【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种卷绕式ITO结晶设备，包括放膜辊，第一组夹紧辊，高温辊，第二组夹紧辊，收膜辊，第一速度检测传感器，薄膜，第二速度检测传感器；其中：放膜辊与第一组夹紧辊平行布置在框架上，第一组夹紧辊和高温辊平行布置在框架上；高温辊和第二组夹紧辊平行布置在框架上，第二组夹紧辊和收膜辊平行布置在框架上；第一速度检测传感器布置在第二组夹紧辊的下后方；第二速度检测传感器布置在第一组夹紧辊的下前方；薄膜绕在放膜辊上，顺次通过第一组夹紧辊、高温辊、第二组夹紧辊和收膜辊上。本专利技术的优点：加热辊能与零张力的薄膜完整贴合，且能保证每一点都能受热均匀，可以有效解决薄膜宽度的限制，可制备大尺寸ITO结晶膜。【专利说明】一种卷绕式I TO结晶设备
本专利技术涉及Ι--结晶膜生产设备，特别涉及了一种卷绕式ΙΤ0结晶设备。
技术介绍
现在对于薄膜ΙΤ0结晶来说，薄膜主要的承载方式为平面式承载，即在0张力情 况下薄膜依附于平面板上，放置于加热真空腔室内。这种方式的缺点，薄膜宽度不能大于 500_，因为宽度过大，会造成四周与中心受热不均匀，影响结晶效果。 【专利技...
【技术保护点】
一种卷绕式ITO结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ITO结晶设备，包括放膜辊(1)，第一组夹紧辊(2)，高温辊(4)，第二组夹紧辊(5)，收膜辊(6)，第一速度检测传感器(7)，薄膜(8)，第二速度检测传感器(9)；其中：放膜辊(1)与第一组夹紧辊(2)平行布置在框架上，第一组夹紧辊(2)和高温辊(4)平行布置在框架上；高温辊(4)和第二组夹紧辊(5)平行布置在框架上，第二组夹紧辊(5)和收膜辊(6)平行布置在框架上；第一速度检测传感器(7)布置在第二组夹紧辊(5)的下后方；第二速度检测传感器(9)布置在第一组夹紧辊(2)的下前方；薄膜(8)绕在放膜辊(1)上，顺次通过第一...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王宇，
申请(专利权)人：沈阳镨和真空电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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