【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜加热装置
本技术涉及真空镀膜
，特别涉及一种真空镀膜加热装置。
技术介绍
真空镀膜加热模块是在真空箱体的门板内或箱体边沿内安装加热模块，温度通过热辐射的方式到基板上，使之达到相应温度从而满足产品的性能要求。现有真空镀膜装置采用上中下三层加热丝的设计，每层加热丝有单独热电偶测温，这样可以调节上中下层的温度来满足不同工艺的需要，虽然此技术能够达到产品质量的保证，但是无法避免在生产过程中加热丝出现异常的情况所造成的损失。
技术实现思路
本技术提出一种真空镀膜加热装置，通过提高加热丝的加热效率，从而提高产品的生产效率，降低了加热丝异常带来的产品品质问题，从而提高产品良率。本技术所采用的技术方案具体是这样实现的:本技术提供了一种真空镀膜加热装置，包括上层加热模块、中层加热模块和下层加热模块，所述上层加热模块包括第一加热丝，所述中层加热模块包括第二加热丝、第三加热丝和第四加热丝，所述下层加热模块包括第五加热丝，所述第一加热丝、所述第二加热丝、所述第三加热丝、所述第四加热丝和所述第五加热丝上均设置有热电偶。优选地，所述第二加热丝、所述第三加热丝和所述第四加热丝纵向排列。优选地，所述第二加热丝、所述第三加热丝和所述第四加热丝横向排列。本技术的真空镀膜加热装置，通过提高加热丝的加热效率，从而提高产品的生产效率，降低了加热丝异常带来的产品品质问题，从而提高产品良率；此外，可以使加热的温度保持得非常均匀，使得工艺更稳定；便于维护与保养，从而缩短维护时间，提高了产量；加热丝的寿命大大提高，从而节约成本。【附图说明】图1是本技术具体实施例的真空镀膜加热装置的结...
【技术保护点】
一种真空镀膜加热装置，包括上层加热模块、中层加热模块和下层加热模块，其特征在于，所述上层加热模块包括第一加热丝，所述中层加热模块包括第二加热丝、第三加热丝和第四加热丝，所述下层加热模块包括第五加热丝，所述第一加热丝、所述第二加热丝、所述第三加热丝、所述第四加热丝和所述第五加热丝上均设置有热电偶。
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜加热装置，包括上层加热模块、中层加热模块和下层加热模块，其特征在于，所述上层加热模块包括第一加热丝，所述中层加热模块包括第二加热丝、第三加热丝和第四加热丝，所述下层加热模块包括第五加热丝，所述第一加热丝、所述第二加热丝、所述第三加热丝、所述第四...
【专利技术属性】
技术研发人员：王进东，
申请(专利权)人：江苏宇天港玻新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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