【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于形成LCD器件和半导体器件中微小图案的印刷辊,特别涉及一种粘附于印刷辊的橡皮布。
技术介绍
通常,通过沉积多层并且刻蚀涂布的层的重复步骤形成LCD器件和半导体器件。为了沉积各层,需要执行沉积工序如化学汽相沉积(CVD)方法和溅射方法。同样,要执行光刻工序以刻蚀涂布的层。如果由于多层的形成而使得沉积工序和刻蚀工序复杂,生产力会降低。从这个方面说,需要为器件的大批量生产提供简化的沉积工序和刻蚀工序。与通过用CVD方法和溅射方法涂布多层并且用光刻方法对涂布的层构图来形成期望图案的工序相比,通过印刷形成期望图案的工序更为简单方便。在通过印刷形成期望图案的工序中,在将预定材料从印版印刷到印刷辊上之后,通过在基板上滚动印刷辊,印刷在印刷辊上的材料被再印刷到基板表面上,从而在基板上形成期望图案。在这种情况下,在基板和印刷辊之间产生物理接触,由此印刷方法的应用具有局限。然而,简单的印刷方法有利于大批量生产,由此已经发展出各种改进。在根据本专利技术的印刷方法中,将对印刷辊,特别是粘附于印刷辊的橡皮布做详细解释。下面,将参考附图说明现有技术的印刷辊和橡皮布。图 ...
【技术保护点】
一种用于印刷辊的橡皮布,包括: 硅基树脂层;以及 固定膜,形成在所述硅基树脂层的一个表面上。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴泰英,
申请(专利权)人:LG菲利浦LCD株式会社,
类型:发明
国别省市:KR[韩国]
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