使多个喷嘴（23）的喷出口接近作为喷出检查用被记录体的显像层薄膜（28），一边使显像层薄膜（28）与多个喷嘴（23）相对移动，一边从多个喷嘴（23）喷出墨水而进行试验涂布。接着，在试验涂布时，进行通过各个喷嘴（23）而描绘的轨迹的线宽测定。接着，一边使供给至喷嘴（23）的墨水的流量变化，一边反复进行试验涂布及线宽测定，求出使通过各个喷嘴（23）而描绘的轨迹的线宽相同那样的、供给至喷嘴（23）的流量的组合。通过使用所求出的流量的组合喷出墨水，能够使墨水的喷出量固定。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】使多个喷嘴（23）的喷出口接近作为喷出检查用被记录体的显像层薄膜（28），一边使显像层薄膜（28）与多个喷嘴（23）相对移动，一边从多个喷嘴（23）喷出墨水而进行试验涂布。接着，在试验涂布时，进行通过各个喷嘴（23）而描绘的轨迹的线宽测定。接着，一边使供给至喷嘴（23）的墨水的流量变化，一边反复进行试验涂布及线宽测定，求出使通过各个喷嘴（23）而描绘的轨迹的线宽相同那样的、供给至喷嘴（23）的流量的组合。通过使用所求出的流量的组合喷出墨水，能够使墨水的喷出量固定。【专利说明】
本专利技术涉及，更具体而言，涉及能够在有机电致发光(EL)元件的功能层的形成中利用的。
技术介绍
近年来，关注利用了喷墨法的成膜技术。喷墨法能够根据所使用的头的分辨率而将微量的墨水(ink)喷出至期望的位置，因此具有容易形成微细的图案、容易形成具有期望膜厚的薄膜的优点。利用该优点，喷墨法能够利用于需要微细的分色涂布的有机EL元件、彩色滤光片(colour filter)的制造等。另外,提出了如下技术:将糊状的功能性材料从具有微小的单个或多个喷出口的喷嘴连续地喷出，在基板上形成规定的图案。在将喷墨法或喷嘴法应用于有机EL元件的制造的情况下，具有如下优点:通过使所需要的量的EL材料分散或溶解于规定的溶剂中而将其墨水化，与蒸镀法或溅射法相比，能够提高EL材料的利用率。然而，在喷嘴法中，在通过一个喷嘴进行涂布的情况下，基板尺寸越大产距时间(takt time)越长，因此生产率降低。虽然可通过使用多个喷嘴来缩短产距时间而提高生产率，但若各个喷嘴的喷出量产生偏差，则所形成的功能膜的膜厚产生偏差，在有机EL元件的情况下，成为发光不均的原因。作为调节多个喷嘴的各自的喷出量的方法，提出有如下方法:将蓄留在一个供给源中的功能液向多个喷嘴分支供给，从各个喷嘴向基材上同时涂布，由此在多个位置同时涂布功能液。为了从喷嘴喷出准确的喷出量，需要对从喷嘴喷出的实际喷出流量进行测量和管理。例如，从喷嘴喷出的实际喷出流量通过从该喷嘴向规定容器内喷出的、单位喷出时间内的喷出到该容器内的重量而测定(例如，参见专利文献I)。专利文献1:日本特开2006 - 205024号公报
技术实现思路
但是，在从多个喷嘴同时喷出的涂布装置的情况下，需要在每个喷嘴系统中进行上述的实际喷出流量的测定，并分别导出关系式。另外，为了导出高精度的关系式，需要对一个喷嘴系统进行流量不同的多个点的实际喷出流量的测量。另外，在具有多个喷嘴的涂布装置中，在改变所涂布的功能液的情况下，在改变功能液后也需要进行实际喷出流量的测定，因此涂布装置的流量管理工时增大。另外，若涂布装置的实际喷出流量测量时间变长，则存在由于喷出到容器内的功能液中的溶剂蒸发而导致实际喷出流量变动的情况，从而有可能难以测量准确的实际喷出流量。因此，本专利技术的目的在于提供一种，该方法能够容易地调节从各个的多个喷嘴喷出的液体的喷出量。本专利技术涉及一种，其中，使用多个喷嘴对在基材上划分出的多个区域涂布墨水而形成薄膜。本专利技术的包括如下步骤:使多个喷嘴的喷出口接近试验用基材的表面，一边使试验用基材与多个喷嘴相对移动，一边从多个喷嘴喷出墨水而进行试验涂布的步骤；在试验涂布时，测定通过各个的多个喷嘴而描绘的轨迹的线宽的步骤；一边使供给至各个的多个喷嘴的墨水的流量变化，一边重复进行试验涂布的步骤、和测定线宽的步骤，并求出使通过各个的多个喷嘴而描绘的轨迹的线宽相同那样的、供给至各个的多个喷嘴的墨水流量的组合的步骤；以及使多个喷嘴接近基材的表面，一边使基材与多个喷嘴相对移动，一边使用在求出流量的组合的步骤中求出的流量的组合而从多个喷嘴向基材上嗔出墨水的步骤。或者，本专利技术的包括如下步骤:使多个喷嘴的喷出口接近试验用基材的表面，一边使试验用基材与多个喷嘴相对移动，一边从多个喷嘴喷出墨水而进行试验涂布的步骤；在试验涂布时，测定通过各个的多个喷嘴而描绘的轨迹的线宽的步骤；一边使多个喷嘴与试验用基材的相对移动速度变化，一边重复进行试验涂布的步骤、和测定线宽的步骤，并求出使通过各个的多个喷嘴而描绘的轨迹的线宽相同那样的、多个喷嘴的相对移动速度的组合的步骤；以及使多个喷嘴接近基材的表面，一边以在求出相对移动速度的组合的步骤中求出的相对移动速度使多个喷嘴与基材相对移动，一边从多个喷嘴向基材上喷出墨水的步骤。根据本专利技术，在使用多个喷嘴涂布墨水而形成薄膜时，基于涂布于试验涂布部上的涂布轨迹的线宽，调节各喷嘴的喷出量，由此能够减少所形成的薄膜的膜厚不均。【专利附图】【附图说明】图1是实施方式的有机EL元件基板的剖视图。图2是使用了喷嘴涂布法的薄膜形成装置的概略图。图3是喷嘴头截面的详细图。图4是试验喷出装置的概略图。图5是表示线宽与流量之间的关系(调节前)的图。图6是表示线宽与流量之间的关系(调节后)的图。图7是表示速度与喷出量之间的关系的图。图8是表示线宽与流量之间的关系(调节前)的图。图9是表示线宽与流量之间的关系(调节后)的图。【具体实施方式】以下，参见【专利附图】【附图说明】本专利技术的优选实施方式。在以下的说明中，基于使用喷嘴涂布装置制造有机EL元件基板的例子说明本专利技术，但本专利技术不限于有机EL，可合适地利用于形成其他显示器件的构成显示画面的光学部件。作为有机EL以外的光学部件，可例举彩色滤光片、电路基板、薄膜晶体管、微透镜(microlens)、生物芯片等。以下，将有机EL元件所包含的空穴注入层、空穴传输层和有机发光层的图案形成体总称为功能层，使用图1来说明使用上述实施方式的涂布装置而形成该功能层的情况。(基板的准备)有机EL元件形成于基板上。作为基板，优选使用透光性基板I。作为透光性基板1，可使用玻璃基板、塑料制的薄膜或片材。在使用塑料制的薄膜的情况下，能够在制造高分子EL元件时进行卷绕，能够提供廉价的显示面板。作为塑料制的薄膜，例如可使用聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚丙烯、环烯烃聚合物、聚酰胺、聚醚砜、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯等。另外，优选在这些薄膜中根据需要而设置表现水蒸气阻隔性、氧阻隔性的、由氧化硅等金属氧化物、氮化硅等氮氧化物或聚偏氯乙烯、聚氯乙烯、乙烯一乙酸乙烯酯共聚物皂化物构成的阻隔层。(像素电极的制作)在透光性基板I之上，作为阳极而设置经图案形成(patterning)的像素电极2。作为像素电极2的材料,可使用ITO (铟锡复合氧化物)、ΙΖ0 (铟锌复合氧化物)、氧化锡、氧化锌、氧化铟、氧化铝复合氧化物等透明电极材料等。需要说明的是，在这些电极材料中，从低电阻、具有耐溶剂性、具有透明性等方面考虑，优选使用ITO。ITO通过溅射法而形成在透光性基板上，通过光刻法进行图案形成而成为线状的像素电极2。(隔壁的制作)在形成线状的像素电极2后，在相邻的像素电极2之间形成隔壁3。隔壁3在基板及检查用基板上设置成格子状或条纹状。被隔壁3包围的各区域成为通过喷嘴涂布而形成墨水的薄膜的对象即喷出区域。隔壁3使用感光性材料通过光刻法形成。作为形成隔壁3的感光性材料，可以是正性抗蚀剂，也可以是负性抗蚀剂，但需要具有绝缘性。在隔壁3不具有充分的绝缘性的情况下，电流穿过隔壁而在相邻的像素电极中流动从而产生显示不良。具体而言，可以列举聚酰亚胺类、丙烯酸树脂本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种薄膜形成方法，使用多个喷嘴对在基材上划分出的多个区域涂布墨水而形成薄膜，该薄膜形成方法包括如下步骤：使所述多个喷嘴的喷出口接近试验用基材的表面，一边使所述试验用基材与所述多个喷嘴相对移动，一边从所述多个喷嘴喷出墨水而进行试验涂布的步骤；在所述试验涂布时，测定通过各个所述多个喷嘴而描绘出的轨迹的线宽的步骤；一边使供给至各个所述多个喷嘴的墨水的流量变化，一边重复进行所述试验涂布的步骤、和所述测定线宽的步骤，并求出使通过各个所述多个喷嘴而描绘的轨迹的线宽相同那样的、供给至各个所述多个喷嘴的墨水流量的组合的步骤；以及使所述多个喷嘴接近所述基材的表面，一边使所述基材与所述多个喷嘴相对移动，一边使用在所述求出流量的组合的步骤中求出的流量的组合而从所述多个喷嘴向所述基材上喷出墨水的步骤。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：铃木启裕，甲斐智洋，小谷雅幸，
申请(专利权)人：凸版印刷株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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