【技术实现步骤摘要】
滚对平面光刻压印中紫外灯光源结构
本技术属于微纳米制造技术，尤其是一种滚对平面光刻压印中紫外灯光源结构。
技术介绍
目前，在光刻压印技术中，不断需要减小光刻图案中的特征尺寸，以便提高在给定衬底区域内特征的密度，由于对更高几何特征密度要求的不断增长已经促进了浸没光刻和极紫外光刻技术的发展。但是它们的价格都相当昂贵。光刻压印是能够廉价获得更小几何特征的一种重要途径，它通常涉及将压印模板上的几何图案转印到衬底上。该技术的优点是特征的分辨率不受辐射源的发射波长或投影系统的孔径大小限制，其分辨率主要受限于压印模板上的特征图案的密度。平面对平面式和滚对平面式光刻压印是实现微纳米几何图案转移的两种技术，而滚对平面技术能大大提高光刻压印的效率，它通常将紫外光线可固化的压印液体介质(例如紫外线可固化的光致抗蚀剂)平铺在滚压印衬底上，然后将带有特征图案表面的辊压印模具滚过带有可压印液体介质的衬底，使得模具的图案化表面与液体介质依次接触，再把辊压印模具表面上的结构特征留在衬底上，之后再经过紫外光的照射，被压印介质就会发生固化，最后可得到自支撑的图案层。对于紫外光源的要求是:当辊...
【技术保护点】
一种滚对平面光刻压印中紫外灯光源结构，其特征是，包括紫外灯光源和能够控制所述光源光照强度变化的控制电路，所述紫外灯光源包括抛物面型灯罩、紫外灯管和凸透镜柱，所述紫外灯管安装在所述灯罩的抛物线焦点上，凸透镜柱安装在抛物面的开口处，凸透镜柱的一个焦点在滚对平面式光刻压印的加工区域上，也就是凸透镜柱的焦点位于滚筒模具表面和衬底的切线上；所述紫外灯光源与滚筒模具的芯轴之间在辊压印模具绕芯轴旋转时，保持位置不变；所述控制电路包括固定安装于滚筒模具一侧端面芯轴上的感应线圈探头，且前述滚筒模具端面上均匀且磁极极性交替变化地安装有多个能与感应线圈探头对应的永磁体，感应线圈探头经放大电路和整...
【技术特征摘要】
1.一种滚对平面光刻压印中紫外灯光源结构，其特征是，包括紫外灯光源和能够控制所述光源光照强度变化的控制电路，所述紫外灯光源包括抛物面型灯罩、紫外灯管和凸透镜柱，所述紫外灯管安装在所述灯罩的抛物线焦点上，凸透镜柱安装在抛物面的开口处，凸透镜柱的一个焦点在滚对平面式光刻压印的加工区域上，也就是凸透镜柱的焦点位于滚筒模具表面和衬底的切线上；所述紫外灯光源与滚筒模具的芯轴之间在辊压印模具绕芯轴旋转时，保持位置不变； 所述控制电路包括固定安装于滚筒模具一侧端面芯轴上的感应线圈探头，且前述滚筒模具端面上均匀且磁极极性交替变化地安装有多个能与感应线圈探头对应的永磁体，感应线圈探头经放大电路和整流电路与紫外灯管相连形成一闭合回路。2.一种滚对平面光刻压印中紫外灯光源结构，其特征是，包括紫外灯光源和能够控制所述光源光照强度变化的控制电路，所述紫外灯光源包括抛物面型灯罩、紫外灯管和凸透镜柱，所述凸透镜柱的一个焦点与抛物线型灯罩共焦点，紫外光灯管安装于该共焦点上，凸透镜柱安装在...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁森，王东山，李雪，张术国，
申请(专利权)人：青岛理工大学，
类型：新型
国别省市：山东;37
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