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滚对平面光刻压印中紫外灯光源结构制造技术
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文档序号:10320866
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本实用新型公开了一种滚对平面光刻压印中紫外灯光源结构,包括紫外灯光源和能够控制光源光照强度变化的控制电路,紫外灯光源包括抛物面型灯罩、紫外灯管和凸透镜柱,紫外灯管安装在所述灯罩的抛物线焦点上,凸透镜柱安装在抛物面的开口处,凸透镜柱的一个焦点...
该专利属于青岛理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过青岛理工大学授权不得商用。
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