检测使用机械臂的机械操作中的位置偏移的装置和方法制造方法及图纸

本申请涉及检测使用机械臂的机械操作中的位置偏移的装置和方法。一种用于检测使用机械臂（114）的机械操作中的位置偏移的装置（100），所述机械臂用于在半导体基体（116）上进行操作，所述机械臂和所述半导体基体被配置为彼此之间进行相对运动，所述装置包括：输入端（102），所述输入端用于接收来自安装在所述机械臂上的传感器（124）的输入信号（128）；检测器（104，106）用于通过输入信号进行机械臂和半导体基体之间存在预定距离（302）的检测；其中所述装置被配置为通过所述检测来确定是否存在位置偏移。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本申请涉及。一种用于检测使用机械臂（114）的机械操作中的位置偏移的装置（100），所述机械臂用于在半导体基体（116）上进行操作，所述机械臂和所述半导体基体被配置为彼此之间进行相对运动，所述装置包括：输入端（102），所述输入端用于接收来自安装在所述机械臂上的传感器（124）的输入信号（128）；检测器（104，106）用于通过输入信号进行机械臂和半导体基体之间存在预定距离（302）的检测；其中所述装置被配置为通过所述检测来确定是否存在位置偏移。【专利说明】
本专利技术涉及用于检测使用机械臂的机械操作中的位置偏移的装置。本专利技术还涉及 检测使用机械臂的机械操作中的位置偏移的方法。本专利技术还涉及用于检测机械组件的位置 偏移的装置和方法，所述机械组件用于在目标物体上进行操作。本专利技术尤其但不限于从基 体阵列(例如基体盒或基体架）中取回半导体基体从而对该基体进行例如清洁操作。
技术介绍
已知很多用于在制造加工期间对目标物体进行位置监控的技术，这样做的唯一目 的是检测机械组件中的所谓"位置偏移"。当经过一端时间后位置偏移发生，发生从机械组 件的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于检测使用机械臂的机械操作中的位置偏移的装置，所述机械臂用于在半导体基体上进行操作，所述机械臂和所述半导体基体被配置为彼此之间进行相对运动，所述装置包括：输入端，所述输入端用于接收来自安装在所述机械臂上的传感器的输入信号；检测器，所述检测器通过所述输入信号进行所述机械臂和所述半导体基体之间存在预定距离的检测；其中，所述装置被配置为通过所述检测来确定是否存在位置偏移。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：许民撰，钟玮群，
申请(专利权)人：思捷昵私人有限公司，
类型：发明
国别省市：新加坡;SG