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本实用新型公开了一种氧化铝陶瓷的刻蚀加工装置，包括紫外激光器、扫描振镜，二维加工平台，以及容器；容器位于所述二维加工平台上，该容器用于盛水和待刻蚀加工的氧化铝陶瓷，所述水的表面到氧化铝陶瓷表面距离为2mm-12mm；所述扫描振镜位于所述紫外...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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