下载一种检测多晶铸锭炉设备气密性的方法的技术资料

文档序号:10316707

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本发明公开了一种检测多晶铸锭炉设备气密性的方法,该方法具体为:在装入硅锭原材料、关闭所述多晶铸锭炉设备的炉腔进行硅锭生产前,对所述炉腔抽真空进行第一真空测试;在硅锭成型后,打开所述炉腔之前,对所述炉腔抽真空并进行第二真空测试,所述第一真空测...
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