一种漏液检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种漏液检测装置，通过探测接头上的两根接头导线分别与漏液探测环上的两根环线相连，当管路漏液时，液体经过设置于管路外侧的漏液探测环上的两根环线，此时两根环线之间导通形成电信号，经与之相连的接头导线传送至探测接头，实现漏液的监测，进而避免了现有监测漏液系统中应用承漏盘受管线分布的限制及承漏盘自身性能等因素的影响，致使在进行液体监漏时，有监测盲区及漏液响应不及时的问题。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
—种漏液检测装置
本技术涉及监漏
，尤其涉及一种漏液检测装置。
技术介绍
目前，现代化厂房(如半导体工厂)均安置有众多电子设备，例如扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉、管式PECVD(等离子体增强化学气相沉积)、快速烧结炉、自动分拣机、平板式PECVD等。厂房中电子设备在工作时对温度，湿度均有严格的要求，通常采用冷却循环系统进行厂房内温度的控制，这个冷却循环系统一般由大量的管路构成。因此，随之设置的是保证冷却循环系统正常运行的监测漏液系统。现有技术中的监测漏液系统，能够在管路漏液或者爆裂时，系统发出报警，以便厂房的工作人员能够发现漏液的位置，做出相应的解决措施，避免管路长时间泄漏，对整个冷却循环系统造成性能的下降，严重时对管路附近的电子设备造成损坏或者影响其正常运行。例如半导体工长的机台的冷却循环系统或者中央供应超纯化去离子水系统，一般在机台内部转接的接头处安装承漏盘的方式对系统管线的漏液情况进行监测。但是，由于机台的冷却循环系统或者中央供应超纯化去离子水系统中的管线较长，其管线分布在楼层地板上或者楼层高空支架上，不利于承漏盘的安装，且无法根据管线的变化而灵活变化，导致会有监测漏液的盲区。此外，监测系统所应用的承漏盘，只有当漏液积累到一定量时才会触发响应，延误了维修的最佳时间，若液体泄漏过多，可能会渗漏到其他楼层，严重的会影响其他楼层机台的正常工作。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种漏液检测装置，以解决现有监测漏液系统中应用承漏盘受管线分布的限制及承漏盘自身性能等因素的影响，致使在进行液体监漏时，有监测盲区及漏液响应不及时的问题。为了解决上述技术问题，本技术提供一种漏液检测装置及液体监漏系统，所述漏液检测装置，包括:漏液探测环、及与所述漏液探测环相连的探测接头；其中，所述漏液探测环上平行设置有两根环线；所述探测接头上平行设置有两根接头导线，所述两根接头导线分别与所述两根环线相连。可选的，在所述的漏液检测装置中，所述接头导线具有导电性。可选的，在所述的漏液检测装置中，所述环线具有导电性。可选的，在所述的漏液检测装置中，所述两根环线分为正环线及负环线。可选的，在所述的漏液检测装置中，所述漏液探测环上还设置有搭扣。可选的，在所述的漏液检测装置中，所述搭扣为防腐性材质的搭扣。可选的，在所述的漏液检测装置中，所述漏液探测环通过所述搭扣嵌套于待监测管路上。可选的，在所述的漏液检测装置中，所述漏液探测环为防腐性材质的漏液探测环。可选的，所述探测接头形状为长方体、正方体或者圆柱体。在本技术所提供的漏液检测装置中，通过探测接头上的两根接头导线分别与漏液探测环上的两根环线相连，当管路漏液时，液体经过设置于管路外侧的漏液探测环上的两根环线，此时两根环线之间导通形成电信号，经与之相连的接头导线传送至探测接头，实现漏液的监测，进而避免了现有监测漏液系统中应用承漏盘受管线分布的限制及承漏盘自身性能等因素的影响，致使在进行液体监漏时，有监测盲区及漏液响应不及时的问题。【附图说明】图1是本技术漏液检测装置的结构示意图。【具体实施方式】以下结合附图和具体实施例对本技术提出的漏液检测装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参考图1，其为本技术实施例的漏液检测装置的结构示意图。如图1所示，所述漏液检测装置包括:漏液探测环1、及与所述漏液探测环I相连的探测接头2 ;其中，所述漏液探测环I上平行设置有两根环线10 ;所述探测接头2上平行设置有两根接头导线20，所述两根接头导线20分别与所述两根环线10相连。具体的，两根环线10以嵌入的方式设置于所述漏液探测环I中，所述漏液探测环的厚度大于等于环线10的直径，当靠近设置了漏液探测环I的管路出现液体泄漏时，泄漏的液体与漏液探测环I接触，进而引发相应的响应。优选的，所述接头导线20及所述环线10均具有导电性，并且所述两根环线10分为正环线及负环线。具体的，当管路漏液时，相当于正环线与负环线之间导通，形成一个电信号，产生的电信号由接头导线20引出到探测接头2，从而启动与探测接头2相连的电信号感应设备、报警设备、监测终端做出相应的响应，以便工作人员及时的发现问题，并采取有效的措施加以解决。进一步，使得漏液检测装置能够实时的检测，缩短了漏液的时间，将漏液造成的损失降低到最小化。优选的，所述漏液探测环I上还设置有搭扣，所述搭扣为防腐性材质的搭扣。较佳的防腐材质可以为钛、钛合金材料、或者双相不锈钢。为避免当管路中液体为腐蚀性液体，泄漏时可能影响漏液检测装置的正常使用。进一步提高了漏液检测装置的性能。优选的，所述漏液探测环I通过所述搭扣嵌套于待监测管路上。通过搭扣结构可以将漏液检测装置从管路上拆卸或安装于管路需要监测的位置。进一步，使得漏液检测装置具有普遍应用性。优选的，所述漏液探测环I为防腐性材质的漏液探测环。较佳的防腐材质可以为钛、钛合金材料、或者双相不锈钢。为避免当管路中液体为腐蚀性液体，泄漏时可能影响漏液检测装置的正常使用。进一步提高了漏液检测装置的性能。优选的，可选的，所述探测接头形状为长方体、正方体或者圆柱体。综上，在本技术所提供的漏液检测装置中，通过探测接头上的两根接头导线分别与漏液探测环上的两根环线相连，当管路漏液时，液体经过设置于管路外侧的漏液探测环上的两根环线，此时两根环线之间导通形成电信号，经与之相连的接头导线传送至探测接头，实现漏液的监测，进而避免了现有监测漏液系统中应用承漏盘受管线分布的限制及承漏盘自身性能等因素的影响，致使在进行液体监漏时，有监测盲区及漏液响应不及时的问题。显然，本领域的技术人员可以对技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包括这些改动和变型在内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种漏液检测装置，其特征在于，包括：漏液探测环、及与所述漏液探测环相连的探测接头；其中，所述漏液探测环上平行设置有两根环线；所述探测接头上平行设置有两根接头导线，所述两根接头导线分别与所述两根环线相连。

【技术特征摘要】
1.一种漏液检测装置，其特征在于，包括:漏液探测环、及与所述漏液探测环相连的探测接头；其中， 所述漏液探测环上平行设置有两根环线； 所述探测接头上平行设置有两根接头导线，所述两根接头导线分别与所述两根环线相连。2.如权利要求1所述的漏液检测装置，其特征在于，所述接头导线具有导电性。3.如权利要求1所述的漏液检测装置，其特征在于，所述环线具有导电性。4.如权利要求3所述的漏液检测装置，其特征在于，所述两根环线分为正环线及负环线。5.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶文松，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11