刮伤掩模修补装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种刮伤掩模修补装置及方法，该装置包括支架装置、缺陷检测装置以及修补模块，其中，支架装置安装在光刻机室内，所述缺陷检测装置和修补模块均安装在所述支架装置上，且所述修补模块包括多个不同尺寸的修补笔芯。所述刮伤掩模修补装置的支架装置直接安装在光刻机室内，能够在掩模刮伤时及时且快速的在光刻机内部进行修理，不影响光刻机的产能，使光刻机的功能更齐全、自动化程度更高，使掩模修补直接在光刻机内完成，充分利用了光刻机的内部空间，大幅度缩短了送修周期，且快速简便、成本低廉、不影响产能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光刻机制造领域，特别涉及一种可应用于光刻机内部的。
技术介绍
IXD (液晶显示屏)生产制造行业中，彩色滤光片的光刻制程需使用光刻机，由于接近式光刻机的价格远低于步进扫描光刻机，同时也能满足彩色滤光片的各项特性规格，所以业界彩色滤光片的光刻制程均采用近接式光刻设备。但实际生产过程中，由于接近式光刻机的掩模和载台上产品的间隙较小，一般在300um以下，掩模很容易被污染和刮伤，污染后可在厂内清洗，而掩模刮伤后则直接对产品造成影响，且掩模刮伤造成的产品异常经常是批量性的，良率损失较大。因此，在掩模刮伤后，通常是将损伤的掩模送至专门的掩模制作或修补厂家进行修补，修补周期较长，修补成本也很高。现在生产中，彩色滤光片的掩模多为铬膜版，其光密度(OD)规格一般要求不小于4,目前的掩模版刮伤后主要有三种修补方法:错射CVD (化学气相沉积)修补方法、错射液态合金涂布修补方法、注射印刷修补方法。另外，目前市场上在售或者相关文献提及的修补设备，都是孤立的专门的有修理平台的较大型的设备。例如，现有技术中存在的一种用于修补刮伤掩模的修理设备，该设备采用镭射和光阻注射结合的修理方法，由本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种刮伤掩模修补装置，其特征在于，包括：支架装置，安装在光刻机室内用于固定刮伤掩模；缺陷检测装置，安装在所述支架装置上，并通过在所述支架装置上移动对所述刮伤掩模进行定位扫描及拍照；控制模块，根据所述缺陷检测装置的检测结果选择所述刮伤掩模的修补区域及路径，并对所述修补区域的掩模缺陷尺寸进行测量；以及修补模块，安装在所述支架装置上，包括多个不同尺寸的修补笔芯，并根据所述控制模块测量的结果选择对应尺寸的修补笔芯，并根据所述路径在所述支架装置上移动所述修补模块至所述修补区域对所述掩模缺陷进行修补。

【技术特征摘要】
1.一种刮伤掩模修补装置，其特征在于，包括: 支架装置，安装在光刻机室内用于固定刮伤掩模； 缺陷检测装置，安装在所述支架装置上，并通过在所述支架装置上移动对所述刮伤掩模进行定位扫描及拍照； 控制模块，根据所述缺陷检测装置的检测结果选择所述刮伤掩模的修补区域及路径，并对所述修补区域的掩模缺陷尺寸进行测量；以及 修补模块，安装在所述支架装置上，包括多个不同尺寸的修补笔芯，并根据所述控制模块测量的结果选择对应尺寸的修补笔芯，并根据所述路径在所述支架装置上移动所述修补模块至所述修补区域对所述掩模缺陷进行修补。2.如权利要求1所述的刮伤掩模修补装置，其特征在于，所述支架装置包括悬吊杆、掩模支架以及二维移动导杆，所述悬吊杆设置在所述掩模支架的两侧，所述二维移动导杆与所述缺陷检测装置和修补模块相连。3.如权利要求2所述的刮伤掩模修补装置，其特征在于，所述悬吊杆通过一旋转杆与所述掩模支架相连。4.如权利要求2所述的刮伤掩模修补装置，其特征在于，所述掩模支架的四周设有多个掩模吸附夹。5.如权利要求2所述的刮伤掩模修补装置，其特征在于，所述修补模块还包括笔芯夹持装置和修补液的存储和抽取装置，其中，所述笔芯夹持装置包括卡盘和可升降杆；所述修补液的存储和抽取装置包括:抽取泵、存储瓶和存储管，所述可升降杆分别与所述二维移动导杆和卡盘接触，所述卡盘上设有与所述多个不同尺寸修补笔芯对应的卡槽，所述存储管设置在所述修补笔芯的顶部并与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李会丽，闻人青青，张俊，李志丹，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31