本发明专利技术公开了一种用于印刷辊的橡皮布,其对印刷辊具有较大粘附力,并且在固定所述橡皮布到所述印刷辊或在印刷工序中不会变形,适用于形成微小图案,所述橡皮布包括硅基树脂层以及形成在所述硅基树脂层一个表面上的固定膜。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于形成LCD器件和半导体器件中微小图案的印刷辊,特别涉及一种粘附于印刷辊的橡皮布。
技术介绍
通常,通过沉积多层并且刻蚀涂布的层的重复步骤形成LCD器件和半导体器件。为了沉积各层,需要执行沉积工序如化学汽相沉积(CVD)方法和溅射方法。同样,要执行光刻工序以刻蚀涂布的层。如果由于多层的形成而使得沉积工序和刻蚀工序复杂,生产力会降低。从这个方面说,需要为器件的大批量生产提供简化的沉积工序和刻蚀工序。与通过用CVD方法和溅射方法涂布多层并且用光刻方法对涂布的层构图来形成期望图案的工序相比,通过印刷形成期望图案的工序更为简单方便。在通过印刷形成期望图案的工序中,在将预定材料从印版印刷到印刷辊上之后,通过在基板上滚动印刷辊,印刷在印刷辊上的材料被再印刷到基板表面上,从而在基板上形成期望图案。在这种情况下,在基板和印刷辊之间产生物理接触,由此印刷方法的应用具有局限。然而,简单的印刷方法有利于大批量生产,由此已经发展出各种改进。在根据本专利技术的印刷方法中,将对印刷辊,特别是粘附于印刷辊的橡皮布做详细解释。下面,将参考附图说明现有技术的印刷辊和橡皮布。图1A示出了根据现有技术用于将橡皮布粘附到印刷辊的工序。图1B示出了根据现有技术其上完全粘附有橡皮布的印刷辊。如图1A和图1B所示,橡皮布30的一端固定在具有一端粘附于印刷辊10的固定结构20上。接着,在利用预定力上紧橡皮布30的状态下,将橡皮布30缠绕到印刷辊10上。在这之后,将橡皮布30的另一端固定到固定结构20上。此时,需要提供对印刷辊10具有较大粘附力的橡皮布30。橡皮布30能够承受应变力也很重要。此外,橡皮布具有预定的弹性从而在基板上印刷材料层。另外,橡皮布在印刷工序中不会变形也很重要。为满足上述条件,用硅基树脂形成橡皮布。在采用硅基树脂的情形下,其对印刷辊具有较大的粘附力,并且有利于基板上微小图案的形成。然而,硅基树脂可能由于橡皮布通过预定力在印刷辊上缠绕时或者在执行印刷工序时的应变力而变形。如果印刷辊上的硅基树脂变形,就不可能形成微小图案。
技术实现思路
因此,本专利技术涉及一种用于印刷辊的橡皮布,其基本上克服了由于现有技术的局限和缺点所导致的一个或多个问题。本专利技术的目的是提供一种用于印刷辊的橡皮布,其对印刷辊具有较大的粘附力,并且在将橡皮布固定到印刷辊上或在印刷工序中不会变形,适于形成微小图案。本专利技术的附加优点、目的和特征将在后面的描述中得以阐明,通过以下描述,将使其对本领域技术人员来说显而易见,或者可通过实践本专利技术来认识。本专利技术的这些目的和其它优点可通过说明书及其权利要求以及附图中具体指出的结构来实现和得到。为了实现这些目的和其它优点,并且根据本专利技术的目的,如同在此具体和广泛说明的,一种用于印刷辊的橡皮布包括硅基树脂层;以及在硅基树脂层一个表面上形成的固定膜。此时,固定膜粘附于印刷辊。而且,硅基树脂层包括多个突起,并且固定膜包括多个与所述多个突起相对应的孔,使得各突起与各孔相结合,用于连接硅基树脂层和固定膜。而且,硅基树脂层的各突起突出在固定膜的表面之上。此外,硅基树脂层的突起和固定膜粘附于印刷辊。各突起和孔形成为圆形、多边形和椭圆形中的至少一种形状。而且,多个突起和孔按照矩阵型结构形成。而且,固定膜由PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)型树脂形成。应该理解,上面的概括性描述和下面的详细描述都是示意性和解释性的,意欲对要求保护的本专利技术提供进一步的解释。附图说明本申请所包括的附图用于提供对本专利技术的进一步理解,并且包括在该申请中并且作为本申请的一部分,示出了本专利技术的实施方式并且连同说明书一起用于解释本专利技术的原理。在附图中图1A示出了根据现有技术用于将橡皮布粘附于印刷辊的工序示意图;图1B示出了根据现有技术其上完全粘附有橡皮布的印刷辊的示意图;图2A示出了根据本专利技术第一实施方式的橡皮布的截面图;图2B示出了根据本专利技术第一实施方式的完全粘附有图2A所示的橡皮布的印刷辊示意图;图3A示出了根据本专利技术第二实施方式的橡皮布的平面图;图3B示出了沿图3A中的的I-I’线提取的截面图;图3C示出了根据本专利技术第二施方式的完全粘附有图3A和图3B所示的橡皮布的印刷辊示意图;图4示出了根据本专利技术第三实施方式的橡皮布的截面图;以及图5示出了根据本专利技术第四实施方式的橡皮布的截面图。具体实施例方式现在将对本专利技术的优选实施方式做详细说明,其实施例在附图中说明。尽可能的,将在附图中使用相同的附图标记表示相同或相似的部分。在下文中,将参照附图描述根据本专利技术的印刷辊和橡皮布。<第一实施方式> 图2A示出了根据本专利技术第一实施方式的橡皮布的截面图。图2B示出了根据本专利技术第一实施方式完全粘附有图2A所示的橡皮布的印刷辊示意图。如图2A所示,根据本专利技术第一实施方式的橡皮布具有硅基树脂层300和固定膜400。此时,固定膜400粘附于印刷辊100,并且硅基树脂层300形成在固定膜400的整个表面上。固定膜400起硅基树脂层300的支撑物的作用。同样,固定膜400防止硅基树脂层300在印刷辊固定工序中或印刷工序中变形。优选的,固定膜400由PET型树脂形成。参照图2B,随着固定膜400与印刷辊100相接触,固定膜400缠绕在印刷辊上。在这种状态下,固定膜400通过固定结构200固定到印刷辊。如图2A所示,在根据本专利技术第一实施方式的橡皮布中,并非硅基树脂层300而是固定膜400粘附于印刷辊100,由此降低了对印刷辊100的粘附力。因此,尽管图2B中未示出,固定结构200需要附加固定装置。同样,如果提供附加固定装置,可能会对橡皮布施加额外的力。这样,可能会降低硅基树脂层300的弹性,因此可能会对微小图案的形成带来不良影响。为了克服根据本专利技术第一实施方式的橡皮布的问题,将参照本专利技术第二实施方式描述另一种橡皮布。<第二实施方式> 图3A示出了根据本专利技术第二实施方式的橡皮布的平面图。图3B示出了沿图3A中的I-I’线提取的截面图。图3C示出了根据本专利技术第二实施方式的完全粘附有图3A和图3B所示的橡皮布的印刷辊示意图。如图3A和图3B所示,根据本专利技术第二实施方式的橡皮布具有硅基树脂层300和固定膜400。此时,固定膜400形成在硅基树脂层300的一个表面上,该表面粘附于印刷辊。与本专利技术第一实施方式不同,在硅基树脂层300粘附于固定膜400的表面上以固定间隔形成多个突起。而且,与硅基树脂层300的多个突起相对应,在固定膜400中形成多个孔。各突起和孔可以形成为圆形、如四边形或五边形的多边形或椭圆形。同样,突起和孔可以形成为相同的形状,或可以形成为不同形状的组合。优选的,多个突起和孔排列为矩阵形式。突起和孔的大小和数量可以根据橡皮布的大小而改变。硅基树脂层300的突起与固定膜400的孔相结合,由此硅基树脂层300与固定膜400相连接。固定膜400优选的由PET型树脂形成。形成在硅基树脂层300中的突起表面暴露,以与印刷辊相接触。优选的,硅基树脂层300的突起以预定小的长度(图3B中的“x”)从固定膜400中突出,由此硅基树脂层300的突起与印刷辊相接触。如图3C所示,随着固定膜400和从固定膜400突出的硅基树脂层300的突起与印刷辊100相本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于印刷辊的橡皮布,包括: 硅基树脂层;以及 固定膜,形成在所述硅基树脂层的一个表面上。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴泰英,
申请(专利权)人:LG菲利浦LCD株式会社,
类型:发明
国别省市:KR[韩国]
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