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本申请涉及检测使用机械臂的机械操作中的位置偏移的装置和方法。一种用于检测使用机械臂（114）的机械操作中的位置偏移的装置（100），所述机械臂用于在半导体基体（116）上进行操作，所述机械臂和所述半导体基体被配置为彼此之间进行相对运动，所述...
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