一种用于刻蚀装置的闸门结构及其加工方法制造方法及图纸

本发明专利技术提出了一种用于刻蚀装置的闸门结构及其加工方法。闸门结构包括设有装配凹槽的固定体；以及可拆卸安装在装配凹槽上的细部零件，细部零件的与装配凹槽底面相接触面的对立面设有可容纳气缸杆端部的定位槽；固定体和细部零件构成调整式门体结。该加工方法包括，形成调整式门体的固定体以及外形相同并能装配细部零件的装配凹槽；加工细部零件的与装配凹槽底面相接触面的对立面，在对立面中部加工可容纳气缸杆端部的定位槽；将细部零件安装在固定体上。通过该闸门结构能始终保持闸门维持一定的高度，有效减少制程气体的泄漏。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及刻蚀
，尤其涉及一种干式刻蚀用的能防止闸门高度不足导致制程气体泄露的闸门结构及其加工方法。
技术介绍
液晶显示器是一种采用液晶为材料的显示器，随着电子产业数字技术的发展，薄膜晶体管液晶显示器得到了快速发展，在薄膜晶体管液晶显示器的制程中，刻蚀工艺是一个最重要的图形转移工艺步骤，尤其是多晶硅刻蚀，应用于需要去除硅的场合，如刻蚀多晶硅体管栅和硅槽电容等。刻蚀是指利用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要的材料的过程，刻蚀的基本工艺目的是在涂胶的硅片上正确的复制出掩膜图形，刻蚀是光刻工艺之后进行的，将需要的图形留的硅片上，刻蚀可以被称为最终的和最主要的图形转移工艺步骤。干式刻蚀通常是利用辉光放电方式，产生包含离子、电子等带电粒子以及具有高度化学活性的中性原子、分子及自由基的电浆，来进行图案转印的刻蚀技术，干式刻蚀具有很好的各向异性线宽控制，干式刻蚀是亚微米尺寸下刻蚀器件的最主要方法，广泛应用于半导体或LCD前段制程等微电子技术中。刻蚀装置主要包括真空工艺腔室、用于容纳蚀刻液的蚀刻槽、连接在蚀刻槽的侧部上的且带有输送泵的管路和用于与管路相连的用于收集废物的储藏罐等，真空工艺腔室是保证刻蚀顺利进行的重要组成部分，真空工艺腔室真空主要由隔离真空腔与大气的闸门控制，因此，闸门质量好坏直接影响真空工艺腔室的正常运行，但是，现有的闸门的整体式门体与气缸的气缸杆均为刚性材质，当闸门关闭时，气缸的气缸杆向上顶住闸门的整体式门体，运行过程中气缸杆的顶部多次碰撞门体，导致整体式门体的顶面出现凹陷或者气缸杆顶面磨耗会造成高度不足，出现闸门密闭不严导致真空泄露，影响刻蚀的正常运行。图1至图5显示了现有闸门的整体式门体、气缸杆以及固定座之间的布置及连接关系，气缸的气缸杆的端部伸入闸门的整体式门体上开设的固定容纳槽中，气缸处于初始状态，未发生动作，气缸杆未顶靠固定容纳槽底面。与固定容纳槽底面相垂直的侧面布置有用于安装固定座的螺纹孔接口。图2和图4为固定座封装整体式门体后气缸杆多次运动撞击整体式门体的状态图，气缸杆的端部上显现磨耗，整体式门体的固定容纳槽底面出现严重凹陷，导致高度严重不足。固定座起到整体式门体提升和回拉的作用。在气缸杆多次碰撞细部零件的定位槽后，定位槽的底面出现凹陷，或气缸杆的端部磨耗出现高度不足，影响密闭不严时。
技术实现思路
针对上述现有技术中的问题，本专利技术提供一种用于刻蚀装置的闸门结构，通过该结构能避免制程气体泄漏。本专利技术还提供一种用于刻蚀装置的闸门结构的加工方法，通过该加工方法能加工出可更换式或调整式结构，减少维修费用产生。本专利技术提出的一种用于刻蚀装置的闸门结构，包括设有装配凹槽的固定体；以及可拆卸安装在装配凹槽上的细部零件，细部零件的与装配凹槽底面相接触面的对立面设有可容纳气缸杆端部的定位槽；固定体和细部零件构成调整式门体结构。本专利技术重新加工更换细部零件，始终保持闸门的维持一定的高度，有效减少制程气体的泄漏，降低产品和机台当机的报废。该结构为可灵活拆卸更换的装配件，使用方便，省时省力可靠，降低运行成本。进一步地，定位槽采用正方形凹槽，正方形凹槽规则，便于裁切，加工强度低，有利于提高气缸杆的端部接触面积，降低撞击强度。进一步地，定位槽采用矩形凹槽，矩形凹槽规则，便于裁切，有利于增大细部零件的装配定位面积，装配更加稳定牢靠，拆装使用方便。进一步地，细部零件的外形为方形，方形体的侧面中部设有定位槽，定位槽两侧的细部零件上设有台阶。细部零件的外形为有规则的正方形或长方形，用料少，费用低，便于加工，加工强度低，也有利于细部零件和原有固定座的装配，拆装使用方便。进一步地，定位槽的开口宽度大于台阶的宽度。定位槽的宽度足以保证容纳气缸杆的圆柱形端部，保证门体关闭时，气缸杆的端部充分顶靠在定位槽的底面上，接触均匀，用力强度一致，台阶的宽度减少细部零件的用料，整个重量降低，成本降低，也可以保证与固定座或封装座紧密配合安装。进一步地，定位槽的深度等于台阶的高度。容纳气缸杆初始状态未伸出气缸杆的端部时，也有利于定位槽和台阶的连续加工，提高切割的效率。本专利技术提出的一种用于刻蚀装置的闸门结构的加工方法，该方法的步骤包括：预处理：将原有的整体式门体与气缸杆端部接触处的周边区域裁切，形成调整式门体的固定体以及外形相同并能装配细部零件的装配凹槽；细部零件加工：按照装配凹槽的形状加工细部零件的外形，加工细部零件的与装配凹槽底面相接触面的对立面，在对立面中部加工可容纳气缸杆端部的定位槽，装配：将细部零件安装在固定体上。利用原有的闸门的整体式门体进行裁切周边区域实现调整式门体的加工，减少材料的用料，减少费用，加工方便可靠。装配凹槽的加工方便细部零件的更换安装，安装省时省力，定位槽的加工保证初始状态时气缸杆的端部被充分容纳。该加工方法有利于提高细部零件与门体的装配品质，提高细部零件的使用效率。本专利技术提出的另一种用于刻蚀装置的闸门结构的加工方法，该方法的步骤包括：固定体加工：选取方形棒材，将方形棒材加工成设计要求的长方体型材，在长方体型材的长侧面上按照设计要求加工外形相同并能装配细部零件的一定数量的装配凹槽；细部零件加工：按照装配凹槽的形状加工细部零件的外形，加工细部零件的与装配凹槽底面相接触面的对立面，在对立面中部加工可容纳气缸杆端部的定位槽；装配：将细部零件安装在固定体上。再新建设备和厂房时，根据以往实践经验和设计要求，直接加工固定体，加工的固定体直接加工出合适的装配凹槽，采购和加工一体进行，相比改造整体式门体提高了加工精度和效率。进一步地，将装配凹槽加工为矩形凹槽。矩形凹槽规则，便于裁切，有利于增大细部零件的装配定位面积，装配更加稳定牢靠，拆装使用方便。进一步地，将装配凹槽的高度加工成等于待加工的细部零件的高度。细部零件能充分放置于装配凹槽内的同时，细部零件的底面与门体的底面齐平，还能保证与现有的固定座可靠地连接，省去加工固定座，能节约材料降低费用，提高装置整体的紧凑性和美观性。进一步地，在定位槽两侧的细部零件上加工矩形台阶。矩形台阶加工快捷方便，矩形台阶的加工主要是为了转配定位原有的固定座。省去加工固定座，能节约材料降低费用。进一步地，细部零件由聚四氟乙烯或金属材质制成。聚四氟乙烯摩擦系数小，耐腐蚀性好和透气性差，强度等力学性能优异，能长期使用。刚性材质强度大，能长期使用。金属材质可选用300系列不锈钢。上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本专利技术的目的。附图说明在下文中将基于实施例并参考附图来对本专利技术进行更详细的描述。其中：图1显示了现有整体式门体与气缸杆相关位置关系示意图；图2显示了现有固定座与气缸杆内部结构示意图；图3显示了现有固定座安装在现有整体式门体的结构示意图；图4显示了现有整体式门体顶面被气缸杆多次撞击后出现凹陷示意图；图5显示了现有整体式门体的平面结构示意图；图6显示了本专利技术一种用于刻蚀装置的闸门结构的结构示意图；图7显示了本专利技术一种加工刻蚀装置的闸门结构过程示意图；图8显示了本专利技术另一种加工刻蚀装置的闸门结构的过程示意图其中，2-1为整体式门体，2-2为固定容纳槽，2-3为安装槽，1为气缸，1-1为气缸杆，5为固定座，5-1为螺纹孔接口。在附图中，相同的部件使用相本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于刻蚀装置的闸门结构，其特征在于：包括设有装配凹槽的固定体；以及可拆卸安装在装配凹槽上的细部零件，细部零件的与装配凹槽底面相接触面的对立面设有可容纳气缸杆端部的定位槽；固定体和细部零件构成调整式门体结构。

【技术特征摘要】
1.一种用于刻蚀装置的闸门结构，其特征在于：包括设有装配凹槽的固定体；以及可拆卸安装在装配凹槽上的细部零件，细部零件的与装配凹槽底面相接触面的对立面设有可容纳气缸杆端部的定位槽；固定体和细部零件构成调整式门体结构。2.根据权利要求1所述的一种用于刻蚀装置的闸门结构，其特征在于：定位槽为方形槽。3.根据权利要求2所述的一种用于刻蚀装置的闸门结构，其特征在于：定位槽为矩形槽。4.根据权利要求1至3中任意一项权利要求所述的一种用于刻蚀装置的闸门结构，其特征在于：细部零件的外形为方形，方形体的侧面中部设有定位槽，定位槽两侧的细部零件上设有台阶。5.根据权利要求4所述的一种用于刻蚀装置的闸门结构，其特征在于：定位槽的开口宽度大于台阶的宽度。6.根据权利要求5所述的一种用于刻蚀装置的闸门结构，其特征在于：定位槽的深度等于台阶的高度。7.一种用于刻蚀装置的闸门结构的加工方法，其特征在于：预处理：将原有整体式门体与气缸杆端部接触处的周边区域裁切，形成调整式门体的固定体以及外形相同并能装配细部零件的装配凹槽；细部零件加...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏彦荧，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42