一种漏液检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种漏液检测装置，通过探测接头上的两根接头导线分别与漏液探测环上的两根环线相连，当管路漏液时，液体经过设置于管路外侧的漏液探测环上的两根环线，此时两根环线之间导通形成电信号，经与之相连的接头导线传送至探测接头，实现漏液的监测，进而避免了现有监测漏液系统中应用承漏盘受管线分布的限制及承漏盘自身性能等因素的影响，致使在进行液体监漏时，有监测盲区及漏液响应不及时的问题。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
—种漏液检测装置
本技术涉及监漏
，尤其涉及一种漏液检测装置。
技术介绍
目前，现代化厂房(如半导体工厂)均安置有众多电子设备，例如扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉、管式PECVD(等离子体增强化学气相沉积)、快速烧结炉、自动分拣机、平板式PECVD等。厂房中电子设备在工作时对温度，湿度均有严格的要求，通常采用冷却循环系统进行厂房内温度的控制，这个冷却循环系统一般由大量的管路构成。因此，随之设置的是保证冷却循环系统正常运行的监测漏液系统。现有技术中的监测漏液系统，能够在管路漏液或者爆裂时，系统发出报警，以便厂房的工作人员能够发现漏液的位置，做出相应的解决措施，避免管路长时间泄漏，对整个冷却循环系统造成性能的下降，严重时对管路附近的电子设备造成损坏或者影响其正常运行。例如半导体工长的机台的冷却循环系统或者中央供应超纯化去离子水系统，一般在机台内部转接的接头处安装承漏盘的方式对系统管线的漏液情况进行监测。但是，由于机台的冷却循环系统或者中央供应超纯化去离子水系统中的管线较长，其管线分布在楼层地板上或者楼层高空支架上，不利于承漏盘的安装，且无法本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种漏液检测装置，其特征在于，包括：漏液探测环、及与所述漏液探测环相连的探测接头；其中，所述漏液探测环上平行设置有两根环线；所述探测接头上平行设置有两根接头导线，所述两根接头导线分别与所述两根环线相连。

【技术特征摘要】
1.一种漏液检测装置，其特征在于，包括:漏液探测环、及与所述漏液探测环相连的探测接头；其中， 所述漏液探测环上平行设置有两根环线； 所述探测接头上平行设置有两根接头导线，所述两根接头导线分别与所述两根环线相连。2.如权利要求1所述的漏液检测装置，其特征在于，所述接头导线具有导电性。3.如权利要求1所述的漏液检测装置，其特征在于，所述环线具有导电性。4.如权利要求3所述的漏液检测装置，其特征在于，所述两根环线分为正环线及负环线。5.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶文松，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11