【技术实现步骤摘要】
厚膜加热器
[0001 ] 本技术涉及一种在酸碱环境下工作的厚膜加热器，属于液体加热
。
技术介绍
半导体器件的化学腐蚀和清洗工艺中采用腐蚀性液体，清洗工艺需要将腐蚀性液体进行加热。用于加热腐蚀性液体的电加热器是将电热材料设置在不锈钢套管内，不锈钢套管与电热丝之间设有金属氧化镁，在不锈钢套管外壁涂上聚四氟乙烯，将不锈钢套管设置在箱体或筒体内，对加入的腐蚀性液体进行加热，虽然这种结构的电加热器具有耐腐蚀性和加热液量较大的优点。但对于一些半导体器件清洗中，需要先用温度相对较低的腐蚀性液体进行冲洗，然后再用温度相对较高的腐蚀性液体进行冲洗，该种结构的电加热器不适用。目前一种通过两道工序用不同温度的清洗液进行清洗，但存在着清洗成本高和清洗效率低的问题；另一种采用一道工序清洗，由于清洗液体温度不同，需要延长清洗过程中停顿的辅助时间，来降低腐蚀性液体的温度。由于腐蚀性液体在停止加热后，仅依靠环境温度进行降温，一方面无法实现对液温进行快速调节，另一方面也不能准确控制液温，不能提高清洗工作效率。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种方便、快速精确控制液体的温度，...
【技术保护点】
一种厚膜加热器，其特征在于：包括厚膜发热盘（10）、设置在厚膜发热盘（10）下部的发热盘压块（7）、设置在厚膜发热盘（10）上部的导热盘（11）以及加热池（13），所述的发热盘压块（7）与厚膜发热盘（10）相接的表面上设有气槽，发热盘压块（7）上的进气接口（7‑1）和出气接口（7‑3）与气槽的两侧相通；由氟塑料制得或具有氟塑料层的加热池（13）设有池盖（13‑5）和导流板（13‑3），加热池（13）上的导流板（13‑3）贴合在导热盘（11）上，导流板（13‑3）将加热池（13）的空腔分隔成环绕式的液体流道（13‑4），加热池（13）上设有与液体流道（13‑4）相通的进液接口...
【技术特征摘要】
1.一种厚膜加热器，其特征在于:包括厚膜发热盘(10)、设置在厚膜发热盘(10)下部的发热盘压块(7)、设置在厚膜发热盘(10)上部的导热盘(11)以及加热池(13)，所述的发热盘压块(7)与厚膜发热盘(10)相接的表面上设有气槽，发热盘压块(7)上的进气接口(7-1)和出气接口(7-3)与气槽的两侧相通；由氟塑料制得或具有氟塑料层的加热池(13)设有池盖(13-5)和导流板(13-3)，加热池(13)上的导流板(13-3)贴合在导热盘(11)上，导流板(13-3)将加热池(13)的空腔分隔成环绕式的液体流道(13-4)，加热池(13)上设有与液体流道(13-4)相通的进液接口( 13-6)和出液接口( 13-1 )，加热池(13)在出液接口(13-1)的一侧安装有用于检测出液温度的第一温度传感器(15)，且第一温度传感器(15)的检测端设置在液体流道(13-4 )内，导热盘(11)上安装有第二温度传感器(9 )。2.根据 权利要求1所述的厚膜加热器，其特征在于:所述加热池(13)上的导流板(13-3)沿加热池(13)中心外向旋转并形成螺旋状的液体流道(13-4);或加热池(13)上的导流板(13-3)为两个以上正反相接的U形板形成弯道状的液体流道(13-4)。3.根据权利要求1所述的厚膜加热器，其特征在于:所述发热盘压块(7)上的气槽沿发热盘压块(7)中心外向旋转并形成螺旋状气槽；或发热盘压块(7)上的气槽为正反相通的两个以上U形气槽。4.根据权利要求1所述的厚膜加热器，其特征在于:所述发热盘压块(7)上的气槽为相互不通的三个以上气槽，各气槽的两端分别与进气汇集槽和出气汇集槽相通，发热盘压块(7)上的进气接口(7-1)和出气接口(7-3)分别与进气汇集槽和出气汇集槽相通。5.根据权利要求1所述的厚膜加热器，其特征在于:所述发热盘压块(7)外周设有环形凹槽(7-4)或两个以上的凹槽，导热盘(11)外周设有凸环(11-1)或两个以上的凸块，导热盘(11)上的凸环(11-1)设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：邬治国，金辉，
申请(专利权)人：常州瑞择微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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