刮伤掩模修补装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种刮伤掩模修补装置及方法，该装置包括支架装置、缺陷检测装置以及修补模块，其中，支架装置安装在光刻机室内，所述缺陷检测装置和修补模块均安装在所述支架装置上，且所述修补模块包括多个不同尺寸的修补笔芯。所述刮伤掩模修补装置的支架装置直接安装在光刻机室内，能够在掩模刮伤时及时且快速的在光刻机内部进行修理，不影响光刻机的产能，使光刻机的功能更齐全、自动化程度更高，使掩模修补直接在光刻机内完成，充分利用了光刻机的内部空间，大幅度缩短了送修周期，且快速简便、成本低廉、不影响产能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光刻机制造领域，特别涉及一种可应用于光刻机内部的。
技术介绍
IXD (液晶显示屏)生产制造行业中，彩色滤光片的光刻制程需使用光刻机，由于接近式光刻机的价格远低于步进扫描光刻机，同时也能满足彩色滤光片的各项特性规格，所以业界彩色滤光片的光刻制程均采用近接式光刻设备。但实际生产过程中，由于接近式光刻机的掩模和载台上产品的间隙较小，一般在300um以下，掩模很容易被污染和刮伤，污染后可在厂内清洗，而掩模刮伤后则直接对产品造成影响，且掩模刮伤造成的产品异常经常是批量性的，良率损失较大。因此，在掩模刮伤后，通常是将损伤的掩模送至专门的掩模制作或修补厂家进行修补，修补周期较长，修补成本也很高。现在生产中，彩色滤光片的掩模多为铬膜版，其光密度(OD)规格一般要求不小于4,目前的掩模版刮伤后主要有三种修补方法:错射CVD (化学气相沉积)修补方法、错射液态合金涂布修补方法、注射印刷修补方法。另外，目前市场上在售或者相关文献提及的修补设备，都是孤立的专门的有修理平台的较大型的设备。例如，现有技术中存在的一种用于修补刮伤掩模的修理设备，该设备采用镭射和光阻注射结合的修理方法，由于该修理设备都是相互孤立的，价格比较昂贵，需要掩模的修理平台，且对于刮伤类的缺陷都使用比较复杂和昂贵的修补材料，成本较高。
技术实现思路
本专利技术提供一种可应用于光刻机内部的，以克服现有技术中掩模修补周期长、成本高的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种刮伤掩模修补装置，包括:支架装置、缺陷检测装置以及修补模块，其中，支架装置安装在光刻机室内，所述缺陷检测装置和修补模块均安装在所述支架装置上，且所述修补模块包括多个不同尺寸的修补笔芯。作为优选，所述支架装置包括悬吊杆、掩模支架以及二维移动导杆，所述悬吊杆设置在所述掩模支架的两侧，所述二维移动导杆与所述缺陷检测装置和修补模块相连。作为优选，所述悬吊杆通过一旋转杆与所述掩模支架相连。作为优选，所述掩模支架的四周设有多个掩模吸附夹。作为优选，所述修补模块包括笔芯夹持装置和修补液的存储和抽取装置，其中，所述笔芯夹持装置包括卡盘和可升降杆；所述修补液的存储和抽取装置包括:抽取泵、存储瓶和存储管，所述可升降杆分别与所述二维移动导杆和卡盘接触，所述卡盘上设有与所述不同尺寸笔芯对应的卡槽，所述存储管设置在所述修补笔芯的顶部并与所述存储瓶相连，所述存储瓶与所述抽取泵相连。作为优选，所述修补笔芯为记号笔芯。作为优选，采用速干墨水作为修补液。作为优选，所述存储管为塑料材质。作为优选，所述存储瓶与所述存储管之间通过导管连通。作为优选，所述笔芯夹持装置还包括设置在所述修补笔芯上，用于控制所述修补笔芯升降的升降导杆。作为优选，所述控制模块为PC机。本专利技术还提供一种刮伤掩模修补方法，包括:对刮伤掩模进行清洗；将清洗后的刮伤掩模送至支架装置；缺陷检测装置对所述刮伤掩模进行缺陷定位扫描和拍照；根据缺陷检测装置的检测结果选择掩模的修补区域和路径；修补模块根据已选择的修补区域和路径对刮伤掩模进行修补。作为优选，所述修补模块根据已选择的修补区域和路径对刮伤掩模进行修补的步骤包括:对修补区域上的缺陷进行尺寸测量，并选择对应尺寸的修补笔芯；抽取泵提供动力将修补液供应至对应的修补笔芯处；修补笔芯沿着已选择路径对刮伤掩模进行修补。作为优选，采用接触式修补方法对所述刮伤掩模进行修补。与现有技术相比，本专利技术具有以下优点:刮伤掩模修补装置的支架装置直接安装在光刻机室内，能够在掩模刮伤时及时且快速的在光刻机内部进行修理，不影响光刻机的产能，使光刻机的功能更齐全、自动化程度更高，使掩模修补直接在光刻机内完成，充分利用了光刻机的内部空间，大幅度缩短了送修周期，且快速简便、成本低廉、不影响产能。【附图说明】图1为本专利技术一【具体实施方式】中刮伤掩模修补装置(掩模支架垂直于水平面)的结构示意图；图2为本专利技术一【具体实施方式】中刮伤掩模修补装置(掩模支架平行于水平面)的结构示意图；图3为本专利技术一【具体实施方式】中刮伤掩模修补装置中修补模块(修补笔芯倾斜设置)的结构示意图；图4为本专利技术一【具体实施方式】中刮伤掩模修补装置中修补模块(修补笔芯竖直设置)的结构示意图；图5为本专利技术一【具体实施方式】中刮伤掩模修补方法的流程图。图中:1-支架装置、11-悬吊杆、12-掩模支架、13-二维移动导杆、14-旋转杆、15-掩模吸附夹、2-缺陷检测装置、3-修补模块、31-可升降杆、32-卡盘、33-修补笔芯、34-存储瓶、35-存储管、36-导管。【具体实施方式】为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的【具体实施方式】做详细的说明。需说明的是，本专利技术附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。请参照图f 4，本专利技术提供一种刮伤掩模修补装置，包括支架装置1、缺陷检测装置2、控制模块(未图示)以及修补模块3。其中，所述支架装置I安装在光刻机室内用于固定刮伤掩模，所述缺陷检测装置2和修补模块3均安装在所述支架装置I上。具体地，所述支架装置I可悬吊在光刻机的任何空闲的空间内，本实施例优选为悬吊在光刻机的载台原位区上方，当然也可以用于掩模清洗机等其它设备内部作为其附属结构。掩模刮伤时，缺陷检测装置2通过在所述支架装置I上移动对所述刮伤掩模进行定位扫描及拍照；控制模块根据所述缺陷检测装置2的检测结果选择所述刮伤掩模的修补区域及路径，并对所述修补区域的掩模缺陷尺寸进行测量；修补模块3包括多个不同尺寸的修补笔芯，并根据所述控制模块测量的结果选择对应尺寸的修补笔芯33，并根据所述路径在所述支架装置I上移动修补模块3至所述修补区域对所述掩模缺陷进行修补。无需将刮伤掩模送至修补厂家进行修理，缩短了掩模的修补周期并节省了修补成本。此外，本实施例的刮伤掩模修补装置能够在掩模刮伤时及时且快速的在光刻机内部进行修理，不影响光刻机的产能，并可以大大缩短送修周期。请继续参照图1~4，所述支架装置I包括悬吊杆11、掩模支架12以及二维移动导杆13，所述悬吊杆11设置在所述掩模支架12的两侧，所述二维移动导杆13与所述缺陷检测装置2和修补模块3相连。具体地，所述悬吊杆11用于悬挂和固定所述刮伤掩模修补装置，所述掩模支架12用于承载掩模，缺陷检测装置2和修补模块3在所述二维移动导杆13上移动，实现对掩模的检测和修补。较佳的，所述悬吊杆11通过一旋转杆14与所述掩模支架12相连。所述旋转杆14能够绕自身的中心轴进行90度旋转，使得所述掩模支架12能够在平行于水平面和 垂直于水平面两种状态下转换，便于实际运用，具体请对比图1和图2ο较佳的，所述掩模支架12周围还设有多个掩模吸附夹15,用于固定掩模,避免掩模在修补过程中发生移动或者脱落。请参照图:1`4，并结合图1`~2，本实施例中，所述修补模块3包括笔芯夹持装置和修补液的存储和抽取装置，其中，所述笔芯夹持装置包括卡盘32和可升降杆31 ;所述修补液的存储和抽取装置包括:抽取泵(图中未示出)、存储瓶34和存储管35。较佳的，所述可升降杆31分别与所述二维移动导杆13和卡盘32接触，所述卡盘32上设有与所述不同尺寸修补笔芯33对应的卡槽(未图示)，所述存储管35设置在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种刮伤掩模修补装置，其特征在于，包括：支架装置，安装在光刻机室内用于固定刮伤掩模；缺陷检测装置，安装在所述支架装置上，并通过在所述支架装置上移动对所述刮伤掩模进行定位扫描及拍照；控制模块，根据所述缺陷检测装置的检测结果选择所述刮伤掩模的修补区域及路径，并对所述修补区域的掩模缺陷尺寸进行测量；以及修补模块，安装在所述支架装置上，包括多个不同尺寸的修补笔芯，并根据所述控制模块测量的结果选择对应尺寸的修补笔芯，并根据所述路径在所述支架装置上移动所述修补模块至所述修补区域对所述掩模缺陷进行修补。

【技术特征摘要】
1.一种刮伤掩模修补装置，其特征在于，包括: 支架装置，安装在光刻机室内用于固定刮伤掩模； 缺陷检测装置，安装在所述支架装置上，并通过在所述支架装置上移动对所述刮伤掩模进行定位扫描及拍照； 控制模块，根据所述缺陷检测装置的检测结果选择所述刮伤掩模的修补区域及路径，并对所述修补区域的掩模缺陷尺寸进行测量；以及 修补模块，安装在所述支架装置上，包括多个不同尺寸的修补笔芯，并根据所述控制模块测量的结果选择对应尺寸的修补笔芯，并根据所述路径在所述支架装置上移动所述修补模块至所述修补区域对所述掩模缺陷进行修补。2.如权利要求1所述的刮伤掩模修补装置，其特征在于，所述支架装置包括悬吊杆、掩模支架以及二维移动导杆，所述悬吊杆设置在所述掩模支架的两侧，所述二维移动导杆与所述缺陷检测装置和修补模块相连。3.如权利要求2所述的刮伤掩模修补装置，其特征在于，所述悬吊杆通过一旋转杆与所述掩模支架相连。4.如权利要求2所述的刮伤掩模修补装置，其特征在于，所述掩模支架的四周设有多个掩模吸附夹。5.如权利要求2所述的刮伤掩模修补装置，其特征在于，所述修补模块还包括笔芯夹持装置和修补液的存储和抽取装置，其中，所述笔芯夹持装置包括卡盘和可升降杆；所述修补液的存储和抽取装置包括:抽取泵、存储瓶和存储管，所述可升降杆分别与所述二维移动导杆和卡盘接触，所述卡盘上设有与所述多个不同尺寸修补笔芯对应的卡槽，所述存储管设置在所述修补笔芯的顶部并与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李会丽，闻人青青，张俊，李志丹，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31