蒸镀用金属掩模以及蒸镀用金属掩模的制造方法技术

本发明专利技术提供能够将通过蒸镀形成的图案的构造上的精度的提高以及蒸镀用金属掩模的操作性的提高这两者兼顾的蒸镀用金属掩模以及蒸镀用金属掩模的制造方法。具备：掩模部(32)，具备用于与蒸镀对象接触的接触面以及与上述接触面相反侧的非接触面，形成为片形状，而且，该掩模部具有分别从位于上述接触面的第一开口贯通到位于上述非接触面的第二开口的多个掩模孔，上述第一开口的大小小于上述第二开口的大小；以及掩模框架(31)，具有比上述掩模部高的刚性，并且形成为将上述多个掩模孔包围的框状。上述掩模部(32)在上述非接触面中具有将上述多个掩模孔包围的部分，在该部分通过接合部与掩模框架接合。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蒸镀用金属掩模以及蒸镀用金属掩模的制造方法。

技术介绍

1、在通过蒸镀物质对基板等蒸镀对象进行蒸镀时，有时使用金属掩模。该蒸镀用金属掩模具备接触面和非接触面。接触面是与蒸镀对象进行接触的面。非接触面是与接触面相反侧的面。从非接触面贯通到接触面的掩模孔具备非接触侧开口和接触侧开口。非接触侧开口是位于非接触面而供蒸镀物质进入的开口。接触侧开口位于接触面而与蒸镀对象对置。从非接触侧开口进入并通过接触侧开口的蒸镀物质向蒸镀对象进行堆积。由此，形成依据于接触侧开口的位置、形状的图案(例如，参照日本特开2015-055007号公报)。

2、为了提高图案上的位置等的精度，蒸镀用金属掩模的掩模孔的通路截面积，从非接触侧开口朝向接触侧开口单调地减少。近年，为了提高图案的膜厚的均匀性等的精度，还希望使非接触侧开口与接触侧开口之间的距离、即蒸镀用金属掩模的厚度变薄。

3、另一方面，在厚度较薄的蒸镀用金属掩模中，不能够得到足够的蒸镀用金属掩模的机械耐受性，因此蒸镀用金属掩模的操作性显著低。

技术实现思路...

【技术保护点】

1.一种蒸镀用金属掩模，其中，具备：

2.如权利要求1所述的蒸镀用金属掩模，其中，

3.如权利要求1或2所述的蒸镀用金属掩模，其中，

4.如权利要求1或2所述的蒸镀用金属掩模，其中，

5.一种蒸镀用金属掩模的制造方法，其中，包括：

6.如权利要求5所述的蒸镀用金属掩模的制造方法，其中，

7.如权利要求5或6所述的蒸镀用金属掩模的制造方法，其中，

【技术特征摘要】

1.一种蒸镀用金属掩模，其中，具备：

2.如权利要求1所述的蒸镀用金属掩模，其中，

3.如权利要求1或2所述的蒸镀用金属掩模，其中，

4.如权利要求1或2所述的蒸镀用金属掩模...

【专利技术属性】
技术研发人员：田村纯香，新纳干大，藤户大生，西辻清明，西刚广，三上菜穗子，仓田真嗣，武田宪太，
申请(专利权)人：凸版印刷株式会社，
类型：发明
国别省市：