【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及类金刚石膜制备，具体为一种类金刚石膜的制备方法与设备。
技术介绍
1、类金刚石膜兼具了金刚石和石墨的优良特性，作为减摩耐磨涂层应用于航空航天、金属加工、医疗器件等众多领域，通过镀膜的方式镀在工件表面形成涂层实现零部件表面改性，镀膜设备包括有真空镀膜室、溅射靶、真空镀膜室底座上的转架台和转架台上的工件架，以及驱动转架台绕转架台的中心轴转动的第一转动系统，温控系统、加热装置、冷却水循环系统和电源控制系统；
2、在镀膜过程中，将待镀膜工件放置在真空镀膜室内部的工件架上，工件架自转，通过加热或溅射的方式将材料蒸发或溅射成气体或离子，然后将气体或离子沉积到样品表面形成薄膜，在对大型法兰盘这类工件进行镀膜时，需要对法兰盘外表面的全部面积镀膜，法兰盘架设在工件架上通过支脚对法兰盘进行支撑，但是，法兰盘与支脚接触的面积被支脚遮挡，此时，气体与离子较难沉积在被遮挡位置的表面，使得法兰盘外表面镀膜的不全面，若打开机壳，手动调整法兰盘与支脚的位置，将未镀膜的位置裸露出，则较为浪费时间。为此，我们提出一种类金刚石膜的制备方法与设备。<
【技术保护点】
1.一种类金刚石膜的制备设备，包括：机箱(1)、机壳(21)、转架台(22)、支架(23)和工件(24)，
2.根据权利要求1所述的一种类金刚石膜的制备设备，其特征在于：所述支脚一(32)的底部固定有连接架一(33)，且连接架一(33)远离支脚一(32)的一端固定在外环一(34)的外壁，且外环一(34)的底部均匀固定有支杆一(35)。
3.根据权利要求2所述的一种类金刚石膜的制备设备，其特征在于：所述支杆一(35)插设在固定盘一(31)的内部，所述固定盘一(31)的内部开设有与支杆一(35)配合的限位孔一(36)，所述支杆一(35)的底部皆固定...
【技术特征摘要】
1.一种类金刚石膜的制备设备，包括：机箱(1)、机壳(21)、转架台(22)、支架(23)和工件(24)，
2.根据权利要求1所述的一种类金刚石膜的制备设备，其特征在于：所述支脚一(32)的底部固定有连接架一(33)，且连接架一(33)远离支脚一(32)的一端固定在外环一(34)的外壁，且外环一(34)的底部均匀固定有支杆一(35)。
3.根据权利要求2所述的一种类金刚石膜的制备设备，其特征在于：所述支杆一(35)插设在固定盘一(31)的内部，所述固定盘一(31)的内部开设有与支杆一(35)配合的限位孔一(36)，所述支杆一(35)的底部皆固定在外环二(43)的表面。
4.根据权利要求1所述的一种类金刚石膜的制备设备，其特征在于：所述支脚二(39)的底部固定在连接架二(38)的表面，且连接架二(38)的底部固定在内环一(37)的表面，所述内环一(37)的底部均匀固定有支杆二(41)。
5.根据权利要求4所述的一种类金刚石膜的制备设备，其特征在于：所述支杆二(41)插设在固定盘一(31)的内部，所述固定盘一(31)的内部开设有与支杆二(41)配合的限位孔二(42)，所述支杆二(41)的底部皆固定在内环二(44)的表面。
6.根据权利要求1所述的一种类金刚石膜的制备设备，其特征在于：所述转架台(22)外壁的中部固定有固定盘二(45)，且固定盘二(45)的内部分别固定有双向电机一(46)与双向电机二(48)，所述双向电机一(46)的两侧输出轴分别设置有螺杆一(47)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏建国，毕凯，段荣飞，
申请(专利权)人：常州锐星源真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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