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本发明涉及一种多晶硅铸锭的制作工艺，特征是，包括以下工艺步骤：（1）原料：原生多晶硅、多晶边皮、多晶尾料和碎硅片；原料清洗后装入坩埚内，送入铸锭炉；（2）对铸锭炉进行抽真空，当炉腔的真空度为0.006mbar时开始检漏，5分钟内压力回升小于...该专利属于无锡尚品太阳能电力科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡尚品太阳能电力科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种多晶硅铸锭的制作工艺，特征是，包括以下工艺步骤：（1）原料：原生多晶硅、多晶边皮、多晶尾料和碎硅片；原料清洗后装入坩埚内，送入铸锭炉；（2）对铸锭炉进行抽真空，当炉腔的真空度为0.006mbar时开始检漏，5分钟内压力回升小于...