闸门结构及沉积装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种闸门结构及沉积装置，所述闸门结构包括：主体门，主体门包括第一侧板和第二侧板，第二侧板上设有密封圈；壁体，包括第一侧壁，第一侧壁上具有一闸口；能够驱动主体门在第一位置和第二位置之间移动的驱动机构；当第一侧板和第二侧板处于吸合状态时，第二侧板的第一侧面与第一侧壁之间具有第一间隙；在第一侧壁上设有第一调整件，在第一侧板上设有第二调整件；其中第一调整件和第二调整件的位置相对应，当第一侧板和第二侧板处于吸合状态时，第一调整件和第二调整件之间具有第二间隙，且第二间隙小于第一间隙。本实用新型专利技术所提供的闸门结构可以避免主体门上的密封圈与壁体发生摩擦或撞击，从而减少了密封圈磨损风险。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供了一种闸门结构及沉积装置，所述闸门结构包括：主体门，主体门包括第一侧板和第二侧板，第二侧板上设有密封圈；壁体，包括第一侧壁，第一侧壁上具有一闸口；能够驱动主体门在第一位置和第二位置之间移动的驱动机构；当第一侧板和第二侧板处于吸合状态时，第二侧板的第一侧面与第一侧壁之间具有第一间隙；在第一侧壁上设有第一调整件，在第一侧板上设有第二调整件；其中第一调整件和第二调整件的位置相对应，当第一侧板和第二侧板处于吸合状态时，第一调整件和第二调整件之间具有第二间隙，且第二间隙小于第一间隙。本技术所提供的闸门结构可以避免主体门上的密封圈与壁体发生摩擦或撞击，从而减少了密封圈磨损风险。【专利说明】闸门结构及沉积装置
本技术涉及一种闸门结构及沉积装置。
技术介绍
等离子体增强化学气象沉积装置应用在TFT_LCD(Thin film ansistor-liquidcrystal display，薄膜晶体管液晶显示器)、薄膜太阳能行业中，用于在基板上镀膜。等离子体增强化学气象沉积装置通常由装载腔室(Load Lock)、传递腔室(Transfer Chamber)、工艺腔室(Process Chamber)三部分组成。其中，传递腔室通常对应2?6个工艺腔室。SlitValve(缝隙阀)为传递腔室与工艺腔室之间的闸门，基板在传递腔室与工艺腔室之间进出时，闸门打开;在进行镀膜工艺时，闸门关闭，目的为隔绝工艺腔室，维护工艺腔室稳定与防治反应气体泄露。图1所示为现有技术中的闸门的结构示意图。以下结合图1对现有技术中闸门的结构以及工作过程进行说明。如图1所示，目前等离子体增强化学气象沉积装置中，闸门设置在传递腔室与工艺腔室之间，闸门主要包括:壁体10、主体门、驱动结构20和支撑杆30等，其中主体门是由传递腔室侧板(TC侧板)31、工艺腔室侧板(PC侧板)32和内部鼓风装置(Bellow)33组成，其中，鼓风装置33能够使得TC侧板32和PC侧板31之间进行吸合或分离，壁体10包括与PC侧板31的外侧面相对的第一侧壁11，壁体10上形成一用于供基板传输经过的闸口 12，支撑杆30能够在驱动结构20的驱动下，带动闸门的主体门上下移动，而与闸口 12两侧的第一侧壁11配合来打开或关闭闸口 12。具体地，闸门的打开和关闭过程如下:图1所示为闸门处于打开状态时的结构示意图。如图1所示，在闸门打开状态时，PC侧板32与TC侧板31处于吸合状态，并位于闸口 12的一侧，当需要关闭闸门12时，驱动结构20驱动支撑杆30上移，带动PC侧板32和TC侧板31上移至能够使得PC侧板32的外侧面与闸口 12两侧的第一侧壁11均相对，然后鼓风装置33使得PC侧板32和TC侧板31分离，在PC侧板32上外侧设置有密封圈(0-^1^)34，？(:侧板32外侧的密封圈34则与第一侧壁11相接触，从而关闭闸口 12，而隔绝工艺腔室和传递腔室，维护工艺腔室温度，防止反应气体泄漏；当需要打开闸门12时，鼓风装置33使得PC侧板32和TC侧板31吸合，驱动结构20驱动支撑杆30下移，带动PC侧板32和TC侧板31下移至能够使得闸口 12打开的第一位置，打开闸口 12，使得基板能够从闸口 12在工艺腔室与传递腔室之间传输。此外，在TC侧板31上设置有保险杆(Bumper)35为导电作用，PC侧板32和TC侧板31吸合的目的为保证主体门在上下移动过程中密封圈34不被撞击或摩擦。现有技术中，闸门存在以下问题:由于支撑杆的晃动，当主体门从关闭状态至打开状态时，由于密封圈(Ο-ring)与第一侧壁之间的粘附力，PC侧板和TC侧板吸合后主体门会左右晃动，上下移动时，密封圈与第一侧壁之间会发生磨损，尤其高世代线，主体门的重量大，晃动更加剧烈;此外，闸门在长时间使用中，螺丝松动，导致PC侧板与第一侧壁之间的间隙(Gap)变差，密封圈与壁体磨损，例如，导轨固定螺丝松动、Gap Plate调整螺丝松动等；由于驱动结构如驱动气缸泄气等原因，导致主体门的运动不平稳，而导致密封圈与壁体磨损;此外，由于不正当的操作，PC侧板和TC侧板没有吸合时，主体门上下移动，密封圈撞击与磨损。由此可见，当闸门的主体门与第一侧壁之间的空隙(Gap)稍差，再加上移动过程中主体门的震动，密封圈很容易与壁体发生摩擦，严重导致撞断，导致泄露发生，引发生产品质与安全事故。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种闸门结构以及沉积装置，能够减少密封圈磨损风险。本技术所提供的技术方案如下:一种闸门结构，包括:主体门，所述主体门包括相对设置的能够吸合或分离的第一侧板和第二侧板，且所述第二侧板的远离所述第一侧板的第一侧面上设有密封圈；壁体，所述壁体包括一与所述第二侧板的第一侧面相对的第一侧壁，所述第一侧壁上具有一闸口 ；以及，与所述主体门连接，能够驱动所述主体门在第一位置和第二位置之间移动的驱动机构;在所述第一位置，所述第一侧板和所述第二侧板处于吸合状态，并位于所述闸口的一侧，以打开所述闸口；在所述第二位置，所述第一侧板和所述第二侧板处于分离状态，且所述第二侧板的第一侧面上的密封圈与所述第一侧壁的闸口两侧均接触，以关闭所述闸口 ；其中当所述第一侧板和所述第二侧板处于吸合状态时，所述第二侧板的第一侧面与所述第一侧壁之间具有第一间隙；在所述第一侧壁上设有第一调整件，在所述第一侧板上设有第二调整件;其中所述第一调整件和所述第二调整件的位置相对应，当所述第一侧板和所述第二侧板处于吸合状态时，所述第一调整件和所述第二调整件之间具有第二间隙，且所述第二间隙小于所述第一间隙。进一步的，所述第一调整件包括:凸设在所述第一侧壁上的调整板；所述第二调整件包括:设置在所述第一侧板上的滚动部件。进一步的，所述第一调整件包括:设置在所述第一侧板上的滚动部件；所述第二调整件包括:凸设在所述第一侧壁上的调整板。进一步的，所述滚动部件包括滚轮或滚珠。进一步的，所述调整板为采用耐磨材料形成的耐磨板。进一步的，所述调整板为沿所述主体门的移动方向延伸的条状板。进一步的，所述第一调整件设置在所述第一侧壁上，并位于所述第二侧板的至少一侧;所述第一侧板在与所述第一调整件相对应的位置具有超出所述第二侧板之外的超出部分，所述第二调整件设置在所述超出部分上。进一步的，所述第一调整件设置在所述第一侧壁上，并位于所述第二侧板的至少一侧;所述第一侧板在所述第一调整件所在的一侧具有一安装结构，所述第二调整件安装在所述安装结构上。进一步的，所述主体门还包括设置在所述第一侧板和所述第二侧板之间，能够使得所述第一侧板和所述第二侧板吸合或分离的鼓风装置。—种沉积装置，包括如上所述的闸门结构。本技术的有益效果如下:本技术所提供的闸门结构，在壁体上设置第一调整件，通过在主体门上设置第二调整件，且在所述主体门处于吸合状态时，使得第一调整件和第二调整件之间的间隙小于主体门上的密封圈与壁体之间的间隙，当闸门主体倾斜或者震动等情况下上下移动时，第一调节件会与第二调节件接触，而避免主体门上的密封圈与壁体发生摩擦或撞击，从而减少了密封圈磨损风险；在本技术所提供的闸门结构的进一步优选方案中，第一调节件和第二调节件为滚动摩擦，可以保证运动平稳，且减本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种闸门结构，包括：主体门，所述主体门包括相对设置的能够吸合或分离的第一侧板和第二侧板，且所述第二侧板的远离所述第一侧板的第一侧面上设有密封圈；壁体，所述壁体包括一与所述第二侧板的第一侧面相对的第一侧壁，所述第一侧壁上具有一闸口；以及，与所述主体门连接，能够驱动所述主体门在第一位置和第二位置之间移动的驱动机构；在所述第一位置，所述第一侧板和所述第二侧板处于吸合状态，并位于所述闸口的一侧，以打开所述闸口；在所述第二位置，所述第一侧板和所述第二侧板处于分离状态，且所述第二侧板的第一侧面上的密封圈与所述第一侧壁的闸口两侧均接触，以关闭所述闸口；其中当所述第一侧板和所述第二侧板处于吸合状态时，所述第二侧板的第一侧面与所述第一侧壁之间具有第一间隙；其特征在于，在所述第一侧壁上设有第一调整件，在所述第一侧板上设有第二调整件；其中所述第一调整件和所述第二调整件的位置相对应，当所述第一侧板和所述第二侧板处于吸合状态时，所述第一调整件和所述第二调整件之间具有第二间隙，且所述第二间隙小于所述第一间隙。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨晓东，董杰，金哲山，周东淇，张兴洋，胡毓龙，张新星，高欢，龚勋，
申请(专利权)人：北京京东方显示技术有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11