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本发明公开了一种刮伤掩模修补装置及方法，该装置包括支架装置、缺陷检测装置以及修补模块，其中，支架装置安装在光刻机室内，所述缺陷检测装置和修补模块均安装在所述支架装置上，且所述修补模块包括多个不同尺寸的修补笔芯。所述刮伤掩模修补装置的支架装置...
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