微观检测机台制造技术

本实用新型专利技术提供了一种微观检测机台，通过镜头上设置光控片，控制台中记录有待检晶圆的规定检测区域并且控制镜头的移动，当所述控制台控制所述镜头移动到所述待检晶圆的规定检测区域时，所述光控片透光，所述规定检测区域在所述镜头中显示；当所述控制台控制所述镜头移动到所述待检晶圆的剩余区域时，所述光控片不透光，所述剩余区域在所述镜头中不显示，由此便可在镜头中清楚、明确的区分显示出规定检测区域，从而方便了目检人员进行检测。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供了一种微观检测机台，通过镜头上设置光控片，控制台中记录有待检晶圆的规定检测区域并且控制镜头的移动，当所述控制台控制所述镜头移动到所述待检晶圆的规定检测区域时，所述光控片透光，所述规定检测区域在所述镜头中显示；当所述控制台控制所述镜头移动到所述待检晶圆的剩余区域时，所述光控片不透光，所述剩余区域在所述镜头中不显示，由此便可在镜头中清楚、明确的区分显示出规定检测区域，从而方便了目检人员进行检测。【专利说明】微观检测机台
本技术涉及集成电路制造
，特别涉及一种微观检测机台。
技术介绍
在半导体制造制程完成后，需要进行出货质量检查（0QA)。通过0QA来检测晶圆上 是否存在缺陷（defect)以及缺陷的性质等。缺陷指的是晶圆上存在的有形污染与工艺缺 陷。比如晶圆上的诸如微尘、工艺残留物等的物理性异物造成的缺陷，化学性污染造成的缺 陷，图案缺陷（比如机械性刮伤、厚度不均匀造成的颜色异常）以及晶圆本身或制造过程中 引起的晶格缺陷等。 对于每一类产品而言，通常都有规定的检测区域（包括规定的检测数量以及规定 的检测位置）。目前，均是由目检人员根据规定的目检数量和位置人工找寻目检区域。由于 产品种类繁多，人为操作等因素造成实际检测区域与规定检测区域发生偏移、检测区域大 小不符等误差。 具体的，请参考图1和图2,其中，图1示出了实际检测区域与规定检测区域发生偏 移的误差示意图；图2示出了实际检测区域与规定检测区域大小不符的误差示意图。如图 1所示，晶圆1上示出了多个规定检测区域10,通过目检人员的操作后将产生多个实际检测 区域11，在此，规定检测区域10与实际检测区域11发生了一定程度的偏移。再如图2所 示，晶圆2上示出了多个规定检测区域20,通过目检人员的操作后将产生多个实际检测区 域21，在此，规定检测区域20与实际检测区域21的大小存在一定的不符。 因此，如何提供一种微观检测机台，其能够清楚的显示晶圆的规定检测区域，从而 方便目检人员进行检测，成了本领域技术人员需要解决的一个问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种微观检测机台，以能够清楚的显示晶圆的规定检 测区域，从而方便目检人员进行检测。 为此，本技术提供一种微观检测机台，所述微观检测机台包括： 基座； 设置于所述基座上的载物台，所述载物台承载待检晶圆； 设置于所述基座上的镜头； 设置于所述镜头上的光控片；以及 设置于所述基座上的控制台，所述控制台中记录有所述待检晶圆的规定检测区 域，所述控制台控制所述镜头的移动； 当所述控制台控制所述镜头移动到所述待检晶圆的规定检测区域时，所述光控片 透光，所述规定检测区域在所述镜头中显示；当所述控制台控制所述镜头移动到所述待检 晶圆的剩余区域时，所述光控片不透光，所述剩余区域在所述镜头中不显示。 可选的，在所述的微观检测机台中，所述镜头包括目镜和物镜，所述光控片设置于 所述目镜或物镜上。 可选的，在所述的微观检测机台中，当所述光控片设置于所述物镜上时，所述光控 片的形状为直径范围为1. 5cm?4cm的圆形。 可选的，在所述的微观检测机台中，当所述光控片设置于所述目镜上时，所述光控 片的形状为直径范围为1mm?lcm的圆形。 可选的，在所述的微观检测机台中，所述光控片为电控液晶玻璃，当所述电控液晶 玻璃通电时，所述电控液晶玻璃透光；当所述电控液晶玻璃断电时，所述电控液晶玻璃不透 光。 可选的，在所述的微观检测机台中，所述控制台控制所述电控液晶玻璃的通电与 断电。 可选的，在所述的微观检测机台中，当所述控制台控制所述镜头移动到所述待检 晶圆的规定检测区域时，所述控制台控制所述电控液晶玻璃通电；当所述控制台控制所述 镜头移动到所述待检晶圆的剩余区域时，所述控制台控制所述电控液晶玻璃断电。 可选的，在所述的微观检测机台中，所述镜头的移动包括第一方向的移动和与第 一方向垂直的第二方向的移动。 可选的，在所述的微观检测机台中，所述控制台中记录有多类晶圆的规定检测区 域。 在本技术提供的微观检测机台中，通过镜头上设置光控片，控制台中记录有 待检晶圆的规定检测区域并且控制镜头的移动，当所述控制台控制所述镜头移动到所述待 检晶圆的规定检测区域时，所述光控片透光，所述规定检测区域在所述镜头中显示；当所述 控制台控制所述镜头移动到所述待检晶圆的剩余区域时，所述光控片不透光，所述剩余区 域在所述镜头中不显示，由此便可在镜头中清楚、明确的区分显示出规定检测区域，从而方 便了目检人员进行检测。 【专利附图】【附图说明】 图1是实际检测区域与规定检测区域发生偏移的误差示意图； 图2是实际检测区域与规定检测区域大小不符的误差示意图； 图3是本技术实施例的微观检测机台的结构示意图。 【具体实施方式】 以下结合附图和具体实施例对本技术提出的微观检测机台作进一步详细说 明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均 采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实 施例的目的。 请参考图3,其为本技术实施例的微观检测机台的结构示意图。如图3所示， 所述微观检测机台3包括：基座30、设置于所述基座30上的载物台31、设置于所述基座30 上的镜头32、设置于所述镜头32上的光控片33以及设置于所述基座30上的控制台34,所 述载物台31承载待检晶圆4,所述控制台34控制所述镜头32的移动，所述控制台34中记 录有所述待检晶圆4的规定检测区域。 具体的，当所述控制台34控制所述镜头32移动到所述待检晶圆4的规定检测区 域（图3中未示出）时，所述光控片33透光，所述规定检测区域在所述镜头32中显示；当 所述控制台34控制所述镜头32移动到所述待检晶圆4的剩余区域（即所述待检晶圆4上 除了规定检测区域之外的所有区域）时，所述光控片33不透光，所述剩余区域在所述镜头 32中不显示。 在此，通过规定检测区域在镜头32中显示，而剩余区域在镜头32中不显示，由此 可以在镜头中清楚、明确的区分显示出规定检测区域，从而方便了目检人员进行检测。也就 是说，仅将规定检测区域显示在镜头32中，由此目检人员在对待检晶圆4执行出货检查时， 便不会发生要甄别是检测区域还是不是检测区域的问题，从而也就避免了实际检测区域与 规定检测区域发生误差的问题。 在本申请实施例中，所述镜头32包括目镜和物镜（图3中未示出），所述光控片 33既可以设置于所述目镜上，也可以设置于所述物镜上。通常的，当所述光控片33设置于 所述物镜上时，所述光控片33的形状为直径为1. 5cm?4cm的圆形。当所述光控片33设 置于所述目镜上时，所述光控片33的形状为直径为1mm?lcm的圆形。在此，考虑到物镜 和目镜通常为直径1. 5cm?4cm的圆形和直径1mm?lcm的圆形，因此所选用的光控片33 以上述形状为最佳，正好覆盖所述物镜和目镜。当然，在本申请的其他实施例中，所述光控 片33也可以为其他尺寸的圆形或者其他形状，例如正方形等本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微观检测机台，其特征在于，包括：基座；设置于所述基座上的载物台，所述载物台承载待检晶圆；设置于所述基座上的镜头；设置于所述镜头上的光控片；以及设置于所述基座上的控制台，所述控制台中记录有所述待检晶圆的规定检测区域，所述控制台控制所述镜头的移动；当所述控制台控制所述镜头移动到所述待检晶圆的规定检测区域时，所述光控片透光，所述规定检测区域在所述镜头中显示；当所述控制台控制所述镜头移动到所述待检晶圆的剩余区域时，所述光控片不透光，所述剩余区域在所述镜头中不显示。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：毕强，孙强，陈思安，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11