【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及掩膜版生产设备,特别涉及一种掩膜版生产设备及其生产工艺。
技术介绍
1、掩膜版生产设备用于生产掩膜版,传统的掩膜版生产设备生产的研磨板厚度一致,在oled面板蒸镀过程中,因其磁场的分布,在不同区域形成不同强度的磁力,掩膜版会导致蒸镀掩膜在不同区域产生不同的长度形变;导致内部通孔的位置发生偏移;从而使通过通孔的材料不能正确的蒸镀在tft基板的对应阳极位置,从而导致混色等产品不良。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足,本专利技术的目的在于提供一种掩膜版生产设备及其生产工艺,以解决上述问题。
2、有鉴于此,本专利技术提供一种掩膜版生产设备,包括:
3、工作箱,所述工作箱为长方体状并且底端放置于地面上;
4、两个驱动电机,固定端分别间隔于工作箱一端壁的两侧,输出端均贯穿至工作箱内;
5、两个丝锥杆,分别一端与驱动电机的输出端固定连接,另一端分别与工作箱背离驱动电机一侧的内壁转动连接;
6、吸附装置,移动端连接于两个丝锥
...【技术保护点】
1.一种掩膜版生产设备,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种掩膜版生产设备,其特征在于,所述吸附装置包括:
3.根据权利要求2所述的一种掩膜版生产设备,其特征在于,所述吸附机构包括:
4.根据权利要求3所述的一种掩膜版生产设备,其特征在于,所述升降结构包括:
5.根据权利要求1所述的一种掩膜版生产设备,其特征在于,所述打磨机构包括:
6.根据权利要求1所述的一种掩膜版生产设备,其特征在于,所述化学蚀刻装置包括:
7.根据权利要求6所述的一种掩膜版生产设备,其特征在于,所述蚀刻机构包括:
8.根...
【技术特征摘要】
1.一种掩膜版生产设备,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种掩膜版生产设备,其特征在于,所述吸附装置包括:
3.根据权利要求2所述的一种掩膜版生产设备,其特征在于,所述吸附机构包括:
4.根据权利要求3所述的一种掩膜版生产设备,其特征在于,所述升降结构包括:
5.根据权利要求1所述的一种掩膜版生产设备,其特征在于,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:管金榜,徐华伟,沈洵,倪源,
申请(专利权)人:浙江众凌科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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