【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种高灵敏度三轴MEMS加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；其特征在于，所述测量体为两层结构，每层包括外框架、位于所述外框架内的内框架以及与所述内框架相连接的质量块；所述外框架与所述内框架之间通过第一弹性梁相连接；所述质量块与所述内框架通过第二弹性梁相连接，所述质量块与所述内框架之间设置有梳状耦合结构，其中上层测量体的梳状耦合结构走向与下层测量体的梳状耦合结构走向在投影平面上相互垂直，所述上层测量体与所述下层测量体分别测量两个相互垂直方向上的加速度；所述上层测量体、所述下层测量体以及所述内框架形成一整体，并通过所述整体与所述上盖板硅片及所述下盖板硅片之间的电容变化来测量第三个方向上的加速度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：孙晨，于连忠，
申请(专利权)人：中国科学院地质与地球物理研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。