第一速度检测传感器7布置在第二组夹紧辊5的下后方；第二速度检测传感器9 布置在第一组夹紧辊2的下前方； 薄膜8绕在放膜辊1上，顺次通过第一组夹紧辊2、高温辊4、第二组夹紧辊5和收 膜辊6上。 所述的卷绕式ΙΤ0结晶设备，还包括一个能抽真空环境的封闭箱体3 ; 放膜辊1、第一组夹紧辊2、高温辊4、第二组夹紧辊5、收膜辊6、第一速度检测传感 器7、薄膜8和第二速度检测传感器9均布置在能抽真空环境的封闭箱体3内。 所述的卷绕式ΙΤ0结晶设备，还包括控制单元，控制单元为PC。 所述的卷绕式ΙΤ0结晶设备，还包括电机驱动装置，电机驱动装置分别连接放膜 辊1、高温辊4和收膜辊6。 工作原理： 通过放膜辊的薄膜，经过第一组夹紧辊，使其自然下垂，通过重力自然吸附在高温 辊上，薄膜贴合着高温辊来进行运动，来实现ΙΤ0的结晶。 当机构运转时，放膜辊、加热辊和收膜辊同方向旋转；加热辊的镀膜速度由人工调 节；放膜辊的速度由第二速度检测传感器进行反馈，反馈给PC，由PC进行调速。如果放膜 辊部分膜下垂量不足，则放膜辊加速，相反则减速。收膜辊的收膜速度由第一速度检测传感 器进行调节，如果收卷部分膜下垂量不足，则收膜辊减速，反之则加速。【权利要求】1. 一种卷绕式ITO结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ITO结晶设备，包括放膜辊 (1)，第一组夹紧辊（2)，高温辊（4)，第二组夹紧辊（5)，收膜辊（6)，第一速度检测传感器 (7)，薄膜（8)，第二速度检测传感器（9); 其中：放膜辊（1)与第一组夹紧辊（2)平行布置在框架上，第一组夹紧辊（2)和高温辊 (4) 平行布置在框架上； 高温辊（4)和第二组夹紧辊（5)平行布置在框架上，第二组夹紧辊（5)和收膜辊（6) 平行布置在框架上； 第一速度检测传感器（7)布置在第二组夹紧辊（5)的下后方；第二速度检测传感器 (9)布置在第一组夹紧辊（2)的下前方； 薄膜（8)绕在放膜辊（1)上，顺次通过第一组夹紧辊（2)、高温辊（4)、第二组夹紧辊 (5) 和收膜棍（6)上。2. 按照权利要求1所述的卷绕式ΙΤ0结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ΙΤ0结晶 设备，还包括一个能抽真空环境的封闭箱体（3); 放膜辊（1)、第一组夹紧辊（2)、高温辊（4)、第二组夹紧辊（5)、收膜辊（6)、第一速度检 测传感器（7)、薄膜（8)和第二速度检测传感器（9)均布置在能抽真空环境的封闭箱体（3) 内。3. 按照权利要求1所述的卷绕式ΙΤ0结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ΙΤ0结晶 设备，还包括控制单元，控制单元为PC。4. 按照权利要求1所述的卷绕式ITO结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ITO结晶 设备，还包括电机驱动装置，电机驱动装置分别连接放膜辊（1)、高温辊（4)和收膜辊（6)。【文档编号】C01G15/00GK104192891SQ201410367386【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年7月30日 优先权日:2014年7月30日 【专利技术者】王宇 申请人:沈阳镨和真空电子设备有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种卷绕式ITO结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ITO结晶设备，包括放膜辊(1)，第一组夹紧辊(2)，高温辊(4)，第二组夹紧辊(5)，收膜辊(6)，第一速度检测传感器(7)，薄膜(8)，第二速度检测传感器(9)；其中：放膜辊(1)与第一组夹紧辊(2)平行布置在框架上，第一组夹紧辊(2)和高温辊(4)平行布置在框架上；高温辊(4)和第二组夹紧辊(5)平行布置在框架上，第二组夹紧辊(5)和收膜辊(6)平行布置在框架上；第一速度检测传感器(7)布置在第二组夹紧辊(5)的下后方；第二速度检测传感器(9)布置在第一组夹紧辊(2)的下前方；薄膜(8)绕在放膜辊(1)上，顺次通过第一组夹紧辊(2)、高温辊(4)、第二组夹紧辊(5)和收膜辊(6)上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王宇，
申请(专利权)人：沈阳镨和真空电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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