制造高清晰度加热器系统的方法技术方案
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】 相关申请的交叉引用本申请要求2011年8月30日和2012年4月19日提交的临时申请系列号61/528，939和61/635，310的优先权，这些专利的内容全文引入本文以供参考。本申请还涉及与本申请同时提交并共同转让的名称为“控制热阵列的系统和方法(System and Methodfor Controlling a Thermal Array) ”的共同待决申请以及名称为“热阵列系统(ThermalArray System) ”的申请,这些专利的内容全文引入本文以供参考。
本专利技术涉及加热器系统，特别是一种能够在操作期间将精确的温度曲线输送到加热目标，以便补偿热损失和/或其他变化的加热器系统，例如，在半导体处理中使用卡盘或承受器的这些应用。
技术介绍
本部分中的陈述仅提供与本专利技术相关的背景信息，可能不构成现有技术。在半导体处理的技术中，例如，在处理过程中，卡盘或承受器用于保持衬底(或晶片)并向衬底提供均匀的温度曲线。参照图1，示出了静电卡盘的支承组件10，该支承组件10包括具有嵌入式电极14的静电卡盘12，以及通过粘合层18连接到静电卡盘12的...
【技术保护点】
一种制造加热器的方法，包括：形成具有介电层、第一双面粘合介电层以及导电层的层压件；将电路图案创建到所述导电层中；将第二双面粘合介电层覆盖在所述电路图案上；将牺牲层覆盖在所述第二双面粘合介电层上；形成所述加热器，其包括所述介电层、所述第一双面粘合介电层、所述导电层和所述第二双面粘合介电层；和随后，移除所述牺牲层。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.08.30 US 61/528,939;2012.04.19 US 61/635,3101.一种制造加热器的方法，包括: 形成具有介电层、第一双面粘合介电层以及导电层的层压件； 将电路图案创建到所述导电层中； 将第二双面粘合介电层覆盖在所述电路图案上； 将牺牲层覆盖在所述第二双面粘合介电层上； 形成所述加热器，其包括所述介电层、所述第一双面粘合介电层、所述导电层和所述第二双面粘合介电层；和 随后，移除所述牺牲层。2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述牺牲层是铜材料。3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述导电层由镍合金材料形成。4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述双面粘合介电层由聚酰亚胺材料形成。5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述导电层和所述介电层中的每一个将厚度限定为约 0.02Smm-Q.050mm。6.根据权利要 求1所述的方法，其中，所述电路图案通过蚀刻工艺创建。7.—种制造加热器的方法，所述方法包括: 形成层压件，其具有第一双面粘合介电层、在所述双面粘合介电层的一侧上的第一牺牲层，以及在所述双面粘合介电层的相对侧上的导电层； 将电路图案创建到所述导电层中； 将第二双面粘合介电层覆盖在所述电路图案上； 将第二牺牲层覆盖在所述双面粘合介电层上； 形成所述加热器，其包括所述第一双面粘合介电层、所述导电层和所述第二双面粘合介电层；和 随后，移除至少一个所述牺牲层。8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述牺牲层是铜材料。9.根据权利要求7所述的方法，其中，所述双面粘合介电层由聚酰亚胺材料形成。10.根据权利要求7所述的方法，其中，所述导电层由镍合金材料形成。11.根据权利要求14所述的方法...
【专利技术属性】
技术研发人员：凯文·帕塔斯恩斯基，艾伦·诺曼·博尔特，珍妮特·利·史密斯，卡尔·托马斯·斯汪森，穆罕默德·诺斯拉蒂，凯文·罗伯特·史密斯，
申请(专利权)人：沃特洛电气制造公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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