碳基涂层制造技术
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】碳基涂层本专利技术涉及碳基涂层，所述碳基涂层除了碳作为主要成分之外还具有至少一种第一元素，所述第一元素选自元素周期表第3族至第10族(新的IUPAC命名法)的过渡金属，尤其是选自包含钛、锆、铪、钒、铌、钽、铬、钼、钨的组或由钛、锆、铪、钒、铌、钽、铬、钼、钨组成的组，其中涂层中的碳主要以sp2-杂化形式存在；具有包含涂层的表面的物品；以及用于制备碳基涂层的方法，所述方法在基材上借助阴极溅射使用至少一种碳靶和至少一种第一元素组成的靶，所述涂层除了碳作为主要成分之外还包含至少一种第一元素，该第一元素选自元素周期表第3族至第10族的族(新的IUPAC命名法)，尤其是选自包含钛、锆、铪、钒、铌、钽、铬、钼、钨的组或由钛、锆、铪、钒、铌、钽、铬、钼、钨组成的组，其中涂层中的碳主要是以sp2-杂化形式存在。已经由EP1036208B1已知这种类型的方法。在此使用具有至少一种碳靶的磁控溅射离子镀系统，其中将施加在待涂布的基材上的离子束流密度调节为0.5mA/cm2以上，该离子束流密度足够高，由此施加其中碳-碳键主要以sp2-石墨形式存在的碳层。此外，使用至少一种由钛或铬组成的金属...
【技术保护点】
碳基涂层(2)，它除了碳作为主要成分之外还具有至少一种第一元素，所述第一元素选自元素周期表第3族至第10族(新的IUPAC命名法)的过渡金属，尤其是选自包含钛、锆、铪、钒、铌、钽、铬、钼、钨的组或由钛、锆、铪、钒、铌、钽、铬、钼、钨组成的组，其中涂层(2)中的碳主要以sp2‑杂化形式存在，其特征在于，涂层(2)包含至少一种其它元素，所述其它元素选自硅、锗、铝和元素周期表第3族至第10族(新的IUPAC命名法)的过渡金属，尤其是钛、锆、铪、钒、铌、钽、铬、钼、钨，前提是，所述至少一种其它元素与所述第一元素不同，其中涂层(2)中所述至少一种其它元素的总份额为介于0.1原子％和5...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.12.12 AT A1810/20111.碳基涂层(2)，它除了碳作为主要成分之外还具有至少一种第一元素，所述第一元素选自由钛、锆、铪、钒、铌、钽、铬、钼、钨组成的组，其中涂层(2)中的碳主要以sp2-杂化形式存在，其特征在于，涂层(2)包含至少一种其它元素，所述其它元素选自硅、锗、铝、钛、锆、铪、钒、铌、钽、铬、钼、钨，前提是，所述至少一种其它元素与所述第一元素不同，其中涂层(2)中所述至少一种其它元素的总份额为介于0.1原子％和5原子％之间，且所述至少一种第一元素的总份额为介于0.5原子％和10原子％之间；-其中，所述涂层(2)通过由不同组成的单层(6至9)组成的层体系形成，且其中，所述层体系由具有第一元素作为主要成分的单层、碳作为主要成分的单层、其它元素作为主要成分的单层和碳作为主要成分的单层(6至9)的序列来形成；或者-其中，所述涂层(2)通过由不同组成的单层(6至9)组成的层体系形成，且其中，所述层体系由碳作为主要成分的单层-碳作为主要成分的单层-由第一元素组成的层-由其它元素组成的层的序列来形成。2.根据权利要求1的涂层(2)，其特征在于，具有碳作为主要成分的单层(7和9)的层厚度大于具有第一元素的单层(6和8)的层厚度和具有其它元素的单层的层厚度。3.根据权利要求1的涂层(2)，其特征在于，所述涂层(2)具有直接靠近基材(3)或任选存在的中间层的第一边缘层(4)，所述第一边缘层(4)由梯度过渡层形成，其中碳的份额沿布置于其上的单层(6或7或8或9)的方向增加，且沿这个方向第一元素的份额减少。4.根据权利要求1或3的涂层(2)，其特征在于，所述至少一种其它元素在第一边缘层(4)中的份额沿布置于其上的单层(6或7或8或9)的方向增加。5.根据权利要求3的涂层(2)，其特征在于，碳的份额从0原子％增加至介于90原子％和100原子％之间的值。6.根据权利要求3的涂层(2)，其特征在于，所述至少一种第一元素的份额从100原子％减少至介于0原子％和6原子％之间的值。7.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：M·德拉克斯勒，S·菲尔德，K·普莱因福尔克，
申请(专利权)人：高科涂层有限公司，
类型：发明
国别省市：奥地利;AT
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