应用于激光退火机器的边缘保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种应用于激光退火机器的边缘保护装置，安装在激光退火机器的工件台上方，主要包括一个边缘保护环和两根能够自由升降的连杆，所述边缘保护环两端分别和两根连杆的顶部连接，两根连杆的底部分别通过工件台两端的孔与工件台连接。本实用新型专利技术通过在激光退火机器的工件台上增加一个边缘保护环，遮挡硅片和工件台边缘表面，避免了激光高温照射对硅片和工件台边缘以及与硅片键合的玻璃或其他支撑器件的损伤，在taiko硅片工艺中，也可以消除由于边缘厚度差异引起应力变化而导致的裂片现象，从而不仅增加了有效晶片的数量，同时也大大方便了设备的维护，降低了维护成本。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
应用于激光退火机器的边缘保护装置
本技术涉及集成电路制造领域，特别是涉及硅片背面激光退火领域，更具体地说，是涉及应用于激光退火机器的边缘保护装置。
技术介绍
在一些IGBT (绝缘栅双极型晶体管)等工艺平台中，需要使用到薄硅片的背面退火和对准等工艺，由于在进行背面工艺时，正面工艺已经完成，因此只能使用背面局部加热退火的方法，以避免对正面器件的损伤。在背面激光退火时，为达到较好的退火效果和激活率，一般退火温度都会达到1200°C以上，最高甚至达到1700°C。在这样的高温下，就对相关环境和部件提出了要求，也对退火工艺的工艺设计有了限制，比如，激光退火的工件台的材质必须能承受高温。即使如此，在高温退火时，我们依然需要尽量避免使激光直接照射到工件台上。另外，在激光退火应用领域经常会用到薄片工艺，因此经常会在薄硅片正面粘合玻璃，而为了保证玻璃与硅片的接触完整，玻璃尺寸一般会略大于硅片尺寸，这种情况下，如果高温的激光打在硅片的边缘，有可能会使边缘的胶水和玻璃受到损伤，甚至可能影响到正面的器件性能。同时，反复高温激光照射也容易使工件台受损。为了保护硅片边缘以及其他部件，在激光退火时通常会本文档来自技高网...

【技术保护点】
应用于激光退火机器的边缘保护装置，其特征在于，该边缘保护装置安装在激光退火机器的工件台上方，主要包括一个边缘保护环和两根能够自由升降的连杆，所述边缘保护环两端分别和两根连杆的顶部连接，两根连杆的底部分别通过工件台两端的孔与工件台连接。

【技术特征摘要】
1.应用于激光退火机器的边缘保护装置，其特征在于，该边缘保护装置安装在激光退火机器的工件台上方，主要包括一个边缘保护环和两根能够自由升降的连杆，所述边缘保护环两端分别和两根连杆的顶部连接，两根连杆的底部分别通过工件台两端的孔与工件台连接。2.根据权利要求1所述的边缘保护装置，其特征在于，所述边缘保护环的形状为圆形或椭圆形。3.根据权利要求1或2所述的边缘保护装置，其特征在于，所述边缘保护环由...

【专利技术属性】
技术研发人员：童宇锋，胡荣星，
申请(专利权)人：上海华虹宏力半导体制造有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31