【技术实现步骤摘要】
布线形成装置、维护方法以及布线形成方法
本专利技术涉及一种布线形成装置、维护方法以及布线形成方法。更详细地说,涉及一种可形成精细图案且能够用于对形成在液晶显示器等平板显示器的基板上的布线等进行修复的布线形成装置、该布线形成装置的维护方法以及布线形成方法。
技术介绍
近年来,随着液晶显示器、等离子显示器以及有机EL显示器等平板显示器的大型化和高清晰化,推进了形成在半导体基板等基板上的布线、电极等的图案的精细化。而且,随着图案的精细化,在布线等、等离子显示器的障肋等中产生的缺陷成为问题。作为这样的缺陷,例如在是布线的情况下,存在图案的一部分发生缺失、断线的开路缺陷等。因此,寻求能够抑制这种缺陷的产生来提高制造成品率的电极、布线等的形成技术的提高。同时寻求能够在产生了缺陷的情况下对其进行修复的修复技术。作为对开路缺陷等进行修复的修复技术,已知有如下一种方法(例如,参照专利文献1。):对基板上的布线发生断线的缺陷部分涂布附着于涂布针前端的导电性糊剂,在使涂布位置在电极的长度方向上移动的同时多次涂布来进行修复。另外,已知有在基板上进行布线图案的形成等的喷雾方式的开路修复装置等布线形成装置(例如,参照专利文献2。)。专利文献1:日本特开2000-299059号公报专利文献2:日本特开2007-152219号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是,在如专利文献1所记载的修复方法中,由于使涂布针多次往复于布线的缺陷部分与糊剂槽之间来一边对涂布针补充导电性糊剂一边进行涂布,因此导致缺陷部分越长则修复所花费的时间越长。另外,由于导电性糊剂被涂布成将圆形的涂布部配置成一列所形 ...
【技术保护点】
一种布线形成装置,具有:雾化装置,其使糊剂材料雾化;喷嘴,其喷射由上述雾化装置雾化后的上述糊剂材料;以及连通管,其将上述雾化装置与上述喷嘴连接,该布线形成装置通过涂布雾化后的上述糊剂材料来进行布线形成,该布线形成装置的特征在于,具有:第一气体供给部,其设置于上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧,向上述连通管内供给第一维护气体;吸引部,其设置于上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧和上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧中的某一方,对上述连通管内进行吸引;以及第二气体供给部,其设置于上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧和上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧中的、未设置上述吸引部的连接部侧,向上述连通管内供给第二维护气体。
【技术特征摘要】
2012.12.27 JP 2012-2843241.一种布线形成装置,具有:雾化装置,其使糊剂材料雾化;喷嘴,其喷射由上述雾化装置雾化后的上述糊剂材料;以及连通管,其将上述雾化装置与上述喷嘴连接,该布线形成装置通过涂布雾化后的上述糊剂材料来进行布线形成,该布线形成装置的特征在于,具有:第一气体供给部,其设置于上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧,向上述连通管内供给第一维护气体;吸引部,其设置于上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧和上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧中的某一方,对上述连通管内进行吸引;以及第二气体供给部,其设置于上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧和上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧中的、未设置上述吸引部的连接部侧,向上述连通管内供给第二维护气体。2.根据权利要求1所述的布线形成装置,其特征在于,上述吸引部设置于上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧,上述第二气体供给部设置于上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧。3.根据权利要求1或2所述的布线形成装置,其特征在于,上述第一维护气体是惰性气体。4.根据权利要求1或2所述的布线形成装置,其特征在于,上述第二维护气体是空气。5.根据权利要求1或2所述的布线形成装置,其特征在于,还具有控制部,该控制部分别对上述第一气体供给部的上述第一维护气体的供给、上述吸引部的吸引以及上述第二气体供给部的上述第二维护气体的供给进行控制,上述控制部以如下方式进行控制:使上述吸引与上述第二维护气体的供给同时进行,使上述第一维护气体的供给、上述第二维护气体的供给以及上述吸引分别在上述布线形成的空闲时间进行。6.根据权利要求5所述的布线形成装置,其特征在于,上述控制部进行控制使得在进行了上述吸引以及上述第二维护气体的供给之后在上述布线形成之前进行上述第一维护气体的供给。7.根据权利要求6所述的布线形成装置,其特征在于,上述控制部进行控制使得在进行了上述吸引以及上述第二维护气体的供给之后在进行上述第一维护气体的供给之前进行用于使雾化后的上述糊剂材料的涂布稳定化的涂布。8.根据权利要求5所述的布线形成装置,其特征在于,上述控制部进行控制使得在进行了上述第一维护气体的供给之后在上述布线形成之前进行用于使雾化后的上述糊剂材料的涂布稳定化的涂布。9.一种布线形成装置的维护方法,该布线形成装置具有:雾化装置,其使糊剂材料雾化;喷嘴,其喷射由上述雾化装置雾化后的上述糊剂材料;以及连通管,其将上述雾化装置与上述喷嘴连接,该布线形成装置构成为通过涂布雾化后的上述糊剂材料来进行布线形成,该布线形成装置的维护方法的特征在于,在上述布线形成的空闲时间具有以下工序:第一气体供给工序,从上述连通管的与...
【专利技术属性】
技术研发人员:奥村哲也,齐藤健,佐野雅规,
申请(专利权)人:日本麦可罗尼克斯股份有限公司,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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