【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】相关申请的交叉引用本申请的主题涉及序列号61/526，137的美国临时专利申请的主题，其由Bertram等人于 2011 年 8 月 22 日提交，而其名称为 “DEPOSITION SYSTEMS HAVING ACCESS GATESAT DESIRABLE LOCATIONS, AND RELATED METHODS, ”；还涉及序列号 61/526，143 的美国临时专利申请的主题，其由Bertram等人于2011年8月22日提交，而其名称为“DEPOSITIONSYSTEMS INCLUDING A PRECUR SOR GAS FURNACE WITHIN A REACTION CHAMBER, AND RELATEDMETHODS, ”;还涉及序列号61/526，148的美国临时专利申请的主题，其由Bertram于2011年8 月 22 日提交，而其名称为“DIRECT LIQUID INJECTION FOR HALIDE VAPOR PHASE EPITAXYSYSTEMS AND METHODS, ”；通过此引用，本文以此包括上述每个申请的全部公...
【技术保护点】
一种淀积系统，其包括：反应室，其包括顶壁、底壁以及在所述顶壁和所述底壁之间延伸的至少一个侧壁；至少一个热辐射发射器，其被与所述底壁邻近地放置，所述发射器被配置为在电磁辐射谱的红外区域和可见区域中的至少一个区域内的电磁辐射的波长范围内发射热辐射穿过所述反应室的至少一个室壁并进入所述反应室内部，所述反应室的所述底壁包括对所述波长范围内的电磁辐射至少大体上透明的透明材料，所述底壁包括透明石英；至少一个测量装置，其包括位于所述反应室外面的传感器，所述传感器这样取向并配置，使其接收从所述反应室内部传递到所述反应室外部的在所述波长范围内的一个或多个波长的电磁辐射信号；以及至少一定体积的...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.12.27 FR 1162463;2011.12.15 US 13/327,3021.一种淀积系统，其包括: 反应室，其包括顶壁、底壁以及在所述顶壁和所述底壁之间延伸的至少一个侧壁； 至少一个热辐射发射器，其被与所述底壁邻近地放置，所述发射器被配置为在电磁辐射谱的红外区域和可见区域中的至少一个区域内的电磁辐射的波长范围内发射热辐射穿过所述反应室的至少一个室壁并进入所述反应室内部，所述反应室的所述底壁包括对所述波长范围内的电磁辐射至少大体上透明的透明材料，所述底壁包括透明石英； 至少一个测量装置，其包括位于所述反应室外面的传感器，所述传感器这样取向并配置，使其接收从所述反应室内部传递到所述反应室外部的在所述波长范围内的一个或多个波长的电磁福射信号；以及 至少一定体积的不透明材料，所述不透明材料对所述波长范围内的电磁辐射波长不透明，所述至少一定体积的不透明材料位于这样的位置，使其防止所述至少一个热辐射发射器所发射的热辐射中的至少一部分被所述至少一个测量装置的所述传感器探测到，所述顶壁的至少一部分包括所述至少一定体积的不透明材料，所述不透明材料包括不透明石英。2.如权利要求1所述的淀积系统，其中所述至少一定体积的不透明材料包括一个或多个室壁中的一个室壁的至少一部分。3.如权利要求1所述的淀积系统，其还包括位于所述反应室内部的体，所述体包括所述至少一定体积的不透明材料。4.如权利要求1所述的淀积系统，其中所述至少一个侧壁的至少一部分包括所述至少一定体积的不透明材料，而其中所述不透明材料包括不透明石英。5.如权利要求1所述的淀积系统，其中所述至少一个测量装置的所述传感器被与所述顶壁邻近地放置，而所述顶壁的至少一部分包括所述至少一定体积的不透明材料，而其中所述不透明材料包括不透明石英，而其中所述至少一个侧壁至少一部分包括所述至少一定体积的不透明材料，而其中所述不透明材料包括不透明石英。6.如权利要求1所述的淀积系统，其中所述至少一个热辐射发射器位于所述反应室外面而与所述底壁邻近，所述底壁的至少一部分包括所述透明材料，所述至少一个测量装置的所述传感器位于所述反应室外面而与所述顶壁邻近，而其中所述顶壁和所述至少一个侧壁中的至少一个包括所述至少一定体积的不透明材料。7.一种形成淀积系统的方法，其包括: 将至...
【专利技术属性】
技术研发人员：E·林多，R·贝尔特拉姆，C·卡尼扎尔，
申请(专利权)人：SOITEC公司，
类型：发明
国别省市：法国;FR
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。