多晶硅铸锭的制作工艺制造技术

本发明专利技术涉及一种多晶硅铸锭的制作工艺，特征是，包括以下工艺步骤：（1）原料：原生多晶硅、多晶边皮、多晶尾料和碎硅片；原料清洗后装入坩埚内，送入铸锭炉；（2）对铸锭炉进行抽真空，当炉腔的真空度为0.006mbar时开始检漏，5分钟内压力回升小于0.015mbar时即为合格；（3）检漏后进行4步加热过程；（4）进行12步熔化过程；（5）进行8步长晶过程；（6）进行5步冷却过程；（7）冷却后，炉内温度低于400℃时，向炉内充氩气达到980mbar时打开铸锭炉，将带有铸锭的坩埚取出，进行自然冷却，待冷却到室温后把坩埚拆掉，即得多晶硅铸锭。本发明专利技术所述的多晶硅铸锭的制作工艺能够降低杂质浓度，改善硅锭的质量和生产效率，提高硅片的太阳能电池转换效率。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及一种多晶硅铸锭的制作工艺，特征是，包括以下工艺步骤：（1）原料：原生多晶硅、多晶边皮、多晶尾料和碎硅片；原料清洗后装入坩埚内，送入铸锭炉；（2）对铸锭炉进行抽真空，当炉腔的真空度为0.006mbar时开始检漏，5分钟内压力回升小于0.015mbar时即为合格；（3）检漏后进行4步加热过程；（4）进行12步熔化过程；（5）进行8步长晶过程；（6）进行5步冷却过程；（7）冷却后，炉内温度低于400℃时，向炉内充氩气达到980mbar时打开铸锭炉，将带有铸锭的坩埚取出，进行自然冷却，待冷却到室温后把坩埚拆掉，即得多晶硅铸锭。本专利技术所述的多晶硅铸锭的制作工艺能够降低杂质浓度，改善硅锭的质量和生产效率，提高硅片的太阳能电池转换效率。【专利说明】多晶硅铸锭的制作工艺
本专利技术涉及一种多晶硅铸锭的制作工艺，尤其是一种排除杂质的多晶硅铸锭的制 作工艺，属于光伏
。
技术介绍
^002]随着全球范围内绿色能源的推广和近年来半导体产业的飞速发展，铸锭多晶硅目 前已经成功取代了直拉单晶硅而成为最主要太阳能电池材料。铸锭多晶硅中高密度杂质是 影本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅铸锭的制作工艺，其特征是，包括以下工艺步骤：（1）原料：原生多晶硅、多晶边皮、多晶尾料和碎硅片；（2）原料清洗：将多晶边皮和多晶尾料用硝酸和氢氟酸混合溶液进行清洗，硝酸和氢氟酸的体积比为11.8～12.2:2，清洗时间为2～3分钟，最后用纯水进行冲洗；碎硅片用硝酸和氢氟酸混合溶液进行清洗，硝酸和氢氟酸的质量比为11.8～12.2:1，清洗时间为1～3分钟，最后在超声波条件下用纯水进行冲洗，超声波功率为2.8～3KW；所述硝酸的质量百分浓度为65～70%，氢氟酸的质量百分浓度为45～49%；（3）将原生多晶硅、多晶边皮、多晶尾料和碎硅片装入到坩埚内，将坩埚送入铸锭炉中；（4）对铸锭炉进...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杜正兴，李靖，张安国，
申请(专利权)人：无锡尚品太阳能电力科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32