温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种高灵敏度三轴MEMS加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体为两层结构，每层包括外框架、内框架以及质量块；所述外框架与所述内框架之间通过第一弹性梁相连接；所述质量块与所述内框架通过第二弹性梁相连接...
该专利属于中国科学院地质与地球物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院地质与地球物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。