丝线导引器和用于形成丝线导引器的方法技术

本发明专利技术公开了丝线导引器和用于形成丝线导引器的方法。本发明专利技术描述用于形成丝线导引器(200)的方法。所述方法包括：相对于激光源布置圆柱状单元(210)，其中圆柱状单元(210)包括外圆周表面；且通过将由激光源产生的激光束导向到圆柱状单元(200)的外圆周表面以在圆柱状单元(210)内形成圆周凹槽(220)，而形成待用于丝锯装置(100)的丝线导引器(200)。另外，本发明专利技术描述丝线导引器和用于在丝线导引器中形成凹槽的系统。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施方式涉及用于丝锯装置的丝线导引器、用于形成丝线导引器的方法和丝线导引器形成系统。本专利技术的实施方式尤其涉及具有凹槽的丝线导引器、用于在丝线导引器中形成凹槽的方法和用于在丝线导引器中形成凹槽的系统。
技术介绍
丝锯用于从诸如硅的一片硬质材料上切割大块或块、薄片(例如，半导体晶圆)。在这样的装置中，丝线是由绕线管馈送且通过丝线导引筒引导，丝线导引筒在本文也称为丝线导引器。用于将材料切片的丝线缠绕在丝线导引器周围，所述丝线导引器被开槽以在切割工艺期间引导丝线。凹槽的轮廓通常为V形，且取决于所使用的丝线类型具有开度角、深度和从一个凹槽到下一个凹槽的节距。例如，凹槽的上述参数取决于丝线特性，诸如外部丝线直径、丝线材料，或丝线材料是否为平直的、结构化的或金刚石涂布的。凹槽的节距也取决于在切割工艺结束时获得的切片的期望厚度。现今，使用成形工具在例如车床上将丝线导引器开槽，所述成形工具通常含有金刚石。凹槽通常通过若干切割步骤一个接一个地产生。开槽工艺和工具的形状必须被精细调整以考虑到丝线导引器材料的蠕变，凹槽是在丝线导引器材料中形成且丝线导引器材料经常为在丝线导引器的主体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种方法(1000;1100)，包括：相对于激光源(840;940)布置圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)，其中所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)包括外圆周表面(415;515;615;715)，通过将由所述激光源(840;940)产生的激光束(850;950;955)导向到所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的所述外圆周表面(415;515;615;715)以在所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)中形成圆周凹槽(220;420;520;620;720...

【技术特征摘要】
2013.02.13 EP 13155112.91.一种方法（1000; 1100)，包括：相对于激光源(840; 940)布置圆柱状单元(210; 410; 510; 610; 710; 810; 910)，其中所 述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)包括外圆周表面(415; 515; 615; 715), 通过将由所述激光源（840; 940)产生的激光束（850; 950; 955)导向到所述圆 柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的所述外圆周表面(415; 515; 615; 715) 以在所述圆柱状单元（210;410;510;610;710;810;910)中形成圆周凹槽 (220;420;520;620;720;820;920)，而形成待在丝锯装置（100)中使用的丝线导引器 (112;114;116;118;200)。2.如权利要求I所述的方法，其特征在于，所述方法进一步包括：通过激光烧蚀在所述 圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的所述外圆柱状表面(415; 515; 615; 715)内 形成约 1200 个凹槽到约 4000 个凹槽(220; 420; 520; 620; 720; 820; 920)。3.如权利要求I或2中的任一项所述的方法，其特征在于，所述圆柱状单 元（210; 410; 510; 610; 710; 810; 910)包括被聚合物涂覆的圆柱状主体，且其 中形成所述丝线导引器进一步包括：在所述聚合物涂层内形成所述圆周凹槽 (220;420;520;620;720;820;920)。4.如权利要求I或2中的任一项所述的方法，其特征在于，形成所述丝线导引器进 一步包括：在所述圆柱状单元（210;410;510;610;710;810;910)的所述外圆柱状表面 (415; 515; 615; 715)内形成凹槽(220; 420; 520; 620; 720; 820; 920);以及其中形成所述凹槽（220; 420; 520; 620; 720; 820; 920)包括形成具有以下各者的凹槽： 沿所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的横向的宽度（440)，其中所述 宽度（440)为约150微米到约230微米；和/或沿所述圆柱状单元（210; 410; 510; 610; 710; 810; 910)的径向的所述凹槽的深度 (430)，其中所述深度(430)为约150微米到约200微米；和/或从一个凹槽的中心到邻近凹槽的中心的节距（450)，其中所述节距为约150微米到约 200微米。5.如权利要求3所述的方法，其特征在于，形成所述丝线导引器进一步包括在所述圆 柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的所述外圆柱状表面(415; 515; 615; 715)内形 成凹槽(220; 420; 520; 620; 720; 820; 920);以及其中形成所述凹槽（220; 420; 520; 620; 720; 820; 920)包括形成具有以下各者的凹槽： 沿所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的横向的宽度（440)，其中所述 宽度（440)为约150微米到约230微米；和/或沿所述圆柱状单元（210; 410; 510; 610; 710; 810; 910)的径向的所述凹槽的深度 (430)，其中所述深度(430)为约150微米到约200微米；和/或从一个凹槽的中心到邻近凹槽的中心的节距（450)，其中所述节距为约150微米到约 200微米。6.如权利要求I或2中的任一项所述的方法，其特征在于，形成丝线导引器 (112; 114; 116; 118;200)包括：形成所述凹槽（220; 420; 520; 620; 720; 820; 920)且 沿所述圆柱状单元（210; 410; 510; 610; 710; 810; 910)的横向在所述圆柱状单元 (210; 410; 510; 610; 710; 810; 910)的所述宽度(290)上扫描所述激光束（850; 950; 955)。7.一种用于丝锯装置(100)的丝线导引器(112;114;116;118;200)，所述丝锯装置(100)包括用于所述丝线导引器中的凹槽的标称尺寸，所述丝线导引器包括: 圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)，包括外圆周表面(415; 515; 615; 715)；以及 多个凹槽(220; 420; 520; 620; 720; 820; 920)，通过激光烧蚀形成在所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的所述外圆周表面(415; 515; 615; 715)内，其中每个凹槽(220; 420; 520; 620; 720; 820; 920)通过至少一个实际尺寸(430; 440; 450; 460; 470)来定义； 其中每个所述凹槽(221)的所述实际尺寸(430;440;450;460;470)与所述标称尺寸(430; 440; 450; 460; 470)具有小于约5%的偏差。8.如权利要求7所述的丝线导引器，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：C·佐米尼，类维生，
申请(专利权)人：应用材料瑞士有限责任公司，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH