一种加速度计中的Z轴结构制造技术

本发明专利技术提供了一种加速度计中的Z轴结构，包括相对于衬底在Z轴方向上来回移动的质量块，所述质量块的侧壁上设置有第一可动电极极片、第二可动电极极片；还分别设有朝由X轴、Y轴组成的平面方向伸出的第一固定电极极片、第二固定电极极片。本发明专利技术的Z轴加速度计，摒弃了下极板结构，从而摆脱了下极板对Z轴加速度计的限制，使质量块的运动模式不再是跷跷板式的运动，而是在Z轴方向上、下平动，减小了Z轴加速度计的寄生电容，提高了检测的精度；避免可动质量块与衬底的接触，提高了芯片的可靠性；由于质量块和固定电极在同一层上，首先可以达到比传统Z轴结构更好的一致性，而且可以将锚点设计的更为集中，降低芯片对温度和应力变化的敏感度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种加速度计中的Z轴结构，包括衬底(4)，其特征在于，还包括：通过侧壁连接的弹性梁(5)支撑在衬底(4)上方，相对于衬底(4)在Z轴方向上来回平动的质量块(1)，其中所述质量块(1)的侧壁上设置有第一可动电极极片(10)、第二可动电极极片(11)；设置在衬底(4)上的第一固定电极极片(20)、第二固定电极极片(30)，所述第一固定电极极片(20)、第二固定电极极片(30)朝由X轴、Y轴组成的平面方向延伸；所述第一可动电极极片(10)与第一固定电极极片(20)的侧壁相对，构成第一Z轴检测电容；所述第二可动电极极片(11)与第二固定电极极片(30)的侧壁相对，构成第二Z轴检测电容；其中，初始状态下，第一固定电极极片(20)其中一端的端面低于第一可动电极极片(10)相同端的端面；而第二固定电极极片(30)中与第一固定电极极片(20)相同端的端面高于第二可动电极极片(11)中与第一固定电极极片(20)相同端的端面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郑国光，
申请(专利权)人：歌尔声学股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37