一种高质量氧化铝陶瓷的刻蚀加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种氧化铝陶瓷的刻蚀加工装置，包括紫外激光器、扫描振镜，二维加工平台，以及容器；容器位于所述二维加工平台上，该容器用于盛水和待刻蚀加工的氧化铝陶瓷，所述水的表面到氧化铝陶瓷表面距离为2mm-12mm；所述扫描振镜位于所述紫外激光器的出光光路上，该扫描振镜用于将紫外激光器发射的激光束聚焦在所述氧化铝陶瓷表面。本实用新型专利技术巧妙的引入“水”的因素，在水下对氧化铝陶瓷进行激光刻蚀的冷却和排渣效应，有效的避免了空气中直接刻蚀出现的发黑变质现象，并且也增加了刻蚀深度，改善了刻蚀质量并提高了激光刻蚀加工效率，利用本实用新型专利技术可以在氧化铝陶瓷表面激光刻蚀制作出各种高尺寸精度的三维复杂图案。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种高质量氧化铝陶瓷的刻蚀加工装置
本技术涉及激光加工领域，尤其涉及激光刻蚀加工氧化铝陶瓷领域，具体为一种高质量氧化铝陶瓷的刻蚀加工装置。
技术介绍
氧化铝陶瓷材料是目前应用最为广泛的陶瓷材料之一，在生物、微电子、化工等领域已成为不可或缺的材料。然而，由于氧化铝陶瓷存在着抗热震性差和断裂韧性低等缺点，使其在传统机械加工中遇到较大困难。传统的车削、铣削等加工方式无法适应现代科技对高精密复杂零件的加工要求。机械方法对氧化铝陶瓷的切割、打孔等都被限制在直线型、较大尺寸以及简单图形等的加工，这限制了氧化铝陶瓷在微纳制造领域的应用。目前除了机械刻蚀加工的方法外，还有电火花加工、超声波加工等方法。然而，陶瓷材料的电火花加工技术难度较大，易出现污染；超声波加工则存在着效率低下和工具磨损严重等问题。近年来激光在切削加工领域的应用解决了许多传统切削加工工艺无法解决的问题。紫外激光由于其波长短，光子能量大，易获得较小聚焦光斑，可以直接破坏被加工聚合物材料的化学键进行精密加工，实现“冷加工”的过程，近年来在微电子陶瓷、精密光学材料加工等领域的研究越来越受到人们的重视。但紫外激光在空气中直接刻蚀氧化本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氧化铝陶瓷的刻蚀加工装置，其特征在于，该装置包括紫外激光器、扫描振镜，二维加工平台，以及容器；所述容器位于所述二维加工平台上，该容器用于盛水和待刻蚀加工的氧化铝陶瓷，所述水的表面到氧化铝陶瓷表面距离为2mm‑12mm；所述扫描振镜位于所述紫外激光器的出光光路上，该扫描振镜用于将紫外激光器发射的激光束聚焦在所述氧化铝陶瓷表面。

【技术特征摘要】
1.一种氧化铝陶瓷的刻蚀加工装置，其特征在于，该装置包括紫外激光器、扫描振镜，二维加工平台，以及容器； 所述容器位于所述二维加工平台上，该容器用于盛水和待刻蚀加工的氧化铝陶瓷，所述水的表面到氧化铝陶瓷表面距离为2m...

【专利技术属性】
技术研发人员：段军，孔令辉，张菲，曾晓雁，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：新型
国别省市：湖北;42