一种检测多晶铸锭炉设备气密性的方法技术

本发明专利技术公开了一种检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，该方法具体为：在装入硅锭原材料、关闭所述多晶铸锭炉设备的炉腔进行硅锭生产前，对所述炉腔抽真空进行第一真空测试；在硅锭成型后，打开所述炉腔之前，对所述炉腔抽真空并进行第二真空测试，所述第一真空测试参考上一生产周期的第二真空测试结果，判断是否直接进行；本发明专利技术在硅锭程序运行生产过程中增加对炉腔真空测试步骤，不仅有利于及时了解本次生产周期内，设备的气密性，有利于及时排查影响气密性的因素，保障本次硅锭的生产质量。并且，在没有给多晶铸锭炉带来额外的生产用时的前提下，增加了设备器件气密性的检查，这样，能在下一周期进行第一真空测试之前，发现设备存在的问题，及时进行维修。

【技术实现步骤摘要】
一种检测多晶铸锭炉设备气密性的方法
本专利技术涉及多晶硅加工
，特别涉及一种检测多晶铸锭炉设备气密性的方法。
技术介绍
目前光伏行业发展迅速，多晶铸锭炉设备类型多种多样。无论铸锭工艺如何变化调整，其生产过程基本为：硅锭原材料装炉→闭合炉腔→主炉体真空测试→程序运行→打开炉腔→成品硅锭出炉→硅锭原材料装炉→闭合炉腔。主炉体真空测试为检测多晶铸锭炉设备器件气密性的关键步骤，受设备器件以及炉腔的闭合与打开的影响。因设备器件经过一个生产运行周期或者几个生产运行周期的运行，连接部位有可能会出现松动导致主炉体真空测试过程出现异常，不能达到程序运行的真空压力0.008mpar，如此则设备停止生产，进行检查维修，而检查、维修一般在标准大气压下进行，检查是连接部位出现问题还是炉腔为完全闭合，如果连接部位出现问题，还需进一步检查是哪一处连接部位出现问题。不仅检查需要浪费比较多的时间，而且排查克服设备的缺陷后，还要重新对设备抽真空。该方法不仅不利于查找影响设备气密性的因素，而且炉腔的打开再闭合均会影响主炉体真空测试时间，大大增加了真空测试的时间，影响多晶铸锭炉设备单位时间的产能。因此，如何提供一种用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，其特征在于，该方法具体为：在装入硅锭原材料、关闭所述多晶铸锭炉设备的炉腔进行硅锭生产前，对所述炉腔抽真空进行第一真空测试；在硅锭成型后，打开所述炉腔之前，对所述炉腔抽真空并进行第二真空测试；所述第一真空测试参考上一生产周期中所述第二真空测试的测试结果，判断是否直接进行。

【技术特征摘要】
1.一种检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，其特征在于，该方法具体为：在装入硅锭原材料、关闭所述多晶铸锭炉设备的炉腔之后，在进行硅锭生产前，对所述炉腔抽真空进行第一真空测试；在硅锭成型后，打开所述炉腔之前，对所述炉腔抽真空并进行第二真空测试；所述第一真空测试参考上一生产周期中所述第二真空测试的测试结果，判断是否直接进行；当上一生产周期中所述第二真空测试的测试结果为不满足真空测试标准时，对所述多晶铸锭炉设备先进行排查，消除影响气密性的因素后再进行本生产周期的第一真空测试；当本生产周期中所述第一真空测试不满足真空判断标准时，参考上一生产周期中的所述第二真空测试满足真空判断标准的测试结果，确定影响所述多晶铸锭炉设备气密性的因素的查找范围；在所述硅锭生产的冷却工艺阶段进行所述第二真空测试。2.如权利要求1所述的检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘超，魏景拓，方君杰，周秉林，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13