【技术实现步骤摘要】
基于阴极优化的阵列微细群电极制备方法及装置
本专利技术属于微细加工、特种加工
，尤其是一种微细群电极制备方法及装置。
技术介绍
随着航空航天、电子工业、精密仪器及现代医疗器械的发展，有阵列微小孔结构的零部件在许多领域有着重要的应用前景，如航空发动机空气导管阻尼套、光纤连接器、精密过滤器、化纤喷丝板、打印机喷嘴、印刷电路板等，这些孔的孔径尺寸通常为几十至几百微米、深几十微米至几毫米、数量几十至几千个不等。针对此类结构的加工是实现其在工业应用的关键。微细电火花加工技术和微细电解加工技术以其自身的加工特点，可进行微细阵列孔的加工。然而，微细阵列电极的制备是实现该两种方法的关键环节。微细阵列电极制备方法包括:LIGA技术、U V-LIGA技术、电火花线切割法、电火花反拷法、电化学腐蚀法等。LIGA技术由于需要使用昂贵的同步X射线发生器作为光源，所以成本非常高;U V-LIGA技术虽然成本较LIGA技术有所降低，但其工艺过程仍然复杂，且LIGA技术和UV-LIGA技术主要加工铜/镍及其合金材料，不能加工耐高温高硬度钨材料；电火花线切割技术只能加工方形结构；...
【技术保护点】
一种基于阴极优化的阵列群电极制备方法，其特征在于：所述制备方法包括以下步骤：(1)阵列电极毛坯制作：将金属材料切割成正多边形截面的阵列结构，其截面边长尺寸为a，电极长度L和间距d；(2)群电极夹具表面涂覆一层环氧树脂绝缘胶，所述阵列群电极毛坯裸露；(3)根据毛坯结构尺寸，设计阵列群电极电化学加工间隙电场物理模型，设定加工电压U、电解液电导率参数κ；侧面圆柱面阴极的圆柱面半径R，轴线距离阵列电极侧面距离D1，旋转角α；球面阴极的球面半径ΦR，阴极球心距离阵列毛坯中心电极距离D2，球面辐射角β，根据设定参数制备侧面圆柱面阴极和球面阴极；(4)所述群电极夹具的四周安装四块侧面圆柱...
【技术特征摘要】
1.一种基于阴极优化的阵列群电极制备方法，其特征在于:所述制备方法包括以下步骤: (1)阵列电极毛坯制作:将金属材料切割成正多边形截面的阵列结构，其截面边长尺寸为a，电极长度L和间距d; (2)群电极夹具表面涂覆一层环氧树脂绝缘胶，所述阵列群电极毛坯裸露； (3)根据毛坯结构尺寸，设计阵列群电极电化学加工间隙电场物理模型，设定加工电压U、电解液电导率参数K ;侧面圆柱面阴极的圆柱面半径R，轴线距离阵列电极侧面距离D1，旋转角α ;球面阴极的球面半径ΦΙ阴极球心距离阵列毛坯中心电极距离D2，球面辐射角β，根据设定参数制备侧面圆柱面阴极和球面阴极； (4)所述群电极夹具的四周安装四块侧面圆柱面阴极，在所述群电极夹具的上方布置球面阴极，所述阵列微细群电极毛坯的中心与所述球面阴极的中心位于同一铅垂线上；侧面圆柱面阴极和阵列电极毛坯一起浸没入电解液，基于模拟分析参数进行实验加工，通过调节加工电压实现工具电极轴向直径尺寸一致性控制，实现所需尺寸阵列微细群电极电化学制备。2.如权利要求1所述的一种基于阴极优化的阵列群电极制备方法，其特征在于:所述步骤(4)中，结合在线显微镜观察并测量工具电极直径变化，实现所需尺寸阵列微细群电极电化学制备。3.如权利要求1或2所述的一种基于阴极优化的阵列群电极制备方法，其特征在于:所述步骤(3)中，圆柱面工具阴极内表面、球面阴极内表面涂覆一层绝缘胶。4.如...
【专利技术属性】
技术研发人员：王明环，何志伟，张力，姚春燕，章巧芳，彭伟，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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