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本实用新型涉及一种厚膜加热器，包括厚膜发热盘、设置在厚膜发热盘下部的发热盘压块、设置在厚膜发热盘上部的导热盘以及加热池，所述的发热盘压块与厚膜发热盘相接的表面上设有气槽，发热盘压块上的进气接口和出气接口与气槽相通；由氟塑料制得或具有氟塑料层...
该专利属于常州瑞择微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州瑞择微电子科技有限公司授权不得商用。

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